空中搬送车系统技术方案

空中搬送车系统(1)具备：空中搬送车(6)，其具备具有行驶车轮(51)的行驶部(50)、和借助悬挂部(8)被支承于行驶部(50)并保持被搬送物(10)的主体部(7)；和筒状的行驶轨道(4)，其具有在行驶部(50)行驶时能够供悬挂部(8)移动的狭缝部(G)及供行驶车轮(51)滚动的滚动部(41)，并形成有供行驶部(50)行驶的内部空间(S)。在弯道区间(4C)中的行驶轨道(4)的内部空间(S)内，在供在滚动部(41)上滚动的弯道外侧的行驶车轮(51)通过的通过区域(R)的上方，沿着行驶轨道(4)的延伸方向配置有供从滚动部(41)浮起规定量的行驶车轮(51)接触的浮起限制部(81)。制部(81)。制部(81)。

【技术实现步骤摘要】
空中搬送车系统


[0001]本专利技术的一个方面涉及空中搬送车系统。

技术介绍

[0002]已知沿着设置在工厂等建筑物的顶棚等上的行驶轨道行驶的空中搬送车。例如，专利文献1(国际公布2012/157319号公报)中公开了一种具备在行驶轨道上行驶的行驶部、和保持物品的主体部的空中搬送车。在专利文献1的空中搬送车中，行驶部在形成为方筒状的行驶轨道的筒内部行驶，主体部借助设于行驶轨道的下表面部的狭缝而相对于行驶部被悬挂支承。
[0003]在这种结构的空中搬送车中，有时构成行驶部的行驶车轮的一部分会因在弯道区间行驶时的离心力而浮起，导致行驶部倾斜。在该情况下，存在行驶部的各部分与行驶轨道碰撞、行驶部的各部分损坏的隐患。

