【技术实现步骤摘要】
一种液氨生产除杂装置
[0001]本专利技术属于液氨生产制备
，具体是指一种液氨生产除杂装置。
技术介绍
[0002]半导体行业近几年发展较为迅速，超纯氨水作为半导体行业中重要的电子级化学试剂，在半导体和化合物半导体器件的制备中得到了广泛的应用。
[0003]液氨制备工艺多样化，包括蒸发、净化、吸收工序，其利用压缩机将液态氨从原料罐压送至蒸发器内，并利用蒸发器内的热蒸汽蒸发为氨气；然后将汽化后的氨气依次通过排水分离器和活性碳吸附器得到净化后的氨气；将净化过滤后的氨气经过吸附树脂吸附除油处理后，用超纯水和饱和氨水洗涤除杂；再将处理后的氨气用水汽分离器分离成水气和氨气，然后将分离后的氨气经吸收塔用超纯水吸收后超滤，得到电子级氨水。
[0004]当利用蒸发器蒸发成氨气去除杂质和油污的过程中会存在以下问题：1、当采用低温蒸发时，氨水的纯度增加但是生产效率会大大降低，当采用高温蒸发时，会将其中的水分和部分沸点相对较低的油分也蒸发出来，随着氨气一起进入到后续的工序中，造成氨气的纯度不高；2、在使用一段时间后，需要定...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种液氨生产除杂装置，包括成对设置的支撑盘（1），支撑盘（1）的下部设有支撑腿（2）和支撑脚（3），其特征在于：所述支撑盘（1）之间设有交替进料组件（4），所述交替进料组件（4）的两侧设有冷热交替蒸发除油组件（5），所述冷热交替蒸发除油组件（5）上设有支撑框架（6），所述支撑框架（6）设于冷热交替蒸发除油组件（5）的外部，所述冷热交替蒸发除油组件（5）之间设有过滤分散器（7），所述过滤分散器（7）设于支撑框架（6）内，所述冷热交替蒸发除油组件（5）的两端设有二级降温除油组件（8）。2.根据权利要求1所述的一种液氨生产除杂装置，其特征在于：所述交替进料组件（4）包括支撑块（9）、交替旋转电机（10）、内进液管（11）和外进液管（12），所述支撑块（9）转动设于支撑盘（1）的内侧壁，所述外进液管（12）的一端贯穿设于支撑盘（1）的侧壁上部，所述外进液管（12）的一端与支撑盘（1）的内侧壁齐平，所述内进液管（11）对称设于支撑块（9）的侧壁，所述内进液管（11）贯穿支撑块（9）的侧壁，所述内进液管（11）的一端与支撑块（9）的外侧壁齐平，所述交替旋转电机（10）设于支撑盘（1）的外侧壁中心处，所述交替旋转电机（10）的输出端贯穿支撑盘（1）且与支撑块（9）的侧壁连接。3.根据权利要求2所述的一种液氨生产除杂装置，其特征在于：所述支撑框架（6）包括支撑侧板（13）和连接柱（14），所述支撑侧板（13）对称设于支撑块（9）的侧壁，所述连接柱（14）对称设于支撑侧板（13）的内侧壁的边缘处，所述支撑侧板（13）通过连接柱（14）连接在一起。4.根据权利要求3所述的一种液氨生产除杂装置，其特征在于：所述冷热交替蒸发除油组件（5）包括记忆合金变换板（15）、固定板（17）、密封橡胶柱（18）、集油挡板（19）和排油管（20），所述记忆合金变换板（15）的一端设于支撑块（9）的端面，所述固定板（17）一端设于记忆合金变换板（15）的另一端，所述密封橡胶柱（18）设于固定板（17）的另一端，所述记忆合金变换板（15）的外侧壁沿着宽度方向阵列设有加热带（16），所述记忆合金变换板（15）与加热带（16）通过耐氨橡胶层包裹，所述集油挡板（19）设于支撑块（9）内侧壁上部，所述排油管（20）设于支撑侧板（13）的外壁，所述排油管（20）的一端与集油挡板（19）和支撑块（9）相交处对齐，所述支撑侧板（13）之间的边缘处对称设有冷却风扇（22），当记忆合金变换板（15）受热时，记忆合金变换板（15）呈圆弧形设置，此时密封橡胶柱（18）紧密贴合在一起，当记忆合金变换板（15）降温时，记忆合金变换板（15）呈直板型，此时密封橡胶柱（18）处于分开的状态。5...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕华，李子亚，李浩然，李婕，张立，
申请(专利权)人：河北正坤精细化工有限公司，
类型：发明
国别省市：
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