一种激光退火设备制造技术

本申请公开了一种激光退火设备，包括：密封箱，用于承载量子芯片，所述量子芯片具有约瑟夫森结；抽气元件，所述抽气元件与所述密封箱连通；激光光源，用于产生照射所述约瑟夫森结的激光束，以对所述约瑟夫森结进行退火；其中，所述激光光源与所述量子芯片均位于所述密封箱内部。本申请中，通过设置密封箱以及与密封箱连通的抽气元件，可以为量子芯片提供与外界大气环境隔离的真空退火环境，本申请中，激光光源与所述量子芯片均位于所述密封箱内部，使得激光束能够直射量子芯片以对约瑟夫森结进行退火，从而避免激光束在传输路径上受到负面影响，从而使约瑟夫森结的退火效果得到有效保证。保证。保证。

【技术实现步骤摘要】
一种激光退火设备


[0001]本申请属于量子芯片
，特别是一种激光退火设备。

技术介绍

[0002]量子计算机是一类遵循量子力学规律进行高速数学和逻辑运算、存储及处理量子信息的物理装置。量子计算机的特点主要有运行速度较快、处置信息能力较强、应用范围较广等。与一般计算机比较起来，信息处理量愈多，对于量子计算机实施运算也就愈加有利，也就更能确保运算具备精准性。量子芯片作为量子计算机的核心部件，一块量子芯片上通常包含多个量子比特。量子比特是基于约瑟夫森结构建的二能级系统，为了提高量子比特的性能参数，常用激光器产生的激光束照射约瑟夫森结，以对约瑟夫森结进行退火，从而修正量子比特的性能参数。
[0003]现有的激光退设备在退火作业时，为了隔绝大气环境，通常将芯片单独置于封闭的真空腔体内进行退火，激光光束照射至真空腔体内部以对量子芯片上的约瑟夫森结进行退火，然而，约瑟夫森结的退火效果难以得到保证。
[0004]需要说明的是，公开于本申请
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本申请一般
技术介绍
的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

