贝塞尔曲线光波导耦合器及其干涉仪、集成光滤波器制造技术

本发明专利技术公开了一种贝塞尔曲线光波导耦合器及其干涉仪、集成光滤波器。包含两根同向并行放置的耦合波导，每根耦合波导均包括位于两端的直线波导以及位于中间的沿贝塞尔曲线布置的曲线波导，两根耦合波导组成一个两输入端口和两输出端口的定向耦合器结构；耦合波导的曲线波导的中心线以单段贝塞尔曲线布置或多段顺次相连的贝塞尔曲线布置；以及包含一个或多个定向耦合器的马赫增德尔干涉仪、包含一个或多个级联的马赫增德尔干涉仪的集成光滤波器。本发明专利技术通过引入贝塞尔曲线拓扑结构，可实现具备远小尺寸、大容差、大带宽、任意耦合系数等优点，应用于级联马赫增德尔干涉仪型集成光滤波器可大幅提升滤波器容差、紧凑性和性能，可适用于不同波导平台。可适用于不同波导平台。可适用于不同波导平台。

【技术实现步骤摘要】
贝塞尔曲线光波导耦合器及其干涉仪、集成光滤波器


[0001]本专利技术实施涉及光通信和集成光学领域的一种光波导耦合器和滤波器，具体设计了一种贝塞尔曲线光波导耦合器及基于其的集成光滤波器。

技术介绍

[0002]光通信技术是现代工业和生活的各领域必须的关键技术。随着通信容量需求的迅猛增长，光子集成技术成为光通信模块发展的核心技术，光子集成指将各种光子器件和光电器件在同一种薄膜衬底上集成，将光电模块或系统集成为光子或光电回路，具有高稳定性、小尺寸、低功耗、高性能优势。光子集成代表性技术包括硅基光子技术、铌酸锂光子集成、III
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V族光子集成技术等。硅基光子集成通过硅基集成电路技术的CMOS(互补金属氧化物半导体的缩写)工艺将各种有源和无源功能光子器件集成在硅基芯片上，进一步实现光电融合集成和封装。硅基波导的强折射率限制为硅光器件和光子集成回路提供了高集成度优势，得益于成熟CMOS工艺的巨大产能，硅基光子芯片/光电芯片具备突出的低成本优势。铌酸锂光子集成在电光调制、非线性效应器件方面具有突出优势，III
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V族光子本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于贝塞尔曲线光波导的定向耦合器，其特征在于：包含两根同向并行放置的耦合波导，每根耦合波导均包括位于两端的直线波导(1、3、4、6)以及位于中间的沿贝塞尔曲线布置的曲线波导(2、5)，两根耦合波导组成一个两输入端口和两输出端口的定向耦合器结构。2.根据权利要求1所述的一种基于贝塞尔曲线光波导的定向耦合器，其特征在于：两根耦合波导的曲线波导沿同一贝塞尔曲线平行布置，或者沿不同的贝塞尔曲线布置。3.根据权利要求1所述的一种基于贝塞尔曲线光波导的定向耦合器，其特征在于：所述耦合波导的曲线波导的中心线以单段贝塞尔曲线布置或多段顺次相连的贝塞尔曲线布置。4.根据权利要求1所述的一种基于贝塞尔曲线光波导的定向耦合器，其特征在于：每根耦合波导对应的贝塞尔曲线由控制点确定，波导在水平面内的形状由控制点的坐标参数和波导宽度参数唯一确定。5.根据权利要求1所述的一种基于贝塞尔曲线光波导的定向耦合器，其特征在于：所述耦合波导主要由从下到上的晶圆衬底(7)、波导衬底层(8)、波导包...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭敬书，戴道锌，虞来文，
申请(专利权)人：浙江大学嘉兴研究院，
类型：发明
国别省市：