一种用于洁净室之间的除尘装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于洁净室之间的除尘装置，用于对搬运车除尘，包括机架、除尘机构和自动门，除尘机构设置于搬运车行进方向的两侧并设置于机架上，除尘机构的出气方向与搬运车行进方向形成一定夹角设置，搬运车在机架上滑动通过自动门；该除尘装置使得搬运车在当前洁净室进入下一个洁净室时，能够进行有效除尘，避免搬运车在除尘过程中将灰尘扩散到下一个洁净室中，从而造成下一个洁净室的灰尘度超标的缺陷。标的缺陷。标的缺陷。

【技术实现步骤摘要】
一种用于洁净室之间的除尘装置


[0001]本技术涉及除尘
，尤其涉及一种用于洁净室之间的除尘装置。

技术介绍

[0002]根据制造工序的不同，半导体车间的洁净室需要维持不同的洁净度，洁净室内及洁净室之间依靠AMHS系统(自动化物料搬运系统)转运晶圆，当AMHS系统的搬运车从低等级洁净室进入高等级洁净室时，会把微粒带入，导致高等级洁净室的洁净度劣化。
[0003]其中JP4368169B2提出了一种洁净室之间的通道，其从顶部对搬运车吹气，搬运车的下部无法吹到，尤其是容易累积微粒的走行轮，而且从顶部对搬运车进行吹气除尘，去除效果不佳，仍然会把微粒带入到高等级洁净室。

