一种晶元定位加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种晶元定位加工装置，涉及晶元加工领域。该晶元定位加工装置，包括加工台，所述加工台的上表面固定连接有旋转电机，所述旋转电机驱动轴的顶端固定连接有吸盘；所述加工台的上表面设置有中心定位机构、夹紧机构、距离检测机构和视觉矫正机构；所述中心定位机构包括两个定位柱，所述夹紧机构包括橡胶定位块，所述距离检测机构包括测距传动器，所述视觉矫正机构包括视觉相机。该晶元定位加工装置，启动旋转电机，旋转电机旋转配合自动寻边算法软件，自动寻到晶元特定位置，通过视觉相机进行微调矫正，最后移动平台进行加工。工。工。

【技术实现步骤摘要】
一种晶元定位加工装置


[0001]本技术涉及晶元加工
，具体为一种晶元定位加工装置。

技术介绍

[0002]目前市场上很多晶元定位加工都是通过手动初放，然后通过大视野的视觉进行定位，再通过旋转矫正，来达到定位的目的。因为晶元加工精度高，这种定位不仅消耗时间长，而且要保证高精度的状况下视觉的成本也比较高。很难达到一种普及的状态。
[0003]本技术的目的是提供一种晶元可以自动寻缺口定位加工的装置，降低人工放置带来的误差，减少了定位的时间，降低了成本，以及提高了定位加工精度，而且配合软件算法，能够做到自动化寻边定位加工的目的。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术公开了一种晶元定位加工装置，以解决上述
技术介绍
中提出市场上很多晶元定位加工都是通过手动初放，然后通过大视野的视觉进行定位，再通过旋转矫正，来达到定位的目的。因为晶元加工精度高，这种定位不仅消耗时间长，而且要保证高精度的状况下视觉的成本也比较高的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种晶元定位加工装置，包括加工台，所述加工台的上表面固定连接有旋转电机，所述旋转电机驱动轴的顶端固定连接有吸盘；
[0008]所述加工台的上表面设置有中心定位机构、夹紧机构、距离检测机构和视觉矫正机构；
[0009]所述中心定位机构包括两个定位柱，所述夹紧机构包括橡胶定位块，所述距离检测机构包括测距传动器，所述视觉矫正机构包括视觉相机；
[0010]所述定位柱和橡胶定位块分别处于吸盘的两侧，所述测距传动器和视觉相机分别处于吸盘的前后方。
[0011]优选的，所述中心定位机构还包括XY轴位移台，所述XY轴位移台固定连接在加工台的上表面，所述XY轴位移台的顶部固定连接有连接块，所述连接块的顶部固定连接有气缸，所述气缸伸出轴的端部固定连接有支撑板，且两个定位柱对称固定连接在支撑板的顶部。
[0012]优选的，所述夹紧机构还包括支撑架，所述支撑架固定连接在加工台的顶部，所述支撑架的顶部固定连接有伸缩气缸，所述伸缩气缸伸出轴的端部固定连接有活动条。
[0013]优选的，所述活动条的侧壁上嵌设有两个弹性件，且橡胶定位块固定连接在两个弹性件的端部。
[0014]优选的，所述距离检测机构还包括前后腰槽调节板，所述前后腰槽调节板装配在
加工台的上表面，所述前后腰槽调节板装配有旋转调节台，且所述旋转调节台的上表面设置有固定板，所述测距传动器固定连接在固定板外壁上。
[0015]优选的，所述视觉矫正机构还包括固定架，所述固定架固定连接在加工台的上表面，所述固定架的正面固定连接有微调位移台，所述微调位移台的正面固定连接有固定箍，且所述视觉相机夹持固定在固定箍的内部。
[0016]本技术公开了一种晶元定位加工装置，其具备的有益效果如下：
[0017]1、该晶元定位加工装置，在使用的过程中，事先调节前后腰槽调节板，从而带动了测距传动器移动到合适的前后位置，然后调节旋转调节台，使测距传动器处于垂直状态；然后调节晶元中心与吸盘旋转中心同心，放置晶元，气缸和伸缩气缸同时推出，直至使得两个定位柱和橡胶定位块与晶元外表面相贴合，吸盘吸附，松开两个定位柱和橡胶定位块，启动旋转电机，旋转电机旋转配合自动寻边算法软件，自动寻到晶元特定位置，通过视觉相机进行微调矫正，最后移动平台进行加工。
[0018]2、该晶元定位加工装置，通过设置的两个弹性件，可以让橡胶定位块在夹紧的过程中施加一个反向力，起到一个缓冲的作用，且橡胶定位块与晶元接触，防止在夹紧中弄伤晶元。
附图说明
[0019]图1为本技术结构示意图；
[0020]图2为本技术吸盘的结构示意图；
[0021]图3为本技术中心定位机构的结构示意图；
