【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆测试，具体为一种探针卡测量装置。
技术介绍
1、探针卡是一种测试接口，主要用于对集成电路芯片进行测试，通过探针连接测试机和芯片，即将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片信号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化测量的目的，因此，探针卡质量的好坏，严重影响晶圆参数测试的准确性。
2、探针卡在投入使用之前需要对探针卡的探针进行测量，相关技术中，通常需要将探针卡放置到工作台上，然后手动调节显微镜，利用显微镜观察探针，从而判断探针是否合格。然而，不同探针卡的探针长度不同，通过手动调节显微镜可能会使显微镜与探针发生碰撞，从而损坏探针和显微镜。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本申请提供了一种探针卡测量装置，解决了手动调节显微镜可能损坏探针和显微镜的问题。
2、为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种探针卡测量装置，包括：
3、机架；
4、观测机构，所述观测机构包括显微镜和驱动组件，所述驱动组件设置于所述机架上，所述显微镜设置于所述驱动组件上；
5、承载机构，所述承载机构包括多个用于承载探针卡的承载件，所述多个承载件分别与所述机架可拆卸连接；
6、控制系统，所述控制系统与所述驱动组件电连接，所述控制组件用于读取探针卡和所述承载件的参数以及控制上所述驱动组件动作。
7、优选的，所述驱动组件包括：
8、第一直线模组，所述第一直线模组的基座设置于所述机架上，所
9、第二直线模组，所述第二直线模组的基座设置于所述第一直线模组的滑台上，所述第二直线模组的滑台沿第二方向滑移；
10、所述显微镜固定设置于所述第二直线模组的滑台上。
11、优选的，每个所述承载件的高度均不相同，每个所述承载件的顶面上均开设有避让槽，每个所述承载件上分别粘贴有不同的身份标签，所述控制系统中储存有不同的所述身份标签所对应的承载件的高度信息。
12、优选的，所述控制系统包括：
13、mes系统，所述mes系统用于储存探针卡的高度信息和承载件的高度信息；
14、标签识别器，所述标签识别器与所述mes系统电连接，所述标签识别器用于识别承载件上的身份标签和探针卡上的身份标签；
15、高度计算模块，所述高度计算模块与所述mes系统电连接，用于从mes系统调取所述标签识别器识别到的身份标签所对应的承载件高度信息或者探针卡高度信息，并且将承载件高度信息或者探针卡高度信息输入到高度计算模型，得到高度调节信息；
16、控制模块，所述控制模块与所述驱动组件电连接，所述控制模块用于根据所述高度调节信息控制所述驱动组件的动作。
17、优选的，所述控制模块包括：
18、高度获取单元，所述高度获取单元与所述驱动组件电连接，所述高度获取单元用于获取显微镜的绝对高度信息；
19、位移计算单元，所述位移计算单元电连接于所述高度获取单元和所述高度计算模块，所述位移计算单元用于根据所述高度调节信息和所述绝对高度信息计算出显微镜的位移信息。
20、优选的，所述标签识别器为扫码枪。
21、优选的，所述控制系统还包括：
22、显示模块，所述显示模块与所述mes系统电连接，所述显示模块用于显示所述mes系统信息；
23、信息输入模块，所述信息输入模块与所述mes系统电连接，所述信息输入模块用于向所述mes系统输入信息。
24、本申请提供了一种探针卡测量装置，具备以下有益效果：
25、该探针卡测量装置，通过设置承载机构对不同种类的探针卡进行承载，从实现了测量装置对多种不同种类的探针卡的测量需求；通过设置控制系统对驱动组件进行控制，使得测量装置在对不同的探针卡进行检测时，都能够将显微镜停留在合适的位置上，解决了手动调节显微镜可能损坏探针和显微镜的问题。
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1.一种探针卡测量装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种探针卡测量装置，其特征在于，所述驱动组件(32)包括：
3.根据权利要求1所述的一种探针卡测量装置，其特征在于，每个所述承载件(41)的高度均不相同，每个所述承载件(41)的顶面上均开设有避让槽(42)，每个所述承载件(41)上分别粘贴有不同的身份标签，所述控制系统(5)中储存有不同的所述身份标签所对应的承载件(41)的高度信息。
4.根据权利要求1所述的一种探针卡测量装置，其特征在于，所述控制系统(5)包括：
5.根据权利要求4所述的一种探针卡测量装置，其特征在于，所述控制模块(54)包括：
6.根据权利要求4所述的一种探针卡测量装置，其特征在于，所述标签识别器(52)为扫码枪。
7.根据权利要求4所述的一种探针卡测量装置，其特征在于，所述控制系统(5)还包括：
【技术特征摘要】
1.一种探针卡测量装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种探针卡测量装置，其特征在于，所述驱动组件(32)包括：
3.根据权利要求1所述的一种探针卡测量装置，其特征在于，每个所述承载件(41)的高度均不相同，每个所述承载件(41)的顶面上均开设有避让槽(42)，每个所述承载件(41)上分别粘贴有不同的身份标签，所述控制系统(5)中储存有不同的所述身份标签所对应的承载件...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟树，杨雅鄢，梁延培，谢刚刚，陈勇，卢旭坤，
申请(专利权)人：上海芯丑半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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