本发明专利技术涉及半导体光电技术领域，用于解决传统转移方式是利用单个吸嘴，严重影响芯片的转移效率的问题，具体是Mini/micro led激光巨量转移装置，包括两个支撑架，两个支撑架之间固定连接有承载板，两个支撑架的顶部均固定连接有导轨，支撑架的顶部设置有支撑框，支撑框两端底部均滑动连接在对应设置的导轨内，支撑框的底部固定连接有滑轨，承载板的顶部贯穿开设有槽口，承载板的顶部固定连接有两个限位导框和电动推杆一，限位导框内等间距滑动连接有多组驱动块，驱动块的顶部中心处转动连接有驱动杆一和驱动杆二，本发明专利技术与现有技术相比，通过设置有多组驱动板，使其能够一次实现超过20个的裸晶的取放功能，大大提高了转移效率。大大提高了转移效率。大大提高了转移效率。
【技术实现步骤摘要】
Mini/micro led激光巨量转移装置
[0001]本专利技术涉及半导体光电
，具体是Mini/micro led激光巨量转移装置。
技术介绍
[0002]micro是将传统的LED结构进行薄膜化、微小化、阵列化所得，尺寸仅在1～10μm，由于LED显示技术的优点，micro越来越多地被用到显示的场合，但是，超高分辨率的micro显示屏制造工艺难题仍制约着micro应用到上述用途，相比OLED可以采用印刷等廉价的生产方法轻易制造出大面积的发光面，制成一块大尺寸、高分辨率的micro显示屏需要对百万或千万片微米级尺寸的micro晶片排列组装，因此带来巨大的制造成本消耗。
[0003]micro LED激光巨量转移装置是一种用于将激光光源、基板和LED芯片进行精确对位组装的设备，其结构通常包括自适应光掩模、光谱光源、显微镜与相位控制单元等元件，巨量转移要求把微米级大小的micro晶片从施主晶圆上精准抓取，扩大阵列距离，妥善安放固定到目标衬底上，然而传统的转移方式是单个吸嘴，从晶圆上单颗转移，效率很慢，目前业界每小时产出数量在120K，远远不能满足产业化的要求，并且设备在高速运行下，容易导致发光二极管出现排列位置错乱、遗漏的问题，继而影响后续对发光二极管的整板转移精度。
[0004]针对上述的技术缺陷，现提出一种解决方案。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供Mini/micro led激光巨量转移装置，用于解决以下问题：通过设置有多组驱动板，进而使同时工作的吸嘴的数量超过20个，使其能够一次实现超过20个的裸晶的取放功能，大大提高了转移效率，解决传统转移方式是利用单个吸嘴，严重影响芯片的转移效率的问题；
[0006]蓝膜的一次90度旋转配合两次调节驱动板之间的间距，进而实现对放置在蓝膜顶部的发光二极管进行有条不紊地精准调节，解决现有设备在高速运行的情况下，容易导致发光二极管出现排列位置错乱、遗漏的问题。
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0008]Mini/micro led激光巨量转移装置，包括两个支撑架，两个所述支撑架之间固定连接有承载板，两个所述支撑架的顶部均固定连接有导轨，所述支撑架的顶部设置有支撑框，所述支撑框两端底部均滑动连接在对应设置的导轨内，所述支撑框的底部固定连接有滑轨，所述承载板的顶部贯穿开设有槽口。
[0009]进一步的，所述承载板的顶部固定连接有两个限位导框和电动推杆一，所述限位导框内等间距滑动连接有多组驱动块，所述驱动块的顶部中心处转动连接有驱动杆一和驱动杆二，所述驱动杆二两端及中部均与对应设置的驱动杆一转动连接，所述电动推杆一输出端与对应设置的驱动块固定连接
[0010]进一步的，所述承载板的顶部固定连接有滑杆，所述滑杆的截面为矩形，所述驱动
块的侧面贯穿开设有滑槽，所述驱动块套设滑动连接在滑杆的外侧。
[0011]进一步的，两个对应设置驱动块相邻的一侧之间设置有驱动板，所述驱动板的顶部贯穿开设有驱动槽，所述驱动槽内滑动连接有工型滑移座。
[0012]进一步的，所述工型滑移座的顶部一端外侧固定连接有限位板，所述工型滑移座的一端通过限位板滑动连接在滑轨内。
[0013]进一步的，所述工型滑移座的底部开设有T型槽，所述工型滑移座的底部设置有推板一和推板二。
[0014]进一步的，所述推板一和推板二的顶部均通过点焊固定有T型块，所述T型块的两端滑动连接在T型槽内。
[0015]进一步的，所述工型滑移座的两端均固定连接有气动推杆一，所述气动推杆一一端与对应设置的T型块固定连接。
[0016]进一步的，所述推板一和推板二的底部固定连接有气动推杆二，所述气动推杆二的底端固定连接有吸嘴。
[0017]进一步的，两个所述支撑架之间固定连接有横板，所述横板的侧面固定连接有电动推杆二，所述电动推杆二的输出端与支撑框固定连接，两个所述支撑架之间设置有转台，所述转台的顶部放置有蓝膜。
[0018]一种Mini/micro led激光巨量转移装置的工作方法，包括以下步骤：
[0019]步骤一：利用激光镭射从wafer转移发光二极管至蓝膜；
[0020]步骤二：启动电动推杆二，电动推杆二带动支撑框进行水平移动，支撑框通过滑轨、工型滑移座的配合带动吸嘴进行同步移动，直至吸嘴位于发光二极管的上方，启动气动推杆一，气动推杆一通过T型块推动对应设置的推板一和推板二进行移动，直至同一工型滑移座底部的两个吸嘴之间的间距调节至设定间距；
[0021]再启动气动推杆二，气动推杆二带动吸嘴同步向下移动，对应设置的吸嘴吸住其下方对应的发光二极管，随后带动发光二极管同步向上移动；
