压电驱动元件制造技术

压电驱动元件(1)具备：可动部(10)；一对压电驱动部(20)，端部(20a)与可动部(10)连接，使可动部(10)至少相对于转动轴(R10)而转动；和固定部(30)，与压电驱动部(20)的端部(20b)连接。一对压电驱动部(20)夹着可动部(10)在沿着转动轴(R10)的方向并排，在俯视下，可动部(10)的宽度比一对压电驱动部(20)的宽度窄，固定部(30)在俯视下被配置于可动部(10)的外侧并且被一对压电驱动部(20)夹着的间隙区域(G)。被一对压电驱动部(20)夹着的间隙区域(G)。被一对压电驱动部(20)夹着的间隙区域(G)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电驱动元件


[0001]本专利技术涉及通过压电致动器来驱动可动部的压电驱动元件，例如，适合用于通过配置于可动部的反射镜来使光扫描的情况。

技术介绍

[0002]近年来，开发了使用MEMS(Micro Electro Mechanical System)技术来使可动部转动的压电驱动元件。在这种压电驱动元件中，通过在可动部配置反射镜，能够使入射到反射镜的光以规定的偏转角扫描。
[0003]例如，以下的专利文献1中记载了一种光偏转器，具备：反射光的反射镜部；包围并支承反射镜部的框部；和介于反射镜部与框部之间并使反射镜部往复转动的一对压电致动器。框部被配置为包围作为可动部的反射镜部以及一对压电致动器这两者。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：JP专利第6310786号公报

