基板支撑模块以及包含该模块的基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基板支撑模块以及包括该模块的基板处理装置。本发明专利技术公开了一种作为支撑基板的基板支撑模块，其包括：第一驱动部，设置于基底平板并可沿第一方向进行线性移动；第二驱动部，设置于基底平板并可沿与第一方向交叉的第二方向进行线性移动；第一上部轨道，上部轨道部，其中又包括：第一上部轨道，设置于上述第一驱动部，沿第二方向形成移动路径；第二上部轨道，设置于上述第二驱动部，沿第一方向形成移动路径；支撑平板部，设置于上述第一驱动部和上述第二驱动部，随着上述第一驱动部和上述第二驱动部的线性移动而进行移动；至少一个基板支撑销，设置于上述支撑平板部，用于支撑上述基板。撑上述基板。撑上述基板。

【技术实现步骤摘要】
基板支撑模块以及包含该模块的基板处理装置


[0001]本专利技术涉及一种基板支撑模块以及包含该模块的基板处理装置，具体而言，是涉及一种支撑位置可变的基板支撑模块以及包含该模块的基板处理装置。

技术介绍

[0002]一般而言，为了进行基板处理，在基板得到基板支撑模块支撑的状态下，通过基板支撑模块的上下移动而将基板安装和固定在静电卡盘或真空卡盘形态的基板支撑部，从而进行基板处理。
[0003]此时，对于处理对象的基板，在基板支撑模块支撑基板的状态下将基板支撑模块下移，就可以将基板安置在基板支撑部上，并且还可以在平视状态下对基板进行基板处理。
[0004]另外，当基板的处理面朝向上方呈现仰面的状态时，漂浮在空中的异物就有可能再次吸附在基板的处理表面，造成污染基板的问题出现。因此，在基板支撑模块支撑基板的状态下，提升基板支撑模块，使基板处理表面朝下，这样就可以以俯面的状态将基板固定在基板支撑部上。
[0005]如上所述，将基板固定至基板支撑部进行支撑时，需要支撑基板的特定位置，上述基板的特定位置是根据投入使用的基板的类型而有所不同，并且对于以俯面状态处理的基板，尤其需要支撑其处理面，因此支撑位置非常有限。
[0006]即，支撑基板的位置非常有限，根据投入使用的不同基板，支撑位置也会有所不同，但即使精确掌握该支撑位置后也会存在无法支撑基板的问题出现，进而处理表面受到污染或基板受损的问题会进一步产生。
[0007]并且，随着基板的大型化趋势，中心侧相对于边缘下垂，在无法维持水平的状态下支撑基板时，基板支撑部不能接触中心一侧进而导致基板无法进行正常处理。