[0022]步骤三：启动电动推杆一，电动推杆一推动驱动块进行移动，驱动块通过驱动杆一和驱动杆二的相互配合进而带动等间距设置的其他驱动块进行同步滑动，驱动块带动驱动板进行同步滑动，驱动板通过驱动槽带动工型滑移座进行水平移动，直至相邻驱动块之间的间距调节至设定间距，此时相邻发光二极管之间的间距达到预定值；
[0023]随后电动推杆二通过推动支撑框以及滑轨进而使调节间距后的发光二极管向前移动，并在气动推杆二的作用下将调节完毕的发光二极管再次放置在蓝膜顶部，如此往复移动剩余的发光二极管，进而实现对发光二极管进行第一次排列；
[0024]步骤四：蓝膜旋转90度，重复上述步骤二和步骤三，进而实现对发光二极管进行第二次排列；
[0025]步骤五：发光二极管经过第一次排列和第二次排列后，将蓝膜上的发光二极管从Tape直接整板转印至基板上。
[0026]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0027]1、本专利技术在使用时，独立运行的气动推杆一通过T型块控制对应的推板一和推板二进行分别移动，推板一和推板二带动对应的吸嘴进行移动，进而实现吸嘴的有序排列，便于吸嘴在气动推杆一的作用下实现对发光二极管进行精准抓取，通过在相邻驱动块的外侧
转动连接有等长的驱动杆一和驱动杆二，驱动块在电动推杆一的作用下实现等距离的水平移动，驱动块通过驱动板带动吸嘴以及发光二极管进行的间距调节，调节完毕后，将蓝膜旋转90度，通过再次调节驱动板之间的间距，进而实现对发光二极管的第二次排列，蓝膜的一次90度旋转配合两次调节驱动板之间的间距，进而实现对放置在蓝膜顶部的发光二极管进行有条不紊的精准调节，避免在发光二极管间距调节的过程中出现排列错乱、遗漏影响后续整板转印精度的问题，发光二极管经过两次排列后被均匀且等间距的重新放置在蓝膜顶部，通过对吸嘴进行两次有序的间距快速调节，大大提高了Mini/micro led激光巨量转移工作中的工作效率。
[0028]2、本专利技术在使用时，通过设置有多组驱动板，进而使同时工作的吸嘴的数量超过20个，使其能够一次实现超过20个的裸晶的取放功能，大大提高了转移效率，使其每小时产出数量达到1000K，满足产业化的需求。
附图说明
[0029本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.Mini/micro led激光巨量转移装置，包括两个支撑架(101)，其特征在于，两个所述支撑架(101)之间固定连接有承载板(102)，两个所述支撑架(101)的顶部均固定连接有导轨(103)，所述支撑架(101)的顶部设置有支撑框(201)，所述支撑框(201)两端底部均滑动连接在对应设置的导轨(103)内，所述支撑框(201)的底部固定连接有滑轨(202)，所述承载板(102)的顶部贯穿开设有槽口(203)。2.根据权利要求1所述的Mini/micro led激光巨量转移装置，其特征在于，所述承载板(102)的顶部固定连接有两个限位导框(3)和电动推杆一(4)，所述限位导框(3)内等间距滑动连接有多组驱动块(5)，所述驱动块(5)的顶部中心处转动连接有驱动杆一(601)和驱动杆二(602)，所述驱动杆二(602)两端及中部均与对应设置的驱动杆一(601)转动连接，所述电动推杆一(4)输出端与对应设置的驱动块(5)固定连接。3.根据权利要求2所述的Mini/micro led激光巨量转移装置，其特征在于，所述承载板(102)的顶部固定连接有滑杆(7)，所述滑杆(7)的截面为矩形，所述驱动块(5)的侧面贯穿开设有滑槽，所述驱动块(5)套设滑动连接在滑杆(7)的外侧。4.根据权利要求2所述的Mini/micro led激光巨量转移装置，其特征在于，两个对应设置驱动块(5)相邻的一侧之间设置有驱动板(8)，所述驱动板(8)的顶部贯穿开设有驱动槽(9)，所述驱动槽(9)内滑动连接有工型滑移座(10)。5.根据权利要求4所述的Mini/micro led激光巨量转移装置，其特征在于，所述工型滑移座(10)的顶部一端外侧固定连接有限位板(11)，所述工型滑移座(10)的一端通过限位板(11)滑动连接在滑轨(202)内。6.根据权利要求5所述的Mini/micro led激光巨量转移装置，其特征在于，所述工型滑移座(10)的底部开设有T型槽(12)，所述工型滑移座(10)的底部设置有推板一(131)和推板二(132)。7.根据权利要求6所述的Mini/micro led激光巨量转移装置，其特征在于，所述推板一(131)和推板二(132)的顶部均通过点焊固定有T型块(14)，所述T型块(14)的两端滑动连接在T型槽(12)内。8.根据权利要求5所述的Mini/micro led激光巨量转移装置，其特征在于，所述工型滑移座(10)的两端均固定连接有气动推杆一(15)，所述气动推杆一(15)一端与对应设置的T型块(14)固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：万文学，罗来松，姜柳屹，
申请(专利权)人：深圳市凯意科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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