电光调制器制造技术

提供一种电光调制器，包括波导层和电极层，电极层包括：依次排列的多个第一子电极及与多个第一子电极对应连接的多个第一连接电极；依次排列的多个第二子电极及与多个第二子电极对应连接的多个第二连接电极；依次排列的多个第三子电极及与多个第三子电极对应连接的多个第三连接电极；及，依次排列的多个第四子电极及与多个第四子电极对应连接的多个第四连接电极；其中，多个第一子电极和多个第四子电极接地，多个第二子电极和多个第三子电极接收差分信号，多个第一子电极和多个第二子电极形成第一电场，多个第三子电极和多个第四子电极形成与第一电场方向相反的第二电场；波导层包括位于第一电场中的第一波导臂和位于第二电场中的第二波导臂。二电场中的第二波导臂。二电场中的第二波导臂。

【技术实现步骤摘要】
电光调制器


[0001]本公开涉及光通信
，特别是涉及一种电光调制器。

技术介绍

[0002]近年来，随着物联网、无人驾驶、远程医疗、远程教育等新兴网络应用业务的飞速发展，对于高速大容量通信技术提出了更高的要求。光通信因其带宽大、可靠性高、成本低、抗干扰能力强等特点，在高速、大容量通信方向取得了飞速的发展。如何将高速电信号加载到光载波上是一项核心研究内容。
[0003]电光调制器是基于电光材料(Electro
‑
optic materials)的电光效应制成的一种调制器。电光效应是指，当对例如铌酸锂晶体、砷化稼晶体或钽酸锂晶体等电光材料施加电压时，电光材料的折射率会发生变化，进而引起通过该电光材料的光波的特性发生变化。利用电光效应，可以实现对光信号相位、幅度、强度以及偏振状态等参数的调制。
[0004]随着人们对于高速、大容量通信技术的需求日益迫切，对于电光调制器的低损耗以及工作性能提出了更高的要求。

