本发明专利技术公开了一种喷墨头清洗装置以及利用其的喷墨头清洗方法，喷墨头清洗装置包括：硬化部件，配置成与包括喷嘴的喷墨头的所述喷嘴喷出墨水的喷出面面对，并使所述喷嘴的内部的墨水硬化而形成硬化墨水层；以及清洗液供应部件，配置成与所述喷出面面对，并向所述喷嘴的所述内部注入清洗液。的所述内部注入清洗液。的所述内部注入清洗液。
【技术实现步骤摘要】
喷墨头清洗装置以及利用其的喷墨头清洗方法
[0001]本专利技术涉及一种喷墨头清洗装置以及利用所述喷墨头清洗装置的喷墨头清洗方法。
技术介绍
[0002]喷墨打印装置是将墨水的微细的液滴(droplet)喷出到打印媒介上的期望位置而打印图像的装置。
[0003]墨水的喷出可以通过使用具备多个喷嘴的喷墨头来执行。当在喷墨头的喷嘴的内部或喷出墨水的喷出面吸附或凝固异物等而喷嘴堵塞时，可能会产生墨水喷出工艺的缺陷。因此，可以执行用于去除异物的喷墨头的清洗。
技术实现思路
[0004]本专利技术的一目的在于提供一种清洗力优异，并可以缩短清洗时间的喷墨头清洗装置。
[0005]本专利技术的另一目的在于提供一种清洗力优异，并可以缩短清洗时间的喷墨头清洗方法。
[0006]本专利技术的又另一目的在于提供一种利用所述喷墨头清洗方法的基板处理方法。
[0007]然而，本专利技术的目的不限于这种目的，在不脱离本专利技术的构思以及领域的范围中可以进行各种扩展。
[0008]为了达成上述的本专利技术的一目的，可以是，根据本专利技术的一实施例的喷墨头清洗装置包括：硬化部件，配置成与包括喷嘴的喷墨头的所述喷嘴喷出墨水的喷出面面对，并使所述喷嘴的内部的所述墨水硬化而形成硬化墨水层；以及清洗液供应部件，配置成与所述喷出面面对，并向所述喷嘴的所述内部注入清洗液。
[0009]在一实施例中，可以是，所述硬化部件朝向所述喷出面照射紫外线。
[0010]在一实施例中，可以是，所述清洗液供应部件接触于所述喷出面而向所述喷嘴的所述内部注入所述清洗液。
[0011]在一实施例中，可以是，所述清洗液供应部件包括：密封部件，密封所述喷出面，在清洗液供应部件接触于所述喷出面之后，直到所述喷嘴的清洗结束为止，所述密封部件保持所述喷出面的密封状态。
[0012]在一实施例中，可以是，所述清洗液供应部件还包括：清洗液容纳部，容纳所述清洗液；以及清洗液供应部，向所述清洗液容纳部供应所述清洗液。
[0013]在一实施例中，可以是，所述硬化墨水层与吸附于所述喷嘴的内侧面的异物层一体化而形成喷嘴堵塞体，所述清洗液供应部件向所述喷嘴的所述内部注入所述清洗液而使所述喷嘴堵塞体从所述内侧面分离。
[0014]在一实施例中，可以是，所述喷墨头还包括：流出管，使从所述内侧面分离的所述喷嘴堵塞体排出。
[0015]在一实施例中，可以是，所述流出管能够将所述墨水以及所述清洗液与所述喷嘴堵塞体一起排出。
[0016]在一实施例中，可以是，所述喷墨头还包括：流入管，使所述墨水流入到所述喷墨头的内部。
[0017]在一实施例中，可以是，所述喷墨头能够通过流入管向所述喷墨头的内部流入所述清洗液。
[0018]为了达成上述的本专利技术的另一目的，可以是，根据本专利技术的一实施例的喷墨头清洗方法包括：使喷墨头的喷嘴的内部的墨水硬化而形成硬化墨水层的步骤；密封所述喷嘴喷出墨水的喷出面的步骤；以及向所述喷嘴的所述内部注入清洗液的步骤。
[0019]在一实施例中，可以是，形成所述硬化墨水层的步骤包括：朝向所述喷出面照射紫外线的步骤。
[0020]在一实施例中，可以是，所述硬化墨水层与吸附于所述喷嘴的内侧面的异物层一体化而形成喷嘴堵塞体，在注入所述清洗液的步骤中，所述喷嘴堵塞体通过所述清洗液从所述内侧面分离。
[0021]在一实施例中，可以是，所述喷墨头清洗方法还包括：在所述喷嘴堵塞体从所述内侧面分离之后，使所述喷嘴堵塞体排出到所述喷墨头的外部的步骤。
[0022]在一实施例中，可以是，所述排出的步骤能够将所述喷嘴堵塞体与所述墨水以及所述清洗液一起排出。
[0023]在一实施例中，可以是，所述喷墨头清洗方法还包括：向所述喷墨头的内部流入所述清洗液的步骤。
[0024]在一实施例中，可以是，所述喷墨头清洗方法在注入所述清洗液的步骤中，保持所述喷出面的密封状态。
[0025]为了达成上述的本专利技术的又另一目的，可以是，根据本专利技术的一实施例的基板处理方法包括：从喷墨头的喷嘴喷出墨水而在基板上形成图案层的步骤；清洗所述喷墨头的所述喷嘴以及所述喷嘴喷出墨水的喷出面的步骤，所述清洗的步骤包括：使所述喷嘴的内部的墨水硬化而形成硬化墨水层的步骤；密封所述喷出面的步骤；以及向所述喷嘴的内部注入清洗液的步骤。
