【技术实现步骤摘要】
一种动态参数测试装置
[0001]本技术涉及测试领域,特别是涉及一种动态参数测试装置。
技术介绍
[0002]目前,在对市面上的第三代半导体器件(如碳化硅材料器件等)进行动态参数测试(如开关时间、ILATCH等)的测试仪中,通常采用具有高蓄能的电感线圈作为测试的负载元件。但在双脉冲测试应用(如开关时间测试)中,由于电感线圈的蓄能特性,很容易造成第二个脉冲ICE(集电极
‑
发射极电流)的电流值高于设定值,如此容易造成待测NPN三极管DUT的损坏。同样由于电感线圈的蓄能特性,在测试过程中电感需要并联续流二极管来维持电感线圈的电流方向,但续流二极管的反向恢复过程会对待测NPN三极管DUT的测试波形造成一定的影响,使得测试结果不准确。
[0003]另外,对于在大VCE(集电极
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发射极电压)和小ICE的测试应用中,由于充电时间比较小,若在传感器或示波器带宽不足或测量延时等,造成了不能对所述待测NPN三极管DUT实时关断时,同样也会造成ICE的电流值高于设定值,从而损坏待测NPN三极管DUT ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种动态参数测试装置,其特征在于,包括测试仪、负载模组、测试电路模块、示波器和待测NPN三极管,所述待测NPN三极管设置在所述测试电路模块上,并通过所述测试电路模块分别与所述测试仪、负载模组和示波器电连接;所述测试仪分别与所述负载模组、测试电路模块和示波器电连接,并用于向所述示波器提供电平转换的触发信号,还用于向所述测试电路模块提供测试驱动电压,以及向所述待测NPN三极管提供VCE电压,所述负载模组作为所述动态参数测试装置在动态参数测试时的可调电阻负载元件。2.如权利要求1所述的动态参数测试装置,其特征在于,所述负载模组包括相互连接的负载元件组和电阻继电器控制电路,所述电阻继电器控制电路控制所述负载元件组的负载电阻值,所述负载元件组和电阻继电器控制电路均与所述测试仪电连接。3.如权利要求2所述的动态参数测试装置,其特征在于,所述负载元件组包括n个电阻和n个电阻继电器,所有所述电阻串联连接,串联后的所有所述电阻的两端为负载元件组的两端,所述两端均连接所述测试仪,每个所述电阻均与一个所述电阻继电器并联连接,所有所述电阻继电器均与所述电阻继电器控制电路连接,使得所述电阻继电器控制电路控制所有所述电阻继电器释放或闭合,以实现所有所述电阻继电器状态的切换;其中,n≥3,且为正整数。4.如权利要求3所述的动态参数测试装置,其特征在于,n个所述电阻依次为第一电阻至第n电阻,每个所述电阻的阻值为2
(n
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1)
Ω。5.如权利要求2所述的动态参数测试装置,其特征在于,所述测试仪包括相互连接的电源电路部分、负载电路和控制电路部分,所述电源电路部分与所述测试电路模块电连接,并用于通过所述测试电路模块向所述待测NPN三极管提供VCE电压;所述负载电路分别与所述测试电路模块和所述负载元件组电连接,并使得所述负载元件组与所述待测NPN三极管的C极电...
【专利技术属性】
技术研发人员:何嘉辉,陈希辰,陈啟钊,钟有权,周婉欣,
申请(专利权)人:佛山市联动科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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