研磨装置和研磨系统制造方法及图纸

本公开涉及一种研磨装置和研磨系统，上述研磨装置用于板状物料研磨，包括绕自身轴线可转动设置的用于承载板状物料的研磨基座、依次设置在研磨基座上方的载料盘、压力板和压力供给单元，压力板在径向上由内向外依次包括第一区域、第二区域和第三区域，其中，压力供给单元与压力板连接并配置为能够分别对第一区域、第二区域和第三区域施加朝向板状物料的压力。通过上述技术方案，通过压力供给单元分别调节第一区域、第二区域和第三区域施加朝向板状物料的压力，这样便不再需要如相关技术中那般重新打磨压力盘，降低了研磨作业的时间，提高了研磨作业效率，也不需要更换研磨基座，降低了研磨作业的生产成本，更利于板状物料的大规模生产。产。产。

【技术实现步骤摘要】
研磨装置和研磨系统


[0001]本公开涉及研磨领域，具体地，涉及一种研磨装置和研磨系统。

技术介绍

[0002]玻璃、蓝宝石衬底、碳化硅衬底等板状物料在生产过程中都需要进行研磨作业使得表面粗糙度达到使用标准。通常需要将板状物料与载料盘连接，再通过压力盘将板状物料压在载料盘和可转动的研磨基座之间以进行研磨作业。在研磨作业的过程中因为压力盘表面或者研磨基座不平，导致研磨后的板状物料厚度不均匀，出现内薄外厚、内厚外薄、或者内外与中间厚度不均等情况。针对上述情况，通常需要重新打磨压力盘或者更换研磨基座使得研磨后的板状物料厚度均匀，但是这样会增加研磨作业的时间，影响研磨作业效率，增加了研磨作业的生产成本，不利于板状物料的大规模生产。

