一种尾气回收车间吸附柱再生高温氢气热能回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种尾气回收车间吸附柱再生高温氢气热能回收装置，涉及多晶硅尾气回收设备技术领域，主要目的是提供一种能够预热低温氢气，同时对高温吹扫气进行降温的一种尾气回收车间吸附柱再生高温氢气热能回收装置。本实用新型专利技术的主要技术方案为：一种尾气回收车间吸附柱再生高温氢气热能回收装置，包括：吸附塔，吸附塔的顶端设置吹扫管路，吸附塔的底端设置第一排气管道；换热组，第一换热器具有换热管程和换热壳程，第一加热器具有加热管程，换热壳程的一端设置吹扫进气管道，另一端连接于加热管程的一端，加热管程的另一端连接于吹扫管路，换热管程的一端连接于第一排气管道。本实用新型专利技术主要用于尾气处理。本实用新型专利技术主要用于尾气处理。本实用新型专利技术主要用于尾气处理。

【技术实现步骤摘要】
一种尾气回收车间吸附柱再生高温氢气热能回收装置


[0001]本技术涉及多晶硅尾气回收设备
，尤其涉及一种尾气回收车间吸附柱再生高温氢气热能回收装置。

技术介绍

[0002]多晶硅的生产主要是采用改良西门子法进行多晶硅的生产和制造，由于多晶硅生产后，需要对设备进行吹扫，吹扫后的尾气需要进行回收利用，现有的方式是通过尾气回收吸附柱对吹扫后的尾气进行处理，尾气处理通常采用高温氢气吹扫处理，但是，由于尾气回收吸附柱的高温吹扫气体来自氢气储罐的低温氢气，因此需要将低温氢气通过蒸汽加热器或者电加热器加热后再通入尾气回收吸附柱内进行高温吹扫，吹扫后的气体进入再生系统，然后通过多级冷凝使氢气与氯硅烷分离，这样的方式导致加热低温氢气的蒸汽加热器或者电加热器能源消耗增加，同时，吹扫后的高温气体的温度过高，需要消耗过多的冷凝水，从而导致氢气冷凝能耗增加。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术实施例提供一种尾气回收车间吸附柱再生高温氢气热能回收装置，主要目的是提供一种能够预热低温氢气，同时对高温吹扫气进行降温的一种尾气回收车间吸附柱再生高温氢气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种尾气回收车间吸附柱再生高温氢气热能回收装置，其特征在于，包括：吸附塔，所述吸附塔的顶端设置吹扫管路，所述吸附塔的底端设置第一排气管道；换热组件，所述换热组件包括第一换热器和第一加热器，所述第一换热器具有换热管程和换热壳程，所述第一加热器具有加热管程，所述换热壳程的一端设置吹扫进气管道，另一端连接于所述加热管程的一端，所述加热管程的另一端连接于所述吹扫管路，所述换热管程的一端连接于所述第一排气管道。2.根据权利要求1所述的一种尾气回收车间吸附柱再生高温氢气热能回收装置，其特征在于，所述换热组件还包括第一水冷器，所述第一水冷器具有水冷管程，所述水冷管程连接于所述换热管程的另一端。3.根据权利要求2所述的一种尾气回收车间吸附柱再生高温氢气热能回收装置，其特征在于，还包括：冷却水组件，所述第一水冷器具有水冷壳程，所述水冷壳程的两端连接于冷却水组件。4.根据权利要求1所述的一种尾气回收车间吸附柱再生高温氢气热能回收装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，罗烨栋，
申请(专利权)人：新疆中部合盛硅业有限公司，
类型：新型
国别省市：