一种防静电椅检测装置制造方法及图纸

技术编号:38839414 阅读:14 留言:0更新日期:2023-09-17 09:54
本实用新型专利技术涉及防静电测试技术领域,尤其涉及一种防静电椅检测装置,包括检测箱和设在所述检测箱上的绝缘盘,所述绝缘盘上设有呈环形分布且相互独立的用于承载防静电椅支腿的至少三块导电板,所述检测箱内设有控制器、测试电源、兆欧表及与所述导电板对应设置的继电器,所述继电器通过导线与所述导电板连接,所述控制器用于控制所述继电器的通断使得任意两块所述导电板通过所述导线与所述测试电源及所述兆欧表连通。在本实用新型专利技术中,通过使任意两块导电板与测试电源及兆欧表连通,启动测试电源既能得到防静电椅对应两条支腿之间的电阻值,并以此判断这两条支腿是否符合防静电的要求,操作简单快捷,检测效率高。检测效率高。检测效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种防静电椅检测装置


[0001]本技术涉及防静电测试
,尤其涉及一种防静电椅检测装置。

技术介绍

[0002]半导体制造业为了控制静电对产品带来的损害,通常要求员工坐在防静电椅上进行作业,其目的为将人体产生的静电通过防静电椅的椅脚导入大地,因此,半导体生产车间需要使用到大量的防静电椅。为了保证防静电椅传导静电的能力,需要对所有椅脚之间的系统电阻进行检测,只有所有椅脚之间的系统电阻均小于1.0
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108Ω,才能保证良好的静电导出能力。
[0003]目前的防静电椅种类较多,但一般都为三条支腿或四条支腿或五条支腿,采用现有检测装置对其支腿之间的系统电阻进行检测较为麻烦,操作不便,效率不高。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题,本技术提供了一种防静电椅检测装置。
[0005]该技术提供以下技术方案,一种防静电椅检测装置,包括检测箱和设在所述检测箱上的绝缘盘,所述绝缘盘上设有呈环形分布且相互独立的用于承载防静电椅支腿的至少三块导电板,所述检测箱内设有控制器、测试电源、兆欧表及与所述导电板对应设置的继电器,所述继电器通过导线与所述导电板连接,所述控制器用于控制所述继电器的通断使得任意两块所述导电板通过所述导线与所述测试电源及所述兆欧表连通。
[0006]本技术一实施例的防静电椅检测装置,通过设置绝缘盘能够使得防静电椅与测试箱或大地绝缘隔离,保证测试数据准确,导电板环形分布能够使得防静电椅的支腿均与导电板连接,通过使任意两块导电板与测试电源及兆欧表连通,启动测试电源既能得到防静电椅对应两条支腿之间的电阻值,并以此判断这两条支腿是否符合防静电的要求,具体操作时,只需将防静电椅的支腿放在导电板上即可,简单快捷,检测效率高。
[0007]进一步的,所述导电板活动设于所述绝缘盘上。
[0008]进一步的,所述绝缘盘的上端面设有呈环形的容纳槽,所述导电板位于所述容纳槽内并与其相适配,所述导电板与所述容纳槽的内壁滑动连接。
[0009]进一步的,所述导线的一端通过设置电极与所述导电板连通,所述电极活动设于所述导电板上。
[0010]进一步的,所述导电板上设有定位槽,所述电极位于所述定位槽内。
[0011]进一步的,所述电极的下端设有导电橡胶层,所述导电橡胶层与所述定位槽的内底面抵接。
[0012]进一步的,所述检测箱上设有与所述继电器对应设置的多个按钮,所述按钮与所述控制器连接。
[0013]进一步的,所述检测箱上还设有用于显示所述兆欧表检测数值的显示屏。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本技术的防静电椅检测装置的结构示意图;
[0016]图2为本技术的防静电椅检测装置的剖面结构示意图;
[0017]图3为图1中局部A的放大示意图;
[0018]图4为本技术的防静电椅检测装置中电极的结构示意图;
[0019]图5为本技术的防静电椅检测装置使用状态时的结构示意图。
[0020]附图标记说明:
[0021]10、检测箱;11、控制器;12、测试电源;13、兆欧表;14、继电器;15、导线;16、电极;161、导电橡胶层;17、按钮;18、显示屏;20、绝缘盘;21、导电板;211、定位槽;22、容纳槽。
具体实施方式
[0022]下面详细描述本技术的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本技术的实施例,而不能理解为对本技术的限制。
[0023]在本技术实施例的描述中,需要理解的是,术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
[0024]此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术实施例的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
[0025]在本技术实施例中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术实施例中的具体含义。
[0026]参照图1至图5,在本技术的一个实施例中,一种防静电椅检测装置,包括检测箱10和设在检测箱10上的绝缘盘20,绝缘盘20上设有呈环形分布且相互独立的用于承载防静电椅支腿的至少三块导电板21,检测箱10内设有控制器11、测试电源12、兆欧表13及与导电板21数量对应的继电器14,继电器14通过导线15与导电板21连接,控制器11用于控制继电器14的通断使得任意两块导电板21通过导线15与测试电源12及兆欧表13连通。
[0027]本实施例中,绝缘盘20为表面电阻大于1.0
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1011Ω的高强度塑料制成;导电板21
为铜材质制成,导电板21设有五块,基本适用市面所有的防静电椅,当防静电椅的支腿为三个时,只需将其放在对应的三块导电板21上即可,在测试时,其他两块导电板21由继电器14控制保持其与测试电源12断开连接,同理,当防静电椅的支腿为四个时也可以采取上述方法进行检测;测试电源12可以为外接电源,也可为自带电源,本实施例中为测试箱自带电源,测试电源12可输出一个100V(精度:
±
5%)的电压,兆欧表13的检测范围至少为1.0
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103Ω

1.0
×
1011Ω(精度:
±
5%);其中,测试箱分为测试部和控制部,绝缘盘20置于测试部的上端,控制器11、继电器14、测试电源12及兆欧表13均设在控制部内,测试部的上端设有多个接线插口,导线15的一端采用香蕉接头直接与接线插口连接,接线插口的另一端与控制部内的继电器14连接,布线简单。
[0028]本技术一实施例的防静电椅检测装置,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防静电椅检测装置,其特征在于,包括检测箱和设在所述检测箱上的绝缘盘,所述绝缘盘上设有呈环形分布且相互独立的用于承载防静电椅支腿的至少三块导电板,所述检测箱内设有控制器、测试电源、兆欧表及与所述导电板对应设置的继电器,所述继电器通过导线与所述导电板连接,所述控制器用于控制所述继电器的通断使得任意两块所述导电板通过所述导线与所述测试电源及所述兆欧表连通。2.根据权利要求1所述的防静电椅检测装置,其特征在于,所述导电板活动设于所述绝缘盘上。3.根据权利要求1所述的防静电椅检测装置,其特征在于,所述绝缘盘的上端面设有呈环形的容纳槽,所述导电板位于所述容纳槽内并与其相适配,所述导电板与所述容纳槽的内壁滑动...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘思赵龙骆乾峰胡加辉金从龙
申请(专利权)人:江西兆驰半导体有限公司
类型:新型
国别省市:

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