内嵌升降PIN的旋转载台制造技术

本发明专利技术涉及内嵌升降PIN的旋转载台，包括旋转轴底座组件、旋转马达和陶瓷盘，旋转轴底座组件包括固定底板，固定底板上设置有旋转马达，旋转马达顶部的驱动端与上方的载台底座相连接，载台底座上设置有陶瓷盘；还包括升降PIN组件，升降PIN组件包括丝杆电机、电机转接板、升降固定板、升降移动板、升降杆、吸盘和旋转底座。本发明专利技术在晶圆加工旋转载台内部，增加了一套升降PIN组件，此升降PIN组件还具有真空吸附功能，结构十分紧凑，既节省了空间又解决了传统晶圆加工载台与晶圆机器人配合自动化上下料的问题。料的问题。料的问题。

【技术实现步骤摘要】
内嵌升降PIN的旋转载台


[0001]本专利技术涉及半导体芯片加工相关
，尤其涉及内嵌升降PIN的旋转载台。

技术介绍

[0002]目前，半导体行业已进入高速发展阶段，对于半导体芯片制造来说，自动化无人机无疑是发展的趋势。半导体晶圆搬运机器人、晶圆校准器、Load port等智能搬运上下料组件已广泛应用于半导体晶圆加工自动化设备中，然而，晶圆搬运机器人由于手指托运，无法直接将晶圆放置在传统的加工旋转载台上。
[0003]经过海量检索，发现现有技术公开号为CN217444361U，公开了一种石英旋转吸附载台，从上往下依次包括刻槽石英载盘、石英安装板、载台底座、旋转电机和旋转轴垫板，旋转电机安装在旋转轴垫板上的中间位置，旋转电机顶部的驱动端与上方的载台底座驱动连接设置，载台底座上安装有石英安装板，石英安装板的顶部内侧安装有刻槽石英载盘，载台底座上沿着圆周方向均匀的安装有若干个吸盘支架，吸盘支架上安装有吸盘。本专利技术为晶圆切割设备对加工的产品进行吸附固定的载台，解决吸附平面度问题，对产品吸附牢固而且吸附力均匀，同时提供照明光源，背光配合影像提高定位精度，旋转轴搭配光栅尺系统，大大提升了定位精度。
[0004]目前，半导体晶圆搬运机器人主要是用手指吸附晶圆的下表面，以托举的方式搬运晶圆，从而最大限度的保证晶圆在搬运过程中，不存在掉片的风险。然而，传统的晶圆加工载台是整面吸附晶圆下表面，不存在凸起的台面，所以，晶圆搬运机器人手指以托举的方式无法直接将晶圆放置在传统的晶圆加工载台上，不能实现自动化上下料流程。
[0005]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设内嵌升降PIN的旋转载台，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

