二维异质结材料界面缺陷检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及检测装置领域，公开了二维异质结材料界面缺陷检测装置，包括检测台和除尘机构，所述检测台顶部固定设置有保护罩、PC显示器和载物台，所述载物台顶部放置有载玻片，所述载玻片上放置有二维异质结材料，所述保护罩顶部设置有透射电子显微镜，所述除尘机构设置在保护罩上，所述除尘机构包括吸尘风机和遮挡板，所述保护罩侧面开设有取放口和移动槽，所述移动槽内滑动接触有移动板，所述遮挡板固定安装于移动板侧面，所述移动板顶部和移动槽顶部内壁上均开设有安装槽，所述安装槽内固定设置有导电片。本实用新型专利技术具有以下优点和效果：能够方便在对二维异质结材料检测时对其进行防尘保护，提高后续检测结果准确性。提高后续检测结果准确性。提高后续检测结果准确性。

【技术实现步骤摘要】
二维异质结材料界面缺陷检测装置


[0001]本技术涉及检测装置
，特别涉及二维异质结材料界面缺陷检测装置。

技术介绍

[0002]基于二维半导体材料制备的光电器件，比表面积大，材料制备和器件加工过程中，往往伴随着各种缺陷的产生，缺陷的出现决定了器件的性能。但针对二维材料界面缺陷的检测，还缺少有力检测手段。目前检测二维材料表面缺陷的主要方法包括光谱法和显微成像法。成像手段包括透射电子显微(TEM)。
[0003]专利号为201210518692.X公布了一种具有近场光学扫描功能的透射电子显微镜，包括透射电子显微镜本体，透射显微镜本体上插装有样品杆，该样品杆的一端安装有用于加载样品的样品夹具，样品杆中空设置，杆身内设置有伸向样品的定位装置，定位装置上安装有采集和引入近场光信号的光纤探针，通过控制定位装置使光纤探针靠近或贴靠在样品上，光纤探针与激发光光源和/或光信号分析仪器光纤连接，实现近场光信号的双向传输。
[0004]二维异质结材料界面缺陷可以通过对比文件中的透射电子显微镜进行检测，但是该电子显微镜对待检测物未进行有效保护，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.二维异质结材料界面缺陷检测装置，其特征在于，包括检测台(1)和除尘机构，所述检测台(1)顶部固定设置有保护罩(2)、PC显示器(4)和载物台(5)，所述载物台(5)顶部放置有载玻片(6)，所述载玻片(6)上放置有二维异质结材料(7)，所述保护罩(2)顶部设置有透射电子显微镜(3)，所述除尘机构设置在保护罩(2)上。2.根据权利要求1所述的二维异质结材料界面缺陷检测装置，其特征在于，所述除尘机构包括吸尘风机(13)和遮挡板(11)，所述保护罩(2)侧面开设有取放口(8)和移动槽，所述移动槽内滑动接触有移动板(10)，所述遮挡板(11)固定安装于移动板(10)侧面，所述移动板(10)顶部和移动槽顶部内壁上均开设有安装槽，所述安装槽内固定设置有导电片(12)，所述吸尘风机(13)固定安装于保护罩(2)顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔海，谢莉华，卜俊恩，谭思佳，谢姗，
申请(专利权)人：安徽研泠科技有限公司，
类型：新型
国别省市：