[0022]图4为本技术夹紧机构的结构示意图；
[0023]图5为本技术距离检测机构的结构示意图；
[0024]图6为本技术视觉矫正机构的结构示意图。
[0025]图中：1、加工台；101、旋转电机；102、吸盘；2、中心定位机构；201、定位柱；202、XY轴位移台；203、连接块；204、气缸；205、支撑板；3、夹紧机构；301、橡胶定位块；302、支撑架；303、伸缩气缸；304、活动条；305、弹性件；4、距离检测机构；401、测距传动器；402、前后腰槽调节板；403、旋转调节台；404、固定板；5、视觉矫正机构；501、视觉相机；502、固定架；503、微调位移台；504、固定箍。
具体实施方式
[0026]本技术实施例公开一种晶元定位加工装置。
[0027]根据附图1
‑
6所示，包括加工台1，加工台1的上表面固定连接有旋转电机101，旋转电机101驱动轴的顶端固定连接有吸盘102；
[0028]加工台1的上表面设置有中心定位机构2、夹紧机构3、距离检测机构4和视觉矫正机构5；
[0029]中心定位机构2包括两个定位柱201，夹紧机构3包括橡胶定位块301，距离检测机构4包括测距传动器401，视觉矫正机构5包括视觉相机501；
[0030]定位柱201和橡胶定位块301分别处于吸盘102的两侧，测距传动器401和视觉相机501分别处于吸盘102的前后方。
[0031]在使用的过程中，事先调节前后腰槽调节板402，从而带动了测距传动器401移动到合适的前后位置，然后调节旋转调节台403，使测距传动器401处于垂直状态；然后调节晶元中心与吸盘102旋转中心同心，放置晶元，气缸204和伸缩气缸303同时推出，直至使得两个定位柱201和橡胶定位块301与晶元外表面相贴合三点定位原理，吸盘102吸附，松开两个定位柱201和橡胶定位块301，启动旋转电机101，旋转电机101旋转配合自动寻边算法软件，自动寻到晶元特定位置，通过视觉相机501进行微调矫正，最后移动平台进行加工。
[0032]根据附图3所示，中心定位机构2还包括XY轴位移台202，XY轴位移台202固定连接在加工台1的上表面，XY轴位移台202的顶部固定连接有连接块203，连接块203的顶部固定连接有气缸204，气缸204伸出轴的端部固定连接有支撑板205，且两个定位柱201对称固定连接在支撑板205的顶部。
[0033]根据附图4所示，夹紧机构3还包括支撑架302，支撑架302固定连接在加工台1的顶部，支撑架302的顶部固定连接有伸缩气缸303，伸缩气缸303伸出轴的端部固定连接有活动条304。
[0034]活动条304的侧壁上嵌设有两个弹性件305，且橡胶定位块301固定连接在两个弹性件305的端部；
[0035]通过设置的两个弹性件305，可以让橡胶定位块301在夹紧的过程中施加一个反向力，起到一个缓冲的作用，且橡胶定位块3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶元定位加工装置，包括加工台(1)，其特征在于：所述加工台(1)的上表面设置有旋转电机(101)，所述旋转电机(101)驱动轴的顶端设置有吸盘(102)；所述加工台(1)的上表面设置有中心定位机构(2)、夹紧机构(3)、距离检测机构(4)和视觉矫正机构(5)；所述中心定位机构(2)包括两个定位柱(201)，所述夹紧机构(3)包括橡胶定位块(301)，所述距离检测机构(4)包括测距传动器(401)，所述视觉矫正机构(5)包括视觉相机(501)；所述定位柱(201)和橡胶定位块(301)分别处于吸盘(102)的两侧，所述测距传动器(401)和视觉相机(501)分别处于吸盘(102)的前后方。2.根据权利要求1所述的一种晶元定位加工装置，其特征在于：所述中心定位机构(2)还包括XY轴位移台(202)，所述XY轴位移台(202)设置在加工台(1)的上表面，所述XY轴位移台(202)的顶部设置有连接块(203)，所述连接块(203)的顶部设置有气缸(204)，所述气缸(204)伸出轴的端部设置有支撑板(205)，且两个定位柱(201)对称设置在支撑板(205)的顶部。3.根据权利要求1所述的一种晶元定位加工装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：王嘉宜，郭琛，凌思，刘江山，
申请(专利权)人：武汉隽龙科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：