技术实现思路

[0007]‑
专利技术要解决的课题
‑
[0008]如上述那样，若将框部设置为包围可动部以及一对压电致动器这两者，则产生压电驱动元件的设置面积变大的问题。
[0009]鉴于该课题，本专利技术的目的在于，提供一种能够抑制设置面积的压电驱动元件。
[0010]‑
解决课题的手段
‑
[0011]本专利技术的主要方式涉及一种压电驱动元件。本方式所涉及的压电驱动元件具备：可动部；一对压电驱动部，一端与所述可动部连接，使所述可动部至少相对于转动轴转动；和固定部，与所述压电驱动部的另一端连接。所述一对压电驱动部夹着所述可动部在沿着所述转动轴的方向并排，在俯视下，所述可动部的宽度比所述一对压电驱动部的宽度窄，所述固定部在俯视下被配置于所述可动部的外侧并且被所述一对压电驱动部夹着的间隙区域。
[0012]根据本方式所涉及的压电驱动元件，在可动部与一对压电驱动部之间的间隙区域配置固定部。由此，能够抑制压电驱动元件的设置面积。
[0013]‑
专利技术效果
‑
[0014]如以上那样，根据本专利技术，能够提供能够抑制设置面积的压电驱动元件。
[0015]本专利技术的效果乃至意义通过以下所示的实施方式的说明而更加明确。但是，以下所示的实施方式仅仅是将本专利技术实施化时的一个示例，本专利技术并不限制于以下的实施方式所述的内容。
附图说明
[0016]图1是示意性地表示实施方式1所涉及的压电驱动元件的结构的俯视图。
[0017]图2是示意性地表示实施方式1所涉及的一对压电驱动部的结构的俯视图。
[0018]图3的(a)是示意性地表示实施方式1所涉及的振动部的截面的剖视图。图3的(b)是示意性地表示实施方式1所涉及的压电驱动元件的截面的剖视图。
[0019]图4的(a)、(b)分别是示意性地表示实施方式1的变更例所涉及的一对固定部在转动轴的下侧以及上侧相互连接的情况下的结构的剖视图。
[0020]图5是示意性地表示实施方式2所涉及的压电驱动元件的结构的俯视图。
[0021]图6是示意性地表示实施方式2所涉及的一对压电驱动部的结构的俯视图。
[0022]图7是示意性地表示实施方式2的变更例1所涉及的压电驱动元件的结构的俯视图。
[0023]图8是示意性地表示实施方式2的变更例1所涉及的一对压电驱动部的结构的俯视图。
[0024]图9是示意性地表示实施方式2的变更例2所涉及的压电驱动元件的结构的俯视图。
[0025]图10是示意性地表示实施方式2的变更例2所涉及的一对压电驱动部的结构的俯视图。
[0026]图11是示意性地表示实施方式3所涉及的压电驱动元件的结构的俯视图。
[0027]图12是示意性地表示实施方式3所涉及的一对压电驱动部的结构的俯视图。
[0028]图13是示意性地表示实施方式3的变更例所涉及的压电驱动元件的结构的俯视图。
[0029]图14是示意性地表示实施方式3的变更例所涉及的一对压电驱动部的结构的俯视图。
[0030]图15是示意性地表示实施方式4所涉及的压电驱动元件的结构的俯视图。
[0031]图16是示意性地表示实施方式4所涉及的一对压电驱动部的结构的俯视图。
[0032]图17是示意性地表示实施方式4的变更例所涉及的压电驱动元件的结构的俯视图。
[0033]图18是示意性地表示实施方式4的变更例所涉及的一对压电驱动部的结构的俯视图。
[0034]图19是示意性地表示实施方式5所涉及的压电驱动元件的结构的俯视图。
[0035]图20是示意性地表示实施方式5所涉及的一对压电驱动部的结构的俯视图。
[0036]图21是示意性地表示实施方式5所涉及的压电驱动元件的截面的剖视图。
[0037]图22是示意性地表示实施方式5的变更例1所涉及的压电驱动元件的截面的剖视图。
[0038]图23是示意性地表示实施方式5的变更例2所涉及的压电驱动元件的结构的俯视图。
[0039]图24是示意性地表示实施方式6所涉及的压电驱动元件的结构的俯视图。
[0040]图25是示意性地表示实施方式6所涉及的一对压电驱动部的结构的俯视图。
[0041]图26是示意性地表示实施方式6所涉及的压电驱动元件的截面的剖视图。
[0042]图27是示意性地表示实施方式6的变更例1所涉及的压电驱动元件的截面的剖视图。
[0043]图28是示意性地表示实施方式6的变更例2所涉及的压电驱动元件的结构的俯视图。
[0044]图29是示意性地表示其他变更例所涉及的压电驱动元件的结构的俯视图。
[0045]图30是示意性地表示其他变更例所涉及的一对压电驱动部的结构的俯视图。
[0046]其中，附图仅仅用于说明，并不限定本专利技术的范围。
具体实施方式
[0047]在以下的实施方式中，压电驱动元件1是用于使反射镜以转动轴R10为中心进行转动、对入射到反射镜的光进行反射并扫描目标区域的元件。这种压电驱动元件有时也被称为光偏转器、反射镜致动器。另外，压电驱动元件并不局限于使反射镜转动，也可以使反射镜以外的构件、膜转动。以下的实施方式是本专利技术的一实施方式，本专利技术并不限制于以下的实施方式。
[0048]以下，参照附图来说明本专利技术的实施方式。为了方便，对各图中附上相互正交的X、Y、Z轴，Z轴正方向相对于纸面是铅垂上方向。
[0049]<实施方式1>
[0050]图1是示意性地表示压电驱动元件1的结构的俯视图。
[0051]压电驱动元件1具备：可动部10、一对压电驱动部20、一对固定部30。在图1中，可动部10、一对压电驱动部20、一对固定部30这3个结构为了方便，被赋予不同的阴影以使得可知各个区域。另外，在以下的实施方式以及变更例中，压电驱动元件1的俯视图中也被赋予同样的阴影。
[0052]可动部10具有板形状并且椭圆形状。在俯视下，可动部10的X轴方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压电驱动元件，具备：可动部；一对压电驱动部，一端与所述可动部连接，使所述可动部至少相对于转动轴转动；和固定部，与所述压电驱动部的另一端连接，所述一对压电驱动部夹着所述可动部在沿着所述转动轴的方向并排，在俯视下，所述可动部的宽度比所述一对压电驱动部的宽度窄，所述固定部在俯视下被配置于所述可动部的外侧并且被所述一对压电驱动部夹着的间隙区域。2.根据权利要求1所述的压电驱动元件，其中，所述固定部在俯视下分别被配置于所述转动轴的两侧的所述间隙区域。3.根据权利要求2所述的压电驱动元件，其中，所述一对压电驱动部分别具备：第1驱动部，一端与所述可动部连接，使所述可动部相对于所述转动轴转动；和第2驱动部，介于所述第1驱动部的另一端与所述固定部之间，在上下驱动所述另一端。4.根据权利要求3所述的压电驱动元件，其中，一个所述压电驱动部的所述第2驱动部和另一个所述压电驱动部的所述第2驱动部在关于所述可动部点对称的位置各配置一个。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：高山了一，小牧一树，石田贵巳，水原健介，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：