技术实现思路

[0003]本公开提供一种研磨装置和研磨系统，以解决相关技术中在进行研磨作业后板状物料厚度不均难以处理的问题。
[0004]本公开的第一个目的是提供一种研磨装置，用于板状物料研磨，所述研磨装置包括绕自身轴线水平可转动设置的用于承载所述板状物料的研磨基座以及依次设置在所述研磨基座上方的载料盘、压力板和压力供给单元，所述压力板在径向上由内向外依次包括第一区域、第二区域和第三区域，其中，所述压力供给单元与所述压力板连接并配置为能够分别对所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域施加朝向所述板状物料的压力。
[0005]可选地，所述压力供给单元包括安装基座、设置在所述安装基座上的第一气缸、多个第二气缸和多个第三气缸，其中，所述第一气缸用于对所述第一区域施加压力，所述第二气缸用于对所述第二区域施加压力，所述第三气缸用于对所述第三区域施加压力。
[0006]可选地，所述压力供给单元还包括从所述安装基座向下延伸设置的第一筒体、第二筒体和第三筒体，其中，所述第一筒体沿所述第一区域的外边缘围绕在所述第一气缸的活塞杆的周围，所述第二筒体沿所述第二区域的外边缘围绕在多个所述第二气缸的活塞杆的周围，所述第三筒体沿所述第三区域的外边缘围绕在多个所述第三气缸的活塞杆的外周。
[0007]可选地，所述第一筒体的下端面与所述第一区域的抵接，所述第二筒体的下端面与所述第二区域的抵接，所述第三筒体的下端面与所述第三区域抵接。
[0008]可选地，所述第一区域上设置有第一凸块，所述第一凸块与所述第一气缸的活塞杆连接，所述第一凸块的外周与所述第一筒体的内周抵接；所述第二区域上设置有第二凸块，所述第二凸块与所述第二气缸的活塞杆连接，所述第二凸块的外周与所述第二筒体的内周抵接；所述第三区域上设置有第三凸块，所述第三凸块与所述第三气缸的活塞杆连接，所述第三凸块的外周与所述第三筒体的内周抵接。
[0009]可选地，所述压力供给单元绕自身轴线水平可转动设置，所述压力供给单元的转
动方向与所述研磨基座的转动方向相反。
[0010]可选地，所述压力板的下端面开设有向上延伸的容纳槽，所述容纳槽用于形状配合地容纳所述载料盘。
[0011]可选地，所述板状物料与所述载料盘可拆卸连接。
[0012]本公开的第二个目的是提供一种研磨系统，包括上述中任意一项所述的研磨装置。
[0013]可选地，所述研磨系统还包括喷嘴，所述喷嘴用于向所述研磨基座喷淋研磨液。
[0014]通过上述技术方案，可以通过压力供给单元分别调节第一区域、第二区域和第三区域施加朝向板状物料的压力，压力变大，对应区域的研磨程度对应提高，板状物料在对应区域的厚度更低，反之，压力降低，对应区域的研磨程度对应降低，板状物料在对应区域的厚度更高，这样便不再需要如相关技术中那般重新打磨压力盘，降低了研磨作业的时间，提高了研磨作业效率，也不需要更换研磨基座，降低了研磨作业的生产成本，更利于板状物料的大规模生产。
[0015]本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
[0016]附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：
[0017]图1是本公开示例性实施方式提供的研磨装置的结构示意图；
[0018]图2是本公开示例性实施方式提供的研磨系统的使用示意图；
[0019]图3是本公开示例性实施方式提供的研磨系统的结构示意图。
[0020]附图标记说明
[0021]1‑
板状物料，2
‑
研磨基座，3
‑
载料盘，4
‑
压力板，41
‑
第一区域，411
‑
第一凸块，42
‑
第二区域，421
‑
第二凸块，43
‑
第三区域，431
‑
第三凸块，5
‑
压力供给单元，51
‑
安装基座，52
‑
第一气缸，53
‑
第二气缸，54
‑
第三气缸，55
‑
第一筒体，56
‑
第二筒体，57
‑
第三筒体，6
‑
容纳槽。
具体实施方式
[0022]以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。
[0023]在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是指以相关部件在实际使用状态的方位，具体可参照图1的图面方向。“内、外”是指相应部件轮廓的内和外。另外，下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。本公开中使用的术语“第一”、“第二”等是为了区别一个要素和另一个要素，不具有顺序性和重要性。
[0024]本公开的第一个目的是提供一种研磨装置，用于板状物料1研磨，如图1所示，研磨装置包括绕自身轴线水平可转动设置的用于承载板状物料1的研磨基座2以及依次设置在研磨基座2上方的载料盘3、压力板4和压力供给单元5，压力板4在径向上由内向外依次包括第一区域41、第二区域42和第三区域43，其中，压力供给单元5与压力板4连接并配置为能够
分别对第一区域41、第二区域42和第三区域43施加朝向板状物料1的压力。
[0025]压力板4的第一区域41可以呈圆形并设置在压力板4中心，而第二区域42和第三区域43可以分别为环状，第二区域42围合在第一区域41的外周，第三区域43围合在第二区域42的外周，这样的形状可以更便于上述研磨装置使用。因为板状物料1在研磨过程中会不断转动，因此当板状物料1出现内薄外厚、内厚外薄、或者内外与中间厚度不均等情况时，厚度不均的部分也是呈圆形或者环状分布的，这样第一区域41、第二区域42和第三区域43能够更好地与厚度不均的部分对应，保证上述研磨装置对修复厚度不均等问题的效果。如果载料盘3上同时设置有多块板状物料1进行研磨作业时，压力供给单元5还能够保证每本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种研磨装置，用于板状物料研磨，其特征在于，包括绕自身轴线水平可转动设置的用于承载所述板状物料的研磨基座以及依次设置在所述研磨基座上方的载料盘、压力板和压力供给单元，所述压力板在径向上由内向外依次包括第一区域、第二区域和第三区域，其中，所述压力供给单元与所述压力板连接并配置为能够分别对所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域施加朝向所述板状物料的压力。2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述压力供给单元包括安装基座、设置在所述安装基座上的第一气缸、多个第二气缸和多个第三气缸，其中，所述第一气缸用于对所述第一区域施加压力，所述第二气缸用于对所述第二区域施加压力，所述第三气缸用于对所述第三区域施加压力。3.根据权利要求2所述的研磨装置，其特征在于，所述压力供给单元还包括从所述安装基座向下延伸设置的第一筒体、第二筒体和第三筒体，其中，所述第一筒体沿所述第一区域的外边缘围绕在所述第一气缸的活塞杆的周围，所述第二筒体沿所述第二区域的外边缘围绕在多个所述第二气缸的活塞杆的周围，所述第三筒体沿所述第三区域的外边缘围绕在多个所述第三气缸的活塞杆的外周。4.根据权利要求3所述的研磨装置，其特征在于，所述第一筒体的下端面与所述第一区域的抵接...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦俊，宋亚滨，徐进，
申请(专利权)人：新疆蓝晶新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：