[0026]在一实施例中，可以是，形成所述硬化墨水层的步骤包括：朝向所述喷出面照射紫外线的步骤。
[0027]在一实施例中，可以是，所述硬化墨水层与吸附于所述喷嘴的内侧面的异物层一体化而形成喷嘴堵塞体，在注入所述清洗液的步骤中，所述喷嘴堵塞体通过所述清洗液从所述内侧面分离。
[0028]根据本专利技术的实施例的喷墨头清洗装置可以包括硬化部件以及清洗液供应部件。所述硬化部件可以使喷墨头的喷嘴的内部的墨水硬化而形成硬化墨水层，所述清洗液供应部件可以向所述喷嘴的内部注入清洗液。根据此，可以提升针对所述喷墨头的清洗力，并可以缩短所述喷墨头的清洗时间。因此，可以节减清洗费用，并可以提升基板处理工艺的生产性。
[0029]然而，本专利技术的效果不限于上述效果，在不脱离本专利技术的构思以及领域的范围中可以进行各种扩展。
附图说明
[0030]图1是用于说明根据本专利技术的一实施例的基板处理装置的平面图。
[0031]图2是用于说明使用包括在图1的基板处理装置中的喷墨头的墨水喷出过程的图。
[0032]图3是用于说明包括在图1的基板处理装置中的喷墨头清洗装置的平面图。
[0033]图4是用于说明包括在图3的喷墨头清洗装置中的硬化部件的工作的截面图。
[0034]图5是放大图4的“A”区域的放大图。
[0035]图6至图8是用于说明包括在图3的喷墨头清洗装置中的清洗液供应部件的工作的截面图。
[0036]图9是放大图8的“B”区域的放大图。
[0037]图10至图15是用于说明利用图3的喷墨头清洗装置的喷墨头清洗方法的图。
[0038]图16是放大图15的“C”区域的放大图。
[0039]图17至图20是用于说明根据本专利技术的另一实施例的喷墨头清洗方法的图。
[0040](附图标记说明)
[0041]1000：基板处理装置
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SUB：基板
[0042]B：基底
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D1：第一方向
[0043]D2：第二方向
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D3：第三方向
[0044]100：基板支承部件
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110：支承板
[0045]120：引导部件
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200：喷墨头
[0046]210：喷嘴
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212：内部
[0047]214：内侧面
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种喷墨头清洗装置，其特征在于，包括：硬化部件，配置成与包括喷嘴的喷墨头的所述喷嘴喷出墨水的喷出面面对，并使所述喷嘴的内部的所述墨水硬化而形成硬化墨水层；以及清洗液供应部件，配置成与所述喷出面面对，并向所述喷嘴的所述内部注入清洗液。2.根据权利要求1所述的喷墨头清洗装置，其特征在于，所述硬化部件朝向所述喷出面照射紫外线。3.根据权利要求1所述的喷墨头清洗装置，其特征在于，所述清洗液供应部件接触于所述喷出面而向所述喷嘴的所述内部注入所述清洗液。4.根据权利要求3所述的喷墨头清洗装置，其特征在于，所述清洗液供应部件包括：密封部件，密封所述喷出面，在清洗液供应部件接触于所述喷出面之后，直到所述喷嘴的清洗结束为止，所述密封部件保持所述喷出面的密封状态。5.根据权利要求4所述的喷墨头清洗装置，其特征在于，所述清洗液供应部件还包括：清洗液容纳部，容纳所述清洗液；以及清洗液供应部，向所述清洗液容纳部供应所述清洗液...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩政洹，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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