技术实现思路

[0004]因此，本专利技术的一个方面的目的在于，提供一种能够抑制行驶部在弯道区间行驶时的行驶车轮的浮起量的空中搬送车系统。
[0005]本专利技术的一个方面的空中搬送车系统具备：空中搬送车，该空中搬送车具备具有行驶车轮的行驶部、和借助悬挂部被支承于行驶部并保持被搬送物的主体部；和筒状的行驶轨道，该筒状的行驶轨道具有在行驶部行驶时能够供悬挂部移动的狭缝部以及供行驶车轮滚动的滚动部，并形成有供行驶部行驶的内部空间，在弯道区间中的行驶轨道的内部空间内，在供在滚动部上滚动的弯道外侧的行驶车轮通过的通过区域的上方，沿着行驶轨道的延伸方向配置有供从滚动部浮起规定量的行驶车轮接触的浮起限制部。
[0006]在该结构的空中搬送车系统中，在弯道区间的行驶轨道的内部空间内，沿着行驶轨道的延伸方向配置有供弯道外侧的行驶车轮在从滚动部浮起规定量时接触的浮起限制部。由此，能够在弯道区间防止弯道外侧的行驶车轮从滚动部以大于规定量的方式浮起。因此，能够抑制行驶部在弯道区间行驶时的行驶车轮的浮起量。
[0007]在本专利技术的一个方面的空中搬送车系统中，也可以是，行驶轨道具有与滚动部交叉的侧面部，浮起限制部从侧面部向内部空间侧突出。在该结构中，能够利用行驶轨道的侧面部容易地构成浮起限制部。
[0008]在本专利技术的一个方面的空中搬送车系统中，也可以是，空中搬送车还具有在行驶轨道的分岔部位用于分岔的分岔滚轮，在行驶轨道上行驶的空中搬送车的分岔滚轮和浮起限制部以在与行驶轨道的延伸方向和铅垂方向这两者正交的宽度方向上相互对置的方式设置，在浮起限制部形成有与分岔滚轮对置的端面，在直道区间中的内部空间内设有在从铅垂方向观察的俯视时将端面与侧面部连接的锥面。在该结构中，即使在俯视时空中搬送车的分岔滚轮保持着与浮起限制部的端面相比位于外侧的状态到达了弯道区间的入口，分岔滚轮也不会与浮起限制部的延伸方向上的端部碰撞，而是会由锥面顺利地引导至浮起限
制部的端面。由此，能够防止分岔滚轮及浮起限制部中的至少一方损坏。
[0009]在本专利技术的一个方面的空中搬送车系统中，也可以是，空中搬送车具有控制行驶部的各部分的控制部，分岔滚轮以能够在宽度方向上移动的方式设置，控制部以在行驶部进入弯道区间之前或进入的同时使分岔滚轮在宽度方向上向弯道内侧移动的方式进行控制。在该结构中，能够更可靠地防止分岔滚轮及浮起限制部中的至少一方因分岔滚轮与浮起限制部的碰撞而损坏。
[0010]根据本专利技术的一个方面，能够抑制行驶部在弯道区间行驶时的行驶车轮的浮起量。
附图说明
[0011]图1是一个实施方式的空中搬送车系统的概略结构图。
[0012]图2是从前方观察图1的空中搬送车的主视图。
[0013]图3是放大表示图2的行驶轨道部分的剖视图。
[0014]图4是表示浮起限制部的配置部位的俯视图。
[0015]图5是表示在行驶轨道的内部空间行驶的行驶部的图。
具体实施方式
[0016]以下，参照附图对本专利技术的一个方面的一个优选实施方式进行详细说明。需要说明的是，在附图的说明中，对相同的要素标注相同的附图标记并省略重复说明。在图2及图3中，为了便于说明而定义“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”方向。
[0017]如图1及图2所示，空中搬送车系统1是用于使用能够沿着行驶轨道4移动的空中搬送车6(以下称为“搬送车6”)在载置部9之间搬送物品(被搬送物)10的系统。物品10例如包括像储存多个半导体晶圆的FOUP(Front Opening Unified Pod：前开式晶圆传送盒)及储存玻璃基板的标线片盒等那样的容器、和一般零件等。空中搬送车系统1具备行驶轨道4、多个搬送车6及多个载置部9。
[0018]如图1所示，载置部9沿着行驶轨道4配置，并设于搬送车6能够交接物品10的位置。载置部9包括缓冲区及交接口。缓冲区是暂时载置物品10的载置部。缓冲区例如是在因在作为目标的交接口载置有其他物品10等理由而无法将搬送车6正在搬送的物品10移载到该交接口的情况下暂时载置物品10的载置部。交接口是用于相对于例如以清洗装置、成膜装置、光刻装置、蚀刻装置、热处理装置、平坦化装置为代表的半导体的处理装置(未图示)进行物品10的交接的载置部。需要说明的是，处理装置并无特别限定，可以是各种装置。
[0019]例如，载置部9配置在行驶轨道4的侧方。在该情况下，搬送车6通过利用横向送出部24将升降驱动部28等横向送出、并使升降台30升降，从而在与载置部9之间交接物品10。需要说明的是，虽未图示，但载置部9也可以配置在行驶轨道4的正下方。在该情况下，搬送车6通过使升降台30升降而在与载置部9之间交接物品10。
[0020]行驶轨道4例如铺设在作为作业人员的头上空间的顶棚附近。行驶轨道4例如从顶棚悬挂。行驶轨道4是用于使搬送车6行驶的预先确定的行驶路径。搬送车6在行驶轨道4上向预先确定的一个方向移动。行驶轨道4由支柱4A、4A支承。
[0021]如图2及图3所示，行驶轨道4具有：方筒状的轨道主体部40，其由一对下表面部(滚
动部)41、41、一对侧面部42、42和上表面部43构成；供电部45；和磁板46。轨道主体部40形成供搬送车6的行驶部50行驶的内部空间S。下表面部41沿搬送车6的行驶方向延伸，构成轨道主体部40的下表面。下表面部41是供搬送车6的行驶滚轮(行驶车轮)51滚动而使行驶部50行驶的板状部件。侧面部42从下表面部41竖立设置(交叉)。侧面部42沿搬送车6的行驶方向延伸，构成轨道主体部40的侧面。上表面部43沿搬送车6的行驶方向延伸，构成轨道主体部40的上表面。
[0022]在与行驶轨道4的延伸方向正交的宽度方向(左右方向)上对置的一对下表面部41、41之间，形成有供在后详述的行驶部50的悬挂部8在行驶时通过的狭缝部G。狭缝部G沿着行驶轨道4的延伸方向延伸。
[0023]供电部45是向搬送车6的供电铁芯57供给电力、并相对于供电铁芯57进行信号收发的部位。供电部45分别固定在一对侧面部42、42上，并沿着行驶方向延伸。供电部45以非接触的状态对供电铁芯57供给电力。磁板46使搬送车6的LDM(Linear DC Motor：直线直流电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种空中搬送车系统，其特征在于，具备：空中搬送车，该空中搬送车具备具有行驶车轮的行驶部、和借助悬挂部被支承于所述行驶部并保持被搬送物的主体部；和筒状的行驶轨道，该筒状的行驶轨道具有在所述行驶部行驶时能够供所述悬挂部移动的狭缝部以及供所述行驶车轮滚动的滚动部，并形成有供所述行驶部行驶的内部空间，在弯道区间中的所述行驶轨道的所述内部空间内，在供在所述滚动部上滚动的弯道外侧的所述行驶车轮通过的通过区域的上方，沿着所述行驶轨道的延伸方向配置有供从所述滚动部浮起规定量的所述行驶车轮接触的浮起限制部。2.根据权利要求1所述的空中搬送车系统，其特征在于，所述行驶轨道具有与所述滚动部交叉的侧面部，所述浮起限制部从所述侧面部向所述内部空间侧突出。3.根据权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林诚，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：