[0005]本申请的目的是提供一种激光退火设备，以解决现有技术中的不足，它提供了一种量子芯片真空激光退火设备。
[0006]本申请的一个实施例提供了一种激光退火设备，包括：
[0007]密封箱，所述密封箱的内部具有用于承载量子芯片的承载元件，所述量子芯片具有约瑟夫森结，通过对约瑟夫森结进行退火，可以调控约瑟夫森结所在的量子比特的性能参数，从而达到修正量子比特的性能参数的目的；
[0008]抽气元件，所述抽气元件用于将密封箱的内部抽真空，利用抽气元件可以将密封箱内的空气抽出，使密封箱处于真空状态，为量子芯片提供真空的退火环境，从而能够使量子芯片上的约瑟夫森结在退火过程中，杜绝空气中的水分子、氧气分子以及杂质的影响，保证约瑟夫森结的退火效果，并且，在退火过程中，可以控制抽气元件持续运行，以保证密封箱内真空环境的稳定性；
[0009]激光光源，用于产生射向所述承载元件的激光束，以对所述约瑟夫森结进行退火，以对所述约瑟夫森结进行退火；
[0010]其中，所述激光光源与所述量子芯片均位于所述密封箱内部。
[0011]如上所述的激光退火设备，其中，所述抽气元件包括真空泵，所述真空泵的进气口通过抽气管路与所述密封箱连通。
[0012]如上所述的激光退火设备，其中，所述抽气管路包括单向阀，以限定气体沿抽气方
向流动。
[0013]如上所述的激光退火设备，其中，所述抽气管路还包括第一截止阀，沿抽气方向，所述气体依次通过单向阀、第一截止阀。
[0014]如上所述的激光退火设备，其中，所述激光退火设备还包括气源，所述气源与所述密封箱连通，所述气源用于向所述密封箱输送保护气。
[0015]如上所述的激光退火设备，其中，所述保护气采用氮气和/或至少一种惰性气体。
[0016]如上所述的激光退火设备，其中，所述惰性气体采用氩气或氦气。
[0017]如上所述的激光退火设备，其中，所述密封箱包括箱体与箱门，所述箱门具有打开与关闭两种状态，当箱门处于关闭状态时，所述箱体与所述箱门密封连接。
[0018]如上所述的激光退火设备，其中，所述激光束为高斯光束或平顶光束。
[0019]如上所述的激光退火设备，其中，所述激光束与所述量子芯片所在的平面垂直。
[0020]与现有技术相比，本申请提供了一种激光退火设备，包括：密封箱，所述密封箱的内部具有用于承载量子芯片的承载元件，所述量子芯片具有约瑟夫森结；抽气元件，所述抽气元件用于将密封箱的内部抽真空；激光光源，用于产生射向所述承载元件的激光束，以对所述约瑟夫森结进行退火；其中，所述激光光源与所述量子芯片均位于所述密封箱内部。本申请中，通过设置密封箱以及与密封箱连通的抽气元件，可以为量子芯片提供与外界大气环境隔离的真空退火环境，本申请中，激光光源与所述量子芯片均位于所述密封箱内部，使得激光束能够直射量子芯片以对约瑟夫森结进行退火，从而避免激光束在传输路径上受到其他光学器件的影响，从而使约瑟夫森结的退火效果得到有效保证。
附图说明
[0021]附图1为本申请提供的激光退火设备的结构示意图；
[0022]附图2为本申请另一实施例提供的激光退火设备的结构示意图。
[0023]附图标记说明：
[0024]1－密封箱，2－激光光源，3－量子芯片，4－真空泵，5－第一截止阀，6－气源，7－第二截止阀。
具体实施方式
[0025]下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。
[0026]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请的各实施例进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本申请各实施例中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施例的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。以下各个实施例的划分是为了描述方便，不应对本申请的具体实现方式构成任何限定，各个实施例在不矛盾的前提下可以相互结合相互引用。
[0027]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例能够以除了在这里图示或
描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0028]量子芯片作为量子计算机的核心部件，一块量子芯片上通常包含多个量子比特。量子比特是基于约瑟夫森结构建的二能级系统，为了提高量子比特的性能参数，常用激光器产生的激光束照射约瑟夫森结，以对约瑟夫森结进行退火，从而修正量子比特的性能参数。现有的激光退设备在退火作业时，为了隔绝大气环境，通常将芯片置于封闭的真空腔体内进行退火，激光光束经真空由腔体表面的透光镜照射至芯片表面，激光光束经过透光镜必然产生折射、反射以及能量损失，影响退火效果。
[0029]附图1为本申请提供的激光退火设备的结构示意图。
[0030]结合附图1所示，本申请实施例提供的一种激光退火设备，包括：
[0031]密封箱1，所述密封箱的内部具有用于承载量子芯片3的承载元件，示例性的，所述承载元件为安装于所述密封箱内部的承载台，所述量子芯片3具有约瑟夫森结，具体的，待处理的量子芯片3安置于承载台上，所述量子芯片3上具有若干量子比特，每个量子比特均具有约瑟夫森结，在量子芯片3生产加工过程中，各个量本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光退火设备，其特征在于，包括：密封箱(1)，所述密封箱的内部具有用于承载量子芯片(3)的承载元件，所述量子芯片(3)具有约瑟夫森结；抽气元件，所述抽气元件用于将密封箱(1)的内部抽真空；激光光源(2)，用于产生射向所述承载元件的激光束，以对所述约瑟夫森结进行退火；其中，所述激光光源(2)与所述量子芯片(3)均位于所述密封箱(1)内部。2.如权利要求1所述的激光退火设备，其特征在于，所述抽气元件包括真空泵(4)，所述真空泵(4)的进气口通过抽气管路与所述密封箱(1)连通。3.如权利要求2所述的激光退火设备，其特征在于，所述抽气管路包括单向阀，以限定气体沿抽气方向流动。4.如权利要求3所述的激光退火设备，其特征在于，所述抽气管路还包括第一截止阀(5)，沿抽气方向，所述气体依次通过单向阀、第一截...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，赵勇杰，
申请(专利权)人：本源量子计算科技合肥股份有限公司，
类型：新型
国别省市：