卷绕装置及使用方法、真空磁控溅射镀膜机、镀膜方法制造方法及图纸

技术编号:38839726 阅读:15 留言:0更新日期:2023-09-17 09:54
本发明专利技术涉及一种卷绕装置,包括放卷机构、张力控制机构以及收卷机构,所述张力控制机构包括滑轨、浮动辊轴以及气动压力组件;所述滑轨固定连接于机体上,所述浮动辊轴与所述滑轨滑动连接,所述浮动辊轴可在所述滑轨上滑动;所述浮动辊轴还与所述气动压力组件连接,所述气动压力组件用于为所述浮动辊轴提供滑动推力;镀膜基材自所述放卷机构放出,经过所述浮动辊轴后,通过所述收卷机构收起;所述滑轨上设置有感应组件,所述感应组件用于感应所述浮动辊轴在所述滑轨上的位置变化,并转化为电信号反馈至所述收卷机构,所述收卷机构根据接收到的电信号调整所述镀膜基材的收卷速度。到的电信号调整所述镀膜基材的收卷速度。到的电信号调整所述镀膜基材的收卷速度。

【技术实现步骤摘要】
卷绕装置及使用方法、真空磁控溅射镀膜机、镀膜方法


[0001]本专利技术涉及薄膜加工
,特别是涉及卷绕装置及使用方法、真空磁控溅射镀膜机、镀膜方法。

技术介绍

[0002]铜箔是锂电池负极的关键基础材料,在锂离子电池中既是负极活性物质的载体,又是负极电子的收集体和传导体。随着复合铜箔逐步取代传统铜箔在锂电池中的广泛应用,产品的幅宽要求越来越宽,单卷长度越来越长,薄膜基材厚度越来越薄,对产品的质量要求也越来越高。目前部分主流复合铜箔产品的幅宽超过1.2m,部分产品达到1.6m,单卷长度超过10000m,甚至更长,基材的厚度在2μm~5μm。这类超宽超薄的基材通常采用真空磁控溅射镀膜机进行镀膜,在镀膜生产过程中,通常利用同步调速电机进行收放卷控制,但是收放卷过程中容易出现张力不稳定,导致镀膜不均和膜材起皱等问题,影响复合铜箔的产品良率,并且不利于高效生产。