[0006]为解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供内嵌升降PIN的旋转载台。
[0007]为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
[0008]内嵌升降PIN的旋转载台，包括旋转轴底座组件、旋转马达和陶瓷盘，旋转轴底座组件包括固定底板，固定底板上设置有旋转马达，旋转马达顶部的驱动端与上方的载台底座相连接，载台底座上设置有陶瓷盘；
[0009]还包括升降PIN组件，升降PIN组件包括丝杆电机、电机转接板、升降固定板、升降移动板、升降杆、吸盘和旋转底座；
[0010]升降固定板安装在载台底座内侧的底部，丝杆电机通过电机转接板安装在升降固定板上的中部，丝杆电机顶部的驱动端与上方的升降移动板相连接，升降移动板上安装有若干个升降杆，升降移动板的上方设置有旋转底座，旋转底座与下方的升降固定板相连接，旋转底座位于陶瓷盘的下方，升降杆可从下往上依次穿过旋转底座和陶瓷盘后并移动至陶瓷盘的上方，升降杆的顶部安装有吸盘。
[0011]作为本专利技术的进一步改进，固定底板上设置有两个感应器固定块，感应器固定块安装有感应器一，载台底座上安装有与感应器一相配合的感应片一。
[0012]作为本专利技术的进一步改进，其中一个感应器固定块上安装有限位块一，另一个感应器固定块上安装有限位块二。
[0013]作为本专利技术的进一步改进，固定底板上设置有半环形结构的排管挡板，排管挡板的底部通过若干个排管挡板固定柱安装在下方的固定底板上，排管挡板内安装有排管，排管挡板的一侧安装有气路岐块，气路岐块上安装有微型接头一，排管的一侧与微型接头一相连接，排管的另一侧与微型接头二相连接，微型接头二安装在升降移动板上。
[0014]作为本专利技术的进一步改进，排管挡板内设置有若干个用于对排管导向定位的排管定位柱。
[0015]作为本专利技术的进一步改进，升降杆通过衬套安装在旋转底座上。
[0016]作为本专利技术的进一步改进，升降移动板上还安装有感应片二，升降固定板和旋转底座上均安装有与感应片二相配合的感应器二。
[0017]借由上述方案，本专利技术至少具有以下优点：
[0018]本专利技术在晶圆加工旋转载台内部，增加了一套升降PIN组件，此升降PIN组件还具有真空吸附功能，结构十分紧凑，既节省了空间又解决了传统晶圆加工载台与晶圆机器人配合自动化上下料的问题。
[0019]上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0021]图1是本专利技术内嵌升降PIN的旋转载台的结构示意图；
[0022]图2是图1中旋转轴底座组件的结构示意图；
[0023]图3是图1中升降PIN组件的内部结构示意图。
[0024]其中，图中各附图标记的含义如下。
[0025]旋转轴底座组件1、旋转马达2、升降PIN组件3、陶瓷盘4、感应片一5；
[0026]固定底板1
‑
1、感应器固定块1
‑
2、感应器一1
‑
3、限位块一1
‑
4、限位块二1
‑
5、排管挡板1
‑
6、排管挡板固定柱1
‑
7、排管1
‑
8、排管定位柱1
‑
9、气路岐块1
‑
10、微型接头一1
‑
11；
[0027]丝杆电机3
‑
1、电机转接板3
‑
2、升降固定板3
‑
3、升降移动板3
‑
4、升降杆3
‑
5、衬套3
‑
6、吸盘3
‑
7、旋转底座3
‑
8、微型接头二3
‑
9、感应片二3
‑
10、感应器二3
‑
11。
具体实施方式
[0028]下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。
[0029]为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面将结合本专利技术实施例中附
图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0030]实施例
[0031]如图1～图3所示，
[0032]内嵌升降PIN的旋转载本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.内嵌升降PIN的旋转载台，包括旋转轴底座组件(1)、旋转马达(2)和陶瓷盘(4)，所述旋转轴底座组件(1)包括固定底板(1
‑
1)，所述固定底板(1
‑
1)上设置有旋转马达(2)，所述旋转马达(2)顶部的驱动端与上方的载台底座相连接，所述载台底座上设置有陶瓷盘(4)；其特征在于：还包括升降PIN组件(3)，所述升降PIN组件(3)包括丝杆电机(3
‑
1)、电机转接板(3
‑
2)、升降固定板(3
‑
3)、升降移动板(3
‑
4)、升降杆(3
‑
5)、吸盘(3
‑
7)和旋转底座(3
‑
8)；所述升降固定板(3
‑
3)安装在载台底座内侧的底部，所述丝杆电机(3
‑
1)通过电机转接板(3
‑
2)安装在升降固定板(3
‑
3)上的中部，所述丝杆电机(3
‑
1)顶部的驱动端与上方的升降移动板(3
‑
4)相连接，所述升降移动板(3
‑
4)上安装有若干个升降杆(3
‑
5)，所述升降移动板(3
‑
4)的上方设置有旋转底座(3
‑
8)，所述旋转底座(3
‑
8)与下方的升降固定板(3
‑
3)相连接，所述旋转底座(3
‑
8)位于陶瓷盘(4)的下方，所述升降杆(3
‑
5)可从下往上依次穿过旋转底座(3
‑
8)和陶瓷盘(4)后并移动至陶瓷盘(4)的上方，所述升降杆(3
‑
5)的顶部安装有吸盘(3
‑
7)。2.如权利要求1所述的内嵌升降PIN的旋转载台，其特征在于，所述固定底板(1
‑
1)上设置有两个感应器固定块(1
‑
2)，所述感应器固定块(1
‑
2)安装有感应器一(1
‑
3)，所述载台底座上安装有与感应器一(1
‑
3)相配合的感应片一(5)。3.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，韩秋杰，
申请(专利权)人：苏州德龙激光股份有限公司，
类型：发明
国别省市：