技术实现思路

[0008](要解决的问题)
[0009]本专利技术的目的在于，为了解决上述技术性问题点，提供一种基板支撑位置可变的基板支撑模块以及包含该模块的基板处理装置。
[0010](解决问题的手段)
[0011]本专利技术，是为了解决上述目的而提出一种技术方案，其公开了一种基板支撑模块，包括：基板支撑销部，包括支撑上述基板(1)的多个基板支撑销(100)；以及基板支撑销驱动部，为了改变上述基板(1)的支撑位置，可将上述多个基板支撑销(100)中的至少一个沿水平方向移动。
[0012]上述基板支撑销驱动部，包括：第一驱动部(300)，沿第一方向驱动上述基板支撑销部；第二驱动部(400)，沿与第一方向交叉的第二方向驱动上述基板支撑销部。
[0013]上述基板支撑销部，设置有多个；并且上述第一驱动部(300)可沿上述第一方向同时驱动一对上述基板支撑销部；并且上述第二驱动部(400)可沿上述第二方向同时驱动一
对上述基板支撑销部。
[0014]上述基板支撑销部，设置有四个，可形成平面上的矩形；上述第一驱动部(300)，在上述基板支撑销部之间设置有两个，其位置相对；上述第二驱动部(400)，在剩余的上述基板支撑销部之间设置有两个，其位置相对。
[0015]相邻设置的两个上述基板支撑销部，可沿上述第一方向或上述第二方向相互排列而进行移动。
[0016]并且，本专利技术作为一种用于支撑基板(1)的基板支撑模块，包括：第一驱动部(300)，设置于基底平板(50)，并可沿第一方向进行线性移动；以及第二驱动部(300)，设置于基底平板(50)，并可沿与上述第一方向相交叉的第二方向进行线性移动；以及上部轨道部(500)，其中又包括：第一上部轨道(510)，设置于上述第一驱动部(300)，沿第二方向形成移动路径；第二上部轨道(520)，设置于上述第二驱动部(400)，沿第一方向形成移动路径；支撑平板部(200)，设置于上述第一驱动部(300)和上述第二驱动部(400)，随着上述第一驱动部(300)和上述第二驱动部(400)的线性移动而进行移动；至少一个基板支撑销(100)，设置于上述支撑平板部(200)，用于支撑上述基板(1)。
[0017]上述支撑平板部(200)，包括：平板(210)，设置有上述基板支撑销(100)；以及第一连接块(220)，设置于上述平板(210)的一端下侧，与上述第一驱动部(300)相连接，并向上述第一上部导轨(510)移动；以及第二连接块(230)，设置于上述平板(210)的另一端下侧，与上述第二驱动部(400)相连接，并向上述第二上部导轨(520)移动。
[0018]本专利技术还包括：下部导轨部(600)，设置于上述基底平板(50)并与上部导轨部(500)相连接，引导上述上部导轨部(500)进行线性移动。
[0019]上述下部导轨部(600)包括：第一下部导轨(610)，沿上述第一方向延长设置于上述基底平板(50)，引导上述第一上部导轨(510)或第一驱动部(300)进行移动；以及第二下部导轨(620)，沿上述第二方向延长设置于上述基底平板(50)，引导上述第二上部导轨(520)或第二驱动部(400)进行移动。
[0020]上述下部导轨部(600)包括：第一引导块(630)，设置于上述第一上部导轨(510)或上述第一驱动部(300)的底面，受上述第一下部导轨(610)引导而移动；以及第二引导块(640)，设置于上述第二上部导轨(520)或上述第二驱动部(400)的底面，受上述第二下部导轨(620)引导而移动。
[0021]上述第一驱动部(300)，沿上述第一方向以相对的形式设置有一对；而上述第二驱动部(400)，沿上述第二方向以相对的形式设置有一对；对于一对上述第一驱动部(300)和上述第二驱动部(400)，两个上述第一驱动部(300)之间的空间和两个上述第二驱动部(400)之间的空间相互重叠设置。
[0022]上述第一方向和上述第二方向相互垂直。
[0023]上述支撑平板部(200)，设置有四个，在平面上形成矩形；每个上述支撑平板部(200)的一侧与另一侧，分别在上述第一驱动部(300)和上述第二驱动部(400)之间又分别相连接。
[0024]分别设置于两个相邻设置的上述支撑平板部(200)的上述基板支撑销(100)，沿上述第一方向或沿上述第二方向排列设置。
[0025]上述第一驱动部(300)和上述第二驱动部(400)中的至少一个包括有：移动子
(310)，与上述支撑平板部(200)相连接并可移动；固定子(320)，通过与上述移动子(310)间产生的电磁力驱动上述移动子(310)。
[0026]上述第一驱动部(300)和上述第二驱动部(400)中的至少一个包括有：移动块，与上述支撑平板部(200)相连接并可移动；以及滚珠丝杠，以螺栓形式结合，并能使上述移动块移动，从而形成上述移动块的移动路径；以及驱动电动机，将上述滚珠丝杠旋转而驱动移动块。
[0027]并且，本专利技术包括：形成内部空间的腔体(10)；以及至少一个基板支撑模块(20)，基于上述权利要求1至16项中任意一项，设置于上述内部空间并支撑上述基板(1)。
[0028]上述基板支撑模块(20)，支撑上述基板(1)的中心侧；还包括：基板支本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于支撑基板(1)的基板支撑模块，其特征在于，包括：基板支撑销部，包括支撑上述基板(1)的多个基板支撑销(100)；以及基板支撑销驱动部，为了改变上述基板(1)的支撑位置，可将上述多个基板支撑销(100)中的至少一个沿水平方向移动。2.根据权利要求1所述的基板支撑模块，其特征在于，上述基板支撑销驱动部，包括：第一驱动部(300)，沿第一方向驱动上述基板支撑销部；第二驱动部(400)，沿与第一方向交叉的第二方向驱动上述基板支撑销部。3.根据权利要求2所述的基板支撑模块，其特征在于，上述基板支撑销部，设置有多个；并且上述第一驱动部(300)可沿上述第一方向同时驱动一对上述基板支撑销部；并且上述第二驱动部(400)可沿上述第二方向同时驱动一对上述基板支撑销部。4.根据权利要求2所述的基板支撑模块，其特征在于，上述基板支撑销部，设置有四个，可形成平面上的矩形；上述第一驱动部(300)，在上述基板支撑销部之间设置有两个，其位置相对；上述第二驱动部(400)，在剩余的上述基板支撑销部之间设置有两个，其位置相对。5.根据权利要求4所述的基板支撑模块，其特征在于，相邻设置的两个上述基板支撑销部，沿上述第一方向或上述第二方向相互排列而进行移动。6.一种用于支撑基板(1)的基板支撑模块，其特征在于，包括：第一驱动部(300)，设置于基底平板(50)，并可沿第一方向进行线性移动；以及第二驱动部(300)，设置于基底平板(50)，并可沿与上述第一方向相交叉的第二方向进行线性移动；以及上部轨道部(500)，其中又包括：第一上部轨道(510)，设置于上述第一驱动部(300)，沿第二方向形成移动路径；第二上部轨道(520)，设置于上述第二驱动部(400)，沿第一方向形成移动路径；支撑平板部(200)，设置于上述第一驱动部(300)和上述第二驱动部(400)，随着上述第一驱动部(300)和上述第二驱动部(400)的线性移动而进行移动；至少一个基板支撑销(100)，设置于上述支撑平板部(200)，用于支撑上述基板(1)。7.根据权利要求6所述的基板支撑模块，其特征在于，上述支撑平板部(200)，包括：平板(210)，设置有上述基板支撑销(100)；以及第一连接块(220)，设置于上述平板(210)的一端下侧，与上述第一驱动部(300)相连接，并向上述第一上部导轨(510)移动；以及第二连接块(230)，设置于上述平板(210)的另一端下侧，与上述第二驱动部(400)相连接，并向上述第二上部导轨(520)移动。8.根据权利要求6所述的基板支撑模块，其特征在于，包括：下部导轨部(600)，设置于上述基底平板(50)并与上部导轨部(500)相连接，引导上述上部导轨部(500)进行线性移动。
9.根据权利要求8所述的基板支撑模块，其特征在于，上述下部导轨部(600)包括：第一下部导轨(610)，沿上述第一方向延长设置于上述基底平板(50)，引导上述第一上部导轨(510)或第一驱动部(300)进行移动；以及第二下部导轨(620)，沿上述第二方向延长设置于上述基底平板(50)，引导上述第二上部导轨(520)或第二驱动部(400)进行移动。10.根据权利要求9所述的基板支撑模块，其特征在于，上述下部导轨部(600)包括：第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：金圭范，金到奂，朴宰奭，李熙云，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：