【技术实现步骤摘要】
一种用于洁净室之间的除尘装置
[0001]本技术涉及除尘
，尤其涉及一种用于洁净室之间的除尘装置。
技术介绍
[0002]根据制造工序的不同，半导体车间的洁净室需要维持不同的洁净度，洁净室内及洁净室之间依靠AMHS系统(自动化物料搬运系统)转运晶圆，当AMHS系统的搬运车从低等级洁净室进入高等级洁净室时，会把微粒带入，导致高等级洁净室的洁净度劣化。
[0003]其中JP4368169B2提出了一种洁净室之间的通道，其从顶部对搬运车吹气，搬运车的下部无法吹到，尤其是容易累积微粒的走行轮，而且从顶部对搬运车进行吹气除尘，去除效果不佳，仍然会把微粒带入到高等级洁净室。
技术实现思路
[0004]基于
技术介绍
存在的技术问题，本技术提出了一种用于洁净室之间的除尘装置，使得搬运车在当前洁净室进入下一个洁净室时，能够进行有效除尘，避免将微粒灰尘带入到高等级洁净室。
[0005]本技术提出的一种用于洁净室之间的除尘装置，用于对搬运车除尘，包括机架、除尘机构和自动门，除尘机构设置于搬运车行进方向的两侧并设置于...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于洁净室之间的除尘装置，用于对搬运车(4)除尘，其特征在于，包括机架(1)、除尘机构(2)和自动门(3)，除尘机构(2)设置于搬运车(4)行进方向的两侧并设置于机架(1)上，除尘机构(2)的出气方向与搬运车(4)行进方向形成一定夹角设置，搬运车(4)在机架(1)上滑动通过自动门(3)。2.根据权利要求1所述的用于洁净室之间的除尘装置，其特征在于，除尘机构(2)与自动门(3)共用一个无线通信模块进行联动控制。3.根据权利要求1所述的用于洁净室之间的除尘装置，其特征在于，所述除尘机构(2)包括气刀(21)和设置于气刀(21)出气端的离子发生器(22)，两个气刀(21)作为一组分别设置于支架(11)上。4.根据权利要求3所述的用于洁净室之间的除尘装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：王传东，郑元焕，崔龙天，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。