技术实现思路

[0005]本公开实施例提供了一种电光调制器，以降低电光调制器的传输损耗以及改善其工作性能。
[0006]本公开实施例提供的电光调制器，包括依次设置的衬底、隔离层、波导层和电极层，其中，电极层包括：沿第一方向依次排列的多个第一子电极以及与多个第一子电极一一对应地交叉连接的多个第一连接电极；沿第一方向依次排列的多个第二子电极以及与多个第二子电极一一对应地交叉连接的多个第二连接电极；沿第一方向依次排列的多个第三子电极以及与多个第三子电极一一对应地交叉连接的多个第三连接电极；以及，沿第一方向依次排列的多个第四子电极以及与多个第四子电极一一对应地交叉连接的多个第四连接电极；其中，多个第一子电极和多个第四子电极配置为接地，多个第二子电极和多个第三子电极配置为接收差分信号，多个第一子电极和多个第二子电极之间配置为形成第一电场，多个第三子电极和多个第四子电极之间配置为形成与第一电场方向相反的第二电场；波导层包括第一波导臂和第二波导臂，在垂直于衬底的方向上，第一波导臂位于多个第一子电极和多个第二子电极之间并且与多个第一连接电极和多个第二连接电极无交叉，第二波导臂位于多个第三子电极和多个第四子电极之间并且与多个第三连接电极和多个第四连接电极相交叉。
[0007]在一些实施例中，电极层包括依次设置的第一地电极、第一信号电极、第二信号电极和第二地电极，第一信号电极和第二信号电极配置为接收差分信号，其中：第一地电极包括第一主电极、与第一主电极连接的多个第一连接电极、以及多个第一子电极；第一信号电极包括第二主电极、与第二主电极连接的多个第二连接电极、以及多个第二子电极；第二信号电极包括第三主电极、与第三主电极连接的多个第三连接电极、以及多个第三子电极；第
二地电极包括第四主电极、与第四主电极连接的多个第四连接电极、以及多个第四子电极。
[0008]在一些实施例中，第二主电极和第三主电极至衬底的距离为h1，第一主电极和第四主电极至衬底的距离为h2，其中，h1≠h2。
[0009]在一些实施例中，所述第一主电极、所述第二主电极、所述第三主电极、所述第四主电极整体呈折叠状并且彼此无交叉；所述第一波导臂和所述第二波导臂与所述第一主电极、所述第二主电极、所述第三主电极和所述第四主电极均无交叉；或者，所述第一波导臂和所述第二波导臂中的至少一个与所述第一主电极、所述第二主电极、所述第三主电极和所述第四主电极中的一个或多个相交叉。
[0010]在一些实施例中，电极层还包括：位于第一信号电极和第二信号电极之间的第三地电极。
[0011]在一些实施例中，所述第一主电极、所述第二主电极、所述第三地电极、所述第三主电极、和所述第四主电极整体呈折叠状并且彼此无交叉；所述第一波导臂和所述第二波导臂与所述第一主电极、所述第二主电极、所述第三地电极、所述第三主电极、和所述第四主电极均无交叉；或者，所述第一波导臂和所述第二波导臂中的至少一个与所述第一主电极、所述第二主电极、所述第三地电极、所述第三主电极、和所述第四主电极中的一个或多个相交叉。
[0012]在一些实施例中，电极层包括依次设置的第一地电极、第一信号电极、第二地电极、第二信号电极和第三地电极，第一信号电极和第二信号电极配置为接收差分信号，其中：第二地电极包括：第一主电极、位于第一主电极的一侧并且与第一主电极连接的多个第一连接电极以及多个第一子电极，以及，位于第一主电极的另一侧并且与第一主电极连接的多个第四连接电极以及多个第四子电极；第一信号电极包括第二主电极、与第二主电极连接的多个第二连接电极、以及多个第二子电极；第二信号电极包括第三主电极、与第三主电极连接的多个第三连接电极、以及多个第三子电极。
[0013]在一些实施例中，第二主电极和第三主电极至衬底的距离为h3，第一地电极、第三地电极和第一主电极至衬底的距离为h4，其中，h3≠h4。
[0014]在一些实施例中，所述第一地电极、所述第二主电极、所述第一主电极、所述第三主电极和所述第三地电极整体呈折叠状并且彼此无交叉；所述第一波导臂和所述第二波导臂与所述第一地电极、所述第二主电极、所述第一主电极、所述第三主电极和所述第三地电极均无交叉；或者，所述第一波导臂和所述第二波导臂中的至少一个与所述第一地电极、所述第二主电极、所述第一主电极、所述第三主电极和所述第三地电极中的一个或多个相交叉。
[0015]在一些实施例中，每个第一子电极与相应的第一连接电极呈T形连接或者L形连接；每个第二子电极与相应的第二连接电极呈T形连接或者L形连接；每个第三子电极与相应的第三连接电极呈T形连接或者L形连接；每个第四子电极与相应的第四连接电极呈T形连接或者L形连接。