技术实现思路

[0003]基于此,有必要提供一种能够提高张力稳定性的卷绕装置及使用方法、真空磁控溅射镀膜机、镀膜方法。
[0004]本申请一实施例提供了一种卷绕装置,包括放卷机构、张力控制机构以及收卷机构,所述张力控制机构包括滑轨、浮动辊轴以及气动压力组件;所述滑轨固定连接于机体上,所述浮动辊轴与所述滑轨滑动连接,所述浮动辊轴可在所述滑轨上滑动;所述浮动辊轴还与所述气动压力组件连接,所述气动压力组件用于为所述浮动辊轴提供滑动推力;镀膜基材自所述放卷机构放出,经过所述浮动辊轴后,通过所述收卷机构收起;
[0005]所述滑轨上设置有感应组件,所述感应组件用于感应所述浮动辊轴在所述滑轨上的位置变化,并转化为电信号反馈至所述收卷机构,所述收卷机构根据接收到的电信号调整所述镀膜基材的收卷速度。
[0006]在其中一个实施例中,所述感应组件为电磁感应组件或光电感应组件。
[0007]在其中一个实施例中,所述滑轨有两个,所述浮动辊轴的两端分别与其中一个所述滑轨滑动连接。
[0008]在其中一个实施例中,各所述滑轨的表面设置有滑槽,所述浮动辊轴的两端分别穿设入所述滑槽内与相应的所述滑轨连接;
[0009]所述感应组件为电磁感应组件,所述电磁感应组件包括电磁感应信号发射模块以及电磁感应信号接收模块,各所述滑槽上设有至少一个所述电磁感应信号发射模块,各所述滑轨内部沿所述浮动辊轴的滑动方向在不同位置处设有多个所述电磁感应信号接收模块,所述电磁感应信号发射模块发出的信号在所述浮动辊轴的滑动方向被不同的所述电磁感应信号接收模块接收,并能够转换成不同的电信号。
[0010]在其中一个实施例中,所述张力控制机构还包括信号控制组件,所述信号控制组
件的一端与所述电磁感应信号接收模块连接,另一端与所述收卷机构连接,所述电磁感应信号接收模块转换成的电信号反馈至所述信号控制组件,所述信号控制组件根据所述电信号对所述收卷机构的收卷速度进行控制。
[0011]在其中一个实施例中,所述气动压力组件包括气动压力连接杆和气缸,所述气动压力连接杆的一端与所述气缸连接,另一端与所述浮动辊轴连接。
[0012]在其中一个实施例中,所述张力控制机构中,在所述浮动辊轴与所述放卷机构之间和/或在所述浮动辊轴与所述收卷机构之间还设置有承载辊轴,所述承载辊轴用于承载并传递所述镀膜基材;
[0013]可选地,所述承载辊轴有两个,其中一个设于所述浮动辊轴与所述放卷机构之间,另一个设于所述浮动辊轴与所述收卷机构之间。
[0014]在其中一个实施例中,所述卷绕装置还包括镀膜冷却辊和离化冷却辊,所述镀膜基材自所述放卷机构放出后依次经过所述镀膜冷却辊和所述离化冷却辊后,再经过所述浮动辊轴;
[0015]可选地,所述镀膜冷却辊有两个,所述离化冷却辊有两个,所述镀膜基材先经过两个所述镀膜冷却辊后再经过两个所述离化冷却辊。
[0016]本申请一实施例还提供了一种如上述任一实施例中所述的卷绕装置的使用方法,包括如下步骤:
[0017]所述镀膜基材自所述放卷机构放出,经过所述浮动辊轴后,通过所述收卷机构收起;
[0018]所述气动压力组件为所述浮动辊轴提供固定的滑动推力,在所述浮动辊轴位置处,所述镀膜基材的张力与所述浮动辊轴的滑动推力达到平衡,所述浮动辊轴停留于所述滑轨上的固定位置;
[0019]当所述镀膜基材的张力变小时,所述镀膜基材的张力小于所述浮动辊轴的滑动推力,在所述滑动推力的作用下,所述浮动辊轴朝远离所述气动压力组件的方向移动,所述感应组件感应到所述浮动辊轴在所述滑轨上的位置变化,转化为电信号反馈至所述收卷机构,所述收卷机构加快收卷速度以提高所述镀膜基材的张力;
[0020]当所述镀膜基材的张力变大时,所述镀膜基材的张力大于所述浮动辊轴的滑动推力,在所述镀膜基材的张力的作用下,所述浮动辊轴朝靠近所述气动压力组件的方向移动,所述感应组件感应到所述浮动辊轴在所述滑轨上的位置变化,转化为电信号反馈至所述收卷机构,所述收卷机构减慢收卷速度以降低所述镀膜基材的张力。
[0021]本申请一实施例还提供一种真空磁控溅射镀膜机,包括如上述任一实施例中所述的卷绕装置。
[0022]本申请一实施例还提供一种复合铜箔镀膜方法,包括如下步骤:
[0023]以铜为镀膜靶材,利用如上述一实施例中所述的真空磁控溅射镀膜机进行镀膜。
[0024]本申请提供的卷绕装置中包括放卷机构、张力控制结构以及收卷机构,张力控制机构包括滑轨、浮动辊轴以及气动压力组件,镀膜基材自放卷机构放出,经过浮动辊轴后,通过收卷机构收起。在运行时,通过气动压力组件为浮动辊轴提供一固定的滑动推力,放卷机构和收卷机构为镀膜基材提供张力,当浮动辊轴的滑动推力与镀膜基材的张力平衡时,浮动辊轴位于滑轨上的一固定位置,当镀膜基材的张力变化时,浮动辊轴会在滑轨上发生
位移,滑轨上的感应组件感应到浮动辊轴在滑轨上的位置变化后,可转变为电信号并反馈给收卷机构,收卷机构通过调整收卷速度,进而对镀膜基材的张力大小进行调节,有利于保持镀膜时的张力稳定。
附图说明
[0025]图1为一实施例中卷绕装置的结构及运行示意图;
[0026]图2为一实施例中张力控制系统的主视剖视及运行示意图;
[0027]图3为一实施例中张力控制系统的俯视透视结构示意图;
[0028]图4为一实施例中张力控制系统的浮动辊轴与滑轨以及气动压力组件连接区域的局部俯视剖视结构示意图;
[0029]图5为基于图4的局部剖视结构示意图。
[0030]附图标记说明:
[0031]10:卷绕装置;110:放卷机构;120:张力控制机构;121:滑轨;122:浮动辊轴;123:气动压力组件;1231:气动压力连接杆;1232:气缸;124:感应组件;1241:电磁感应组件;1241a:电磁感应信号发射模块;1241b:电磁感应信号接收模块;125:滑槽;126:承载辊轴;130:放卷机构;140:镀膜冷却辊;150:离化冷却辊;20:镀本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卷绕装置,其特征在于,包括放卷机构、张力控制机构以及收卷机构,所述张力控制机构包括滑轨、浮动辊轴以及气动压力组件;所述滑轨固定连接于机体上,所述浮动辊轴与所述滑轨滑动连接,所述浮动辊轴可在所述滑轨上滑动;所述浮动辊轴还与所述气动压力组件连接,所述气动压力组件用于为所述浮动辊轴提供滑动推力;镀膜基材自所述放卷机构放出,经过所述浮动辊轴后,通过所述收卷机构收起;所述滑轨上设置有感应组件,所述感应组件用于感应所述浮动辊轴在所述滑轨上的位置变化,并转化为电信号反馈至所述收卷机构,所述收卷机构根据接收到的电信号调整所述镀膜基材的收卷速度。2.根据权利要求1所述的卷绕装置,其特征在于,所述感应组件为电磁感应组件或光电感应组件。3.根据权利要求2所述的卷绕装置,其特征在于,所述滑轨有两个,所述浮动辊轴的两端分别与其中一个所述滑轨滑动连接。4.根据权利要求3所述的卷绕装置,其特征在于,各所述滑轨的表面设置有滑槽,所述浮动辊轴的两端分别穿设入所述滑槽内与相应的所述滑轨连接;所述感应组件为电磁感应组件,所述电磁感应组件包括电磁感应信号发射模块以及电磁感应信号接收模块,各所述滑槽上设有至少一个所述电磁感应信号发射模块,各所述滑轨内部沿所述浮动辊轴的滑动方向在不同位置处设有多个所述电磁感应信号接收模块,所述电磁感应信号发射模块发出的信号在所述浮动辊轴的滑动方向被不同的所述电磁感应信号接收模块接收,并能够转换成不同的电信号。5.根据权利要求4所述的卷绕装置,其特征在于,所述张力控制机构还包括信号控制组件,所述信号控制组件的一端与所述电磁感应信号接收模块连接,另一端与所述收卷机构连接,所述电磁感应信号接收模块转换成的电信号反馈至所述信号控制组件,所述信号控制组件根据所述电信号对所述收卷机构的收卷速度进行控制。6.根据权利要求4所述的卷绕装置,其特征在于,所述气动压力组件有两个,各所述气动压力组件包括气动压力连接杆和气缸,各所述气动压力连接杆的一端与对应的所述气缸连接,另一端与所述浮动辊轴连接。7.根据权利要求1~5...

【专利技术属性】
技术研发人员:易伟华张迅李景艳阳威彭顺明
申请(专利权)人:江西沃格光电股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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