技术实现思路

[0004]基于
技术介绍
存在的技术问题，本技术提出了一种用于洁净室之间的除尘装置，使得搬运车在当前洁净室进入下一个洁净室时，能够进行有效除尘，避免将微粒灰尘带入到高等级洁净室。
[0005]本技术提出的一种用于洁净室之间的除尘装置，用于对搬运车除尘，包括机架、除尘机构和自动门，除尘机构设置于搬运车行进方向的两侧并设置于机架上，除尘机构的出气方向与搬运车行进方向形成一定夹角设置，搬运车在机架上滑动通过自动门。
[0006]进一步地，除尘机构与自动门共用一个无线通信模块进行联动控制。
[0007]进一步地，所述除尘机构包括气刀和设置于气刀出气端的离子发生器，两个气刀作为一组分别设置于支架上。
[0008]进一步地，气刀的高度与搬运车高度一致。
[0009]进一步地，所述除尘机构包括一至多组气刀。
[0010]进一步地，所述除尘机构的出气方向与搬运车行进方向形成的夹角为120度至150度。
[0011]进一步地，所述机架包括支架、与搬运车连接的滑块和固定于支架上的轨道，滑块滑动设置于轨道上。
[0012]进一步地，所述自动门两侧分别对应于两个洁净室，自动门滑动设置于相邻两个洁净室的隔墙上。
[0013]本技术提供的一种用于洁净室之间的除尘装置的优点在于：本技术结构中提供的一种用于洁净室之间的除尘装置，除尘机构设置于搬运车两侧，对搬运车的吹气覆盖面更大，因而对搬运车的除尘力度更大；另外除尘机构与的出气方向与搬运车的行进方向不是垂直设置而是倾斜设置的，使得搬运车在当前洁净室进入下一个洁净室时，能够进行有效除尘，避免搬运车在除尘过程中将灰尘扩散到下一个洁净室中，从而造成下一个洁净室的灰尘度超标的缺陷；离子发生器的设置，能够使气刀所吹出的气体携带大量正负离子，消除搬运车上的静电，能够去除搬运车上的静电及静电吸附的灰尘微粒。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为除尘装置的俯视图；
[0016]图3为除尘机构设置于支架上的结构示意图；
[0017]图4为除尘机构工作时的结构示意图；
[0018]图5为除尘机构的结构示意图；
[0019]其中，1
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机架，2
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除尘机构，3
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自动门，4
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搬运车，5
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隔墙，11
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支架，12
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轨道，21
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气刀，22
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离子发生器，A
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气流方向。
具体实施方式
[0020]下面，通过具体实施例对本技术的技术方案进行详细说明，在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其他方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施的限制。
[0021]如图1至5所示，本技术提出的一种用于洁净室之间的除尘装置，用于对搬运车4除尘，包括机架1、除尘机构2和自动门3，除尘机构2设置于搬运车4行进方向的两侧并设置于机架1上，除尘机构2的出气方向与搬运车4行进方向形成一定夹角设置，搬运车4在机架1上滑动通过自动门3。
[0022]除尘机构2设置于搬运车4两侧，对搬运车4的吹气覆盖面更大，因而对搬运车4的除尘力度更大；另外除尘机构2与的出气方向与搬运车4的行进方向不是垂直设置而是倾斜设置的，使得搬运车4在当前洁净室进入下一个洁净室时，能够进行有效除尘，避免搬运车在除尘过程中将灰尘扩散到下一个洁净室中，从而造成下一个洁净室的灰尘度超标的缺陷。
[0023]除尘机构2的出气方向与搬运车4行进方向形成的夹角为120度至150度，能够在防止气流进入高等级洁净室的前提下，对搬运车4进行有效除尘，其中除尘机构2的出气方向如图2的A所示。
[0024]其中，自动门3两侧分别对应于两个洁净室，自动门3滑动设置于相邻两个洁净室的隔墙5上。
[0025]需要说明的是，除尘机构2与自动门3共用一个无线通信模块进行联动控制，替代了减少系统的部件数量，可以减少除尘机构2与自动门3独立控制时，二者的检入、检出传感器，实现了减少电器件数量目的，而且两者的联动控制，可以在自动门3打开时，除尘机构2能够快速响应以对搬运车4进行除尘，特别针对于两个不同等级的洁净室之间，即如果下一洁净室的洁净等级大于当前洁净室的洁净等级，通过除尘机构2对搬运车4进行除尘，可以获得更好的除尘效果并防止气流进入下一个高等级洁净室。
[0026]在本实施例中，如图3至5所示，除尘机构2包括气刀21和设置于气刀21出气端的离子发生器22，两个气刀21作为一组气帘分别设置于支架11上。可以解释的是，气帘为模块化设计，其包括两个气刀21，两个气刀21分别设置于搬运车44行进方向的两侧，可以对称设置，两个气刀21的倾斜角度可以相同，也可以不同，在本实施例优选两个气刀21的倾斜方向一致，以对搬运车的相同两侧进行有效除尘，可以避免当两个气刀21倾斜方向不同时，其中
一个气刀21将搬运车4一侧的灰尘吹向搬运车4另一侧已经除尘过的区域，造成二次灰尘覆盖的缺陷。
[0027]其中气帘的数量可以根据实际进行设置，当设置多个气帘时，优选同侧的气刀21平行设置，气刀21的高度与搬运车4高度一致，以实现对搬运车4整体进行有效除尘。
[0028]需要说明的是，离子发生器22的设置，能够使气刀21所吹出的气体携带大量正负离子，消除搬运车4上的静电，能够去除搬运车上的静电及静电吸附的灰尘微粒。
[0029]在本实施例中，机架1包括支架11、与搬运车4连接的滑块和固定于支架11上的轨道12，滑块滑动设置于轨道12上，搬运车4通过滑块与导轨22实现滑动运动，以实现从当前洁净室运动到下一洁净室，在运动过程中通过除尘机构2对搬运车4进行有效除尘。
[0030]工作过程：搬运车4在机架1上滑行，当由当前洁净室运动到下一洁净室时，触发自动门3打开，气刀21产生的气流携带大量正负离子吹向搬运车4，对搬运车4上的灰尘、静电等吹向当前洁净室，以在当前洁净室中对搬运车4进行有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于洁净室之间的除尘装置，用于对搬运车(4)除尘，其特征在于，包括机架(1)、除尘机构(2)和自动门(3)，除尘机构(2)设置于搬运车(4)行进方向的两侧并设置于机架(1)上，除尘机构(2)的出气方向与搬运车(4)行进方向形成一定夹角设置，搬运车(4)在机架(1)上滑动通过自动门(3)。2.根据权利要求1所述的用于洁净室之间的除尘装置，其特征在于，除尘机构(2)与自动门(3)共用一个无线通信模块进行联动控制。3.根据权利要求1所述的用于洁净室之间的除尘装置，其特征在于，所述除尘机构(2)包括气刀(21)和设置于气刀(21)出气端的离子发生器(22)，两个气刀(21)作为一组分别设置于支架(11)上。4.根据权利要求3所述的用于洁净室之间的除尘装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：王传东，郑元焕，崔龙天，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：