[0016]在一些实施例中，沿第一方向，多个第一子电极与多个第二子电极一一对应地相对设置，多个第三子电极与多个第四子电极交替设置。
[0017]在一些实施例中，波导层还包括：平板波导，第一波导臂和第二波导臂位于平板波导的远离衬底的一侧。
[0018]在一些实施例中，电光调制器还包括：分光元件，包括信号输入端、第一分光输出端和第二分光输出端，其中，第一波导臂和第二波导臂的一端与第一分光输出端和第二分光输出端一一对应连接；以及，合光元件，包括第一分光输入端、第二分光输入端和信号输出端，其中，第一波导臂和第二波导臂的另一端与第一分光输入端和第二分光输入端一一对应连接。
[0019]根据本公开的一个或多个实施例，电极层的结构设计，不但可以实现作用于两个波导臂的电场的反向设计，还可以缩短信号电极和地电极之间的间隔，从而可以提高电场强度，减少电信号的传输损耗。
[0020]根据在下文中所描述的实施例，本公开的这些和其它方面将是清楚明白的，并且将参考在下文中所描述的实施例而被阐明。
附图说明
[0021]在下面结合附图对于示例性实施例的描述中，本公开的更多细节、特征和优点被公开，在附图中：
[0022]图1是传统型电光调制器的结构示意图；
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电光调制器，所述电光调制器包括依次设置的衬底、隔离层、波导层和电极层，其中，所述电极层包括：沿第一方向依次排列的多个第一子电极以及与多个第一子电极一一对应地交叉连接的多个第一连接电极；沿第一方向依次排列的多个第二子电极以及与多个第二子电极一一对应地交叉连接的多个第二连接电极；沿第一方向依次排列的多个第三子电极以及与多个第三子电极一一对应地交叉连接的多个第三连接电极；以及，沿第一方向依次排列的多个第四子电极以及与多个第四子电极一一对应地交叉连接的多个第四连接电极；其中，所述多个第一子电极和所述多个第四子电极配置为接地，所述多个第二子电极和所述多个第三子电极配置为接收差分信号，所述多个第一子电极和所述多个第二子电极之间配置为形成第一电场，所述多个第三子电极和所述多个第四子电极之间配置为形成与第一电场方向相反的第二电场；所述波导层包括第一波导臂和第二波导臂，在垂直于衬底的方向上，所述第一波导臂位于所述多个第一子电极和所述多个第二子电极之间并且与所述多个第一连接电极和所述多个第二连接电极无交叉，所述第二波导臂位于所述多个第三子电极和所述多个第四子电极之间并且与所述多个第三连接电极和所述多个第四连接电极相交叉。2.根据权利要求1所述的电光调制器，其中，所述电极层包括依次设置的第一地电极、第一信号电极、第二信号电极和第二地电极，所述第一信号电极和所述第二信号电极配置为接收差分信号，其中：所述第一地电极包括第一主电极、与所述第一主电极连接的所述多个第一连接电极、以及所述多个第一子电极；所述第一信号电极包括第二主电极、与所述第二主电极连接的所述多个第二连接电极、以及所述多个第二子电极；所述第二信号电极包括第三主电极、与所述第三主电极连接的所述多个第三连接电极、以及所述多个第三子电极；所述第二地电极包括第四主电极、与所述第四主电极连接的所述多个第四连接电极、以及所述多个第四子电极。3.根据权利要求2所述的电光调制器，其中，所述第二主电极和所述第三主电极至所述衬底的距离为h1，所述第一主电极和所述第四主电极至所述衬底的距离为h2，其中，h1≠h2。4.根据权利要求2所述的电光调制器，其中，所述第一主电极、所述第二主电极、所述第三主电极、所述第四主电极整体呈折叠状并且彼此无交叉；所述第一波导臂和所述第二波导臂与所述第一主电极、所述第二主电极、所述第三主电极和所述第四主电极均无交叉；或者，所述第一波导臂和所述第二波导臂中的至少一个与所述第一主电极、所述第二主电极、所述第三主电极和所述第四主电极中的一个或多个相交叉。5.根据权利要求2所述的电光调制器，其中，所述电极层还包括：位于所述第一信号电极和所述第二信号电极之间的第三地电极。6.根据权利要求5所述的电光调制器，其中，
所述第一主电极、所述第二主电极、所述第三地电极、所述第三主电极、和所述第四主电极整体呈折叠状并且彼此无交叉；所述第一波导臂和所述第二波导臂与所述第一主电极、所述第二主电极、所述第三地...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁寒潇，宋一品，周颖聪，巫海苍，毛文浩，宋时伟，孙维祺，俞清扬，张周宇，
申请(专利权)人：南京刻得不错光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：