本实用新型专利技术涉及晶圆加工技术领域，且公开了一种晶圆加工用甩干装置，包括机体，所述机体内部放置有多个支撑框，多个支撑框之间均固定连接有连接块，多个支撑框的内部均开设有滑动槽，多个滑动槽的内部均滑动连接有滑动板，每组滑动板相互靠近的一侧面均开设有卡槽，每组固定板相互远离的一侧面均固定连接有推杆。该晶圆加工用甩干装置，通过转动转动框能够使多个顶块与滑动球的配合下使多个滑动板相互靠近，使其内部的晶圆能够卡入卡槽内，对晶圆进行固定，避免晶圆受离心力的影响而发生偏移，提高晶圆的稳定性，解决了晶圆可能会受离心力的影响而发生偏移的问题，同时多个固定板能够具备对不同直径的晶圆进行固定的能力。能够具备对不同直径的晶圆进行固定的能力。能够具备对不同直径的晶圆进行固定的能力。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆加工用甩干装置
[0001]本技术涉及晶圆
，具体为一种晶圆加工用甩干装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。
[0003]晶圆在加工完成后需要对其进行清洗，由于晶圆过于精密不能用擦拭的方式对其表面的水分进行去除，此时需要用到甩干装置，而常见的甩干装置在使用时，晶圆可能会受离心力的影响而发生偏移，难以多方位的对晶圆进行固定，而导致晶圆在甩干的过程中晶圆偏移与机体接触而发生损坏。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是提供一种晶圆加工用甩干装置，具备多方位对晶圆固定的优点，解决了晶圆可能会受离心力的影响而发生偏移的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种晶圆加工用甩干装置，包括机体，所述机体内部放置有多个支撑框，多个支撑框之间均固定连接有连接块，多个支撑框的内部均开设有滑动槽，多个滑动槽的内部均滑动连接有滑动板，每组滑动板相互靠近的一侧面均开设有卡槽，每组固定板相互远离的一侧面均固定连接有推杆，每组推杆相互远离的一端均固定连接有滑动球，多个支撑框的外表面均固定连接有弹簧，多个弹簧的另一端均与其相靠近的滑动球固定连接，多个支撑框的外表面均通过轴承转动连接有转动框，多个转动框之间均固定连接有稳定板，多个转动框的内壁均固定连接有多个呈圆周阵列排列的顶板，多个顶板与多个与其相靠近的滑动球相适配。
[0006]进一步的，位于最下方的所述转动框的外表面固定连接有蜗轮，位于下方的支撑框的底面固定连接有两个固定板，两个固定板之间通过轴承转动连接有蜗杆，蜗杆与蜗轮啮合连接。
[0007]通过采用上述技术方案，蜗杆在转动的过程中能够与蜗轮啮合进而带动位于下方的转动盘转动，使多个顶板能够推动多个滑动球。
[0008]进一步的，所述机体的左右内侧壁均固定连接有固定框，位于上方的支撑框通过轴承与两个固定框转动连接。
[0009]通过采用上述技术方案，设置固定框能够对位于上方的支撑框进行限位，使多个支撑框能够稳定的旋转。
[0010]进一步的，所述机体的正面通过铰链铰接有两个密封门，两个密封门的正面均固定连接有把手。
[0011]通过采用上述技术方案，设置密封门能够对机体进行封闭，避免外界的杂质进入机体内。
[0012]进一步的，所述机体的底面固定连接有两个支撑板，两个支撑板相对称。
[0013]通过采用上述技术方案，设置支撑板能够对机体进行支撑，使机体远离地面。
[0014]进一步的，两个所述支撑板相互靠近的一侧面固定连接有限位板，限位板的上表面固定镶嵌有电机，位于最下方的支撑框的底面固定连接有支撑柱，支撑柱通过轴承与机体的内底壁转动连接，电机的输出端与支撑柱固定连接。
[0015]通过采用上述技术方案，电机能够驱动支撑柱柱转动，使支撑柱能够带动多个支撑框转动通过离心力将其内部固定的晶圆进行甩干。
[0016]进一步的，多个所述支撑框的内壁与多个转动框的内底壁均开设有排水孔，多个排水孔均呈圆周阵列排列。
[0017]通过采用上述技术方案，设置排水能够在通过离心力对晶圆进行甩干的过程中通过多个排水孔将水分排出，避免水分滞留在支撑框内。
[0018]与现有技术相比，该晶圆加工用甩干装置具备如下有益效果：
