一种超声波指纹识别芯片的测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种超声波指纹识别芯片的测试装置，包括金属体和一端开口的薄膜体；所述金属体设置在所述薄膜体内，且所述金属体与所述薄膜体的底部间隔形成有一空腔。本实用新型专利技术提供的一种超声波指纹识别芯片的测试装置，通过将一金属体设置在一薄膜体内，并使金属体与薄膜体的底部间隔形成一空腔，从而可以由薄膜体接触芯片的sensor区域来配合进行超声波测试，以替代现有的贴膜工艺，能够减少贴膜的成本，有利于成本的管控。有利于成本的管控。有利于成本的管控。

【技术实现步骤摘要】
一种超声波指纹识别芯片的测试装置


[0001]本技术涉及半导体测试
，尤其涉及一种超声波指纹识别芯片的测试装置。

技术介绍

[0002]超声波指纹识别芯片是第三代指纹识别芯片。超声波式指纹识别技术利用的原理是超声波具有穿透材料的能力，且随材料的不同产生大小不同的回波(超声波到达不同材质表面时，被吸收、穿透与反射的程度不同)。相比于第一代的光学式指纹识别技术和第二代的电容式指纹识别技术，超声波式指纹识别技术的优势在于，即使手上有水、灰尘、护手霜等其它脏物，也不影响指纹识别的准确度。
[0003]目前，现有技术在对晶圆上的若干个超声波指纹芯片进行超声波性能测试之前，需要先对晶圆进行加工，具体是进行一次贴膜工艺，以对超声波指纹芯片的sensor(感应)区域进行贴膜，如图1所示。存在的缺陷是，每对一个超声波指纹芯片进行超声波性能测试都会增加一次贴膜的成本，不利于成本的管控。
[0004]因此，需要对现有技术进行改进，
[0005]以上信息作为背景信息给出只是为了辅助理解本公开，并没有确定或者承认任意上述内容是否可用作相对于本公开的现有技术。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种超声波指纹识别芯片的测试装置，以解决现有技术的不足。
[0007]为实现上述目的，本技术提供以下的技术方案：
[0008]一种超声波指纹识别芯片的测试装置，所述装置包括金属体和一端开口的薄膜体；
[0009]所述金属体设置在所述薄膜体内，且所述金属体与所述薄膜体的底部间隔形成有一空腔。
[0010]进一步地，所述超声波指纹识别芯片的测试装置中，所述装置还包括固定导轨和距离调节量具；
[0011]所述薄膜体滑动设置在所述固定导轨上；
[0012]所述距离调节量具固定在所述固定导轨上；
[0013]所述距离调节量具的测量伸出端与所述金属体相抵或固定连接；或，所述距离调节量具的测量伸出端与所述薄膜体相抵或固定连接。
[0014]进一步地，所述超声波指纹识别芯片的测试装置中，所述金属体与所述薄膜体的底部的间隔为3mm。
[0015]进一步地，所述超声波指纹识别芯片的测试装置中，所述金属体与所述薄膜体通过树脂粘合连接。
[0016]进一步地，所述超声波指纹识别芯片的测试装置中，所述距离调节量具为数显微
分尺。
[0017]进一步地，所述超声波指纹识别芯片的测试装置中，所述薄膜体的底部外侧设置有橡胶。
[0018]进一步地，所述超声波指纹识别芯片的测试装置中，所述金属体由CR12金属材料制得。
[0019]进一步地，所述超声波指纹识别芯片的测试装置中，所述薄膜体由PVC材料制得。
[0020]进一步地，所述超声波指纹识别芯片的测试装置中，所述薄膜体的侧壁和底部的厚度均为400um
‑
600um。
[0021]进一步地，所述超声波指纹识别芯片的测试装置中，所述薄膜体的底部的厚度为400um
‑
600um。
[0022]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0023]本技术提供的一种超声波指纹识别芯片的测试装置，通过将一金属体设置在一薄膜体内，并使金属体与薄膜体的底部间隔形成一空腔，从而可以由薄膜体接触芯片的sensor区域来配合进行超声波测试，以替代现有的贴膜工艺，能够减少贴膜的成本，有利于成本的管控。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0025]图1是现有技术中晶圆上的芯片进行贴膜工艺的示意图；
[0026]图2是本技术实施例提供的一种超声波指纹识别芯片的测试装置的结构示意图；
[0027]图3是本技术实施例提供的一种超声波指纹识别芯片的测试装置的结构示意图。
[0028]附图标记：
[0029]金属体1，薄膜体2，空腔3，固定导轨4，距离调节量具5。
具体实施方式
[0030]为使得本技术的目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而非全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]在本技术的描述中，需要理解的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中设置的组件。当一个组件被认为是“设置在”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中设置的组件。
[0032]此外，术语“长”“短”“内”“外”等指示方位或位置关系为基于附图所展示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本技术，而不是指示或暗示所指的装置或原件必须具有此特定的方位、以特定的方位构造进行操作，以此不能理解为本技术的限制。
[0033]下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0034]实施例一
[0035]有鉴于上述现有的芯片测试技术存在的缺陷，本申请人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以希望创设能够解决现有技术中缺陷的技术，使得芯片测试技术更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本技术。
[0036]请参考图2，本技术实施例提供一种超声波指纹识别芯片的测试装置，所述装置包括金属体1和一端开口的薄膜体2；
[0037]所述金属体1设置在所述薄膜体2内，且所述金属体1与所述薄膜体2的底部间隔形成有一空腔3。
[0038]需要说明的是，现有技术之所以要在对晶圆上的若干个超声波指纹芯片进行超声波性能测试之前，先对超声波指纹芯片的sensor(感应)区域进行贴膜，是因为如果不贴膜，则sensor区域发出的超声波进入空气后会因没有碰到介质而无法反弹，也即没有介质反馈波形而无法进行超声波测试，因此为了保证既可以反馈波形进行超声波测试，又可以减少贴膜的成本，本实施例提出了通过将一金属体1设置在一薄膜体2内，并使金属体1与薄膜体2的底部间隔形成一空腔3的装置设计，该装置的薄膜体2与sensor区域接触后相当于是给sensor区域贴了一层薄膜，从而可以由薄膜体2来配合进行超声波测试，以替代现有的贴膜工艺，能够减少贴膜的成本，并且，空腔3的设置可在进行测试时，模拟超声波遇到不同的介质而反射抓取不同的波形进行分析测试的应用环境，能够更好地根据测试不同波形判断芯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超声波指纹识别芯片的测试装置，其特征在于，所述装置包括金属体(1)和一端开口的薄膜体(2)；所述金属体(1)设置在所述薄膜体(2)内，且所述金属体(1)与所述薄膜体(2)的底部间隔形成有一空腔(3)。2.根据权利要求1所述的超声波指纹识别芯片的测试装置，其特征在于，所述装置还包括固定导轨(4)和距离调节量具(5)；所述薄膜体(2)滑动设置在所述固定导轨(4)上；所述距离调节量具(5)固定在所述固定导轨(4)上；所述距离调节量具(5)的测量伸出端与所述金属体(1)相抵或固定连接；或，所述距离调节量具(5)的测量伸出端与所述薄膜体(2)相抵或固定连接。3.根据权利要求1所述的超声波指纹识别芯片的测试装置，其特征在于，所述金属体(1)与所述薄膜体(2)的底部的间隔为3mm。4.根据权利要求1所述的超声波指纹识别芯片的测试装置，其特征在于，所述金属体(1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢刚刚，孙文涛，钟树，陈勇，陆聪，卢旭坤，
申请(专利权)人：上海芯丑半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：