[0019]1.本技术通过转动转动框能够使多个顶块与滑动球的配合下使多个滑动板相互靠近，使其内部的晶圆能够卡入卡槽内，对晶圆进行固定，避免晶圆受离心力的影响而发生偏移，提高晶圆的稳定性，解决了晶圆可能会受离心力的影响而发生偏移的问题，同时多个固定板能够具备对不同直径的晶圆进行固定的能力。
[0020]2.本技术通过设置蜗杆与蜗轮配合能够在转动蜗杆的同时通过多个稳定板的配合带动多个转动框转动，同时蜗杆在停止转动时能够对蜗轮进行限位，避免在多个支撑框旋转时多个转动框发生转动，达到了对多个转动框进行限位的目的，通过开设多个排水孔能够使晶圆甩出的水分进行排出，避免水分滞留在支撑框内。
附图说明
[0021]图1为本技术支撑框俯视图的剖视图；
[0022]图2为本技术机体正视图的剖视图；
[0023]图3为本技术图2的A处结构放大示意图；
[0024]图4为本技术机体正视图。
[0025]图中：1、机体；2、支撑框；3、连接块；4、滑动槽；5、滑动板；6、卡槽；7、推杆；8、滑动球；9、弹簧；10、转动框；11、稳定板；12、顶板；13、蜗轮；14、固定板；15、蜗杆；16、固定框；17、密封门；18、把手；19、支撑板；20、限位板；21、电机；22、支撑柱；23、排水孔。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种晶圆加工用甩干装置，包括机体1，机体1内部放置有多个支撑框2，机体1的左右内侧壁均固定连接有固定框16，位于上方
的支撑框2通过轴承与两个固定框16转动连接，设置固定框16能够对位于上方的支撑框2进行限位，使多个支撑框2能够稳定的旋转，多个支撑框2之间均固定连接有连接块3，多个支撑框2的内部均开设有滑动槽4，多个滑动槽4的内部均滑动连接有滑动板5，每组滑动板5相互靠近的一侧面均开设有卡槽6，每组固定板14相互远离的一侧面均固定连接有推杆7，每组推杆7相互远离的一端均固定连接有滑动球8，多个支撑框2的外表面均固定连接有弹簧9，多个弹簧9均处于复位状态，多个弹簧9的另一端均与其相靠近的滑动球8固定连接，多个支撑框2的外表面均通过轴承转动连接有转动框10，多个支撑框2的内壁与多个转动框10的内底壁均开设有排水孔23，多个排水孔23均呈圆周阵列排列，设置排水能够在通过离心力对晶圆进行甩干的过程中通过多个排水孔23将水分排出，避免水分滞留在支撑框2内。
[0028]多个转动框10之间均固定连接有稳定板11，多个转动框10的内壁均固定连接有多个呈圆周阵列排列的顶板12，多个顶板12与多个与其相靠近的滑动球8相适配，位于最下方的转动框10的外表面固定连接有蜗轮13，位于下方的支撑框2的底面固定连接有两个固定板14，两个固定板14之间通过轴承转动连接有蜗杆15，蜗杆15与蜗轮13啮合连接，蜗杆15在转动的过程中能够与蜗轮本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工用甩干装置，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)内部放置有多个支撑框(2)，多个支撑框(2)之间均固定连接有连接块(3)，多个支撑框(2)的内部均开设有滑动槽(4)，多个滑动槽(4)的内部均滑动连接有滑动板(5)，每组滑动板(5)相互靠近的一侧面均开设有卡槽(6)，每组固定板(14)相互远离的一侧面均固定连接有推杆(7)，每组推杆(7)相互远离的一端均固定连接有滑动球(8)，多个支撑框(2)的外表面均固定连接有弹簧(9)，多个弹簧(9)的另一端均与其相靠近的滑动球(8)固定连接，多个支撑框(2)的外表面均通过轴承转动连接有转动框(10)，多个转动框(10)之间均固定连接有稳定板(11)，多个转动框(10)的内壁均固定连接有多个呈圆周阵列排列的顶板(12)，多个顶板(12)与多个与其相靠近的滑动球(8)相适配。2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用甩干装置，其特征在于：位于最下方的所述转动框(10)的外表面固定连接有蜗轮(13)，位于下方的支撑框(2)的底面固定连接有两个固定板(14)，两个固定板(14)之间通过轴承转动连接有蜗杆(15)，蜗杆(15)与蜗轮(13...
【专利技术属性】
技术研发人员：张晓立，
申请(专利权)人：张晓立，
类型：新型
国别省市：
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