一种二维半导体材料的金属接触结构制造技术

本实用新型专利技术属于半导体器件领域，尤其是一种二维半导体材料的金属接触结构，包括箱体，所述箱体内安装有连接座，连接座的上方设有旋转托盘，箱体内安装有靶体，连接座上开设有转动孔，转动孔内转动安装有转动座，转动座的顶部开设有矩形槽，矩形槽内滑动安装有矩形座，矩形座的顶部与旋转托盘固定连接，矩形槽内设有调节机构，且调节机构与矩形座相连接，连接座上滑动安装有滑动板，滑动板与转动座之间设有传动机构，连接座上安装有推杆电机，推杆电机的输出轴与滑动板固定连接。本实用新型专利技术设计合理，便于对旋转托盘进行高度调节和转动，能够增加旋转托盘的灵活性，从而便于进行金属接触。触。触。

【技术实现步骤摘要】
一种二维半导体材料的金属接触结构


[0001]本技术涉及半导体器件
，尤其涉及一种二维半导体材料的金属接触结构。

技术介绍

[0002]自集成电路专利技术以来，其发展迅速，技术不断迭代，以半导体硅为载体的器件的特征尺寸按照“摩尔定律”逐渐缩小，以达到单位面积上最大化的器件数量，在降低芯片生产成本的同时，保持高性能和低功耗的优点。
[0003]目前，公告号为CN213782022U的中国专利公告的一种二维半导体材料的金属接触结构，包括衬底、位于衬底上的介质层、普通金属电极、齿状金属电极、顶金属电极以及位于介质层上的二维半导体材料。所述普通金属电极和齿状金属电极相接，所述齿状金属电极与二维半导体材料的边缘接触，所述顶金属电极位于齿状金属电极上方。二维材料已有大量研究，但目前关于金属二维半导体材料的电学接触问题还没有很好的解决。
[0004]在实际实现中发现旋转托盘只能够进行转动，使得旋转托盘的灵活性不足，不能根据实际需求对旋转托盘进行高度调整，因此我们提出了一种二维半导体材料的金属接触结构用于解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中存在旋转托盘只能够进行转动，使得旋转托盘的灵活性不足，不能根据实际需求对旋转托盘进行高度调整的缺点，而提出的一种二维半导体材料的金属接触结构。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种二维半导体材料的金属接触结构，包括箱体，所述箱体内安装有连接座，连接座的上方设有旋转托盘，箱体内安装有靶体，连接座上开设有转动孔，转动孔内转动安装有转动座，转动座的顶部开设有矩形槽，矩形槽内滑动安装有矩形座，矩形座的顶部与旋转托盘固定连接，矩形槽内设有调节机构，且调节机构与矩形座相连接，连接座上滑动安装有滑动板，滑动板与转动座之间设有传动机构，连接座上安装有推杆电机，推杆电机的输出轴与滑动板固定连接。
[0008]优选的，所述调节机构包括旋转孔、螺纹槽、螺纹杆和旋钮，所述旋转孔开设在矩形槽的顶部内壁上，螺纹槽开设在矩形座的底部上，螺纹杆转动安装在旋转孔内，且螺纹杆与螺纹槽相啮合，旋钮固定安装在螺纹杆的底部上。
[0009]优选的，所述传动机构包括传动齿轮、传动座和传动齿条，所述传动齿轮固定安装在转动座上，传动座固定安装在两个滑动板之间，传动齿条固定安装在传动座上，且传动齿条与传动齿轮相啮合。
[0010]优选的，两个连接座相互靠近的一侧均开设有滑动槽，且滑动板与对应的滑动槽滑动连接。
[0011]优选的，所述转动孔的内壁上开设有导向槽，转动座的外侧固定安装有多个导向座，且导向座与对应的导向槽滑动连接。
[0012]优选的，所述矩形槽的前侧内壁上和后侧内壁上均开设有限位槽，矩形座的前侧和后侧均固定安装有限位座，且限位座与对应的限位槽滑动连接。
[0013]本技术的有益效果：
[0014]1、通过旋转托盘能够对二维半导体材料进行放置，通过旋钮、螺纹杆和螺纹槽的配合，螺纹杆通过螺纹槽驱动矩形座向上移动，矩形座能够带动旋转托盘向上移动，从而能够实现对旋转托盘进行高度调节的目的；
[0015]2、通过推杆电机、滑动板、传动座和传动齿条的配合下，传动齿条能够驱动传动齿轮进行转动，传动齿轮能够驱动转动座进行转动，转动座能够带动旋转托盘进行旋转，从而便于金属接触。
附图说明
[0016]图1为本技术提出的一种二维半导体材料的金属接触结构的立体结构示意图；
[0017]图2为本技术提出的一种二维半导体材料的金属接触结构的主视结构示意图；
[0018]图3为本技术提出的一种二维半导体材料的金属接触结构的A部分结构示意图；
[0019]图4为本技术提出的一种二维半导体材料的金属接触结构的B部分结构示意图。
[0020]图中：1、箱体；2、连接座；3、旋转托盘；4、靶体；5、转动孔；6、转动座；7、矩形槽；8、矩形座；9、旋转孔；10、螺纹槽；11、螺纹杆；12、旋钮；13、传动齿轮；14、滑动槽；15、滑动板；16、传动座；17、传动齿条；18、推杆电机。
具体实施方式
[0021]下面将结合具体实施例对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]当部件被称为“设置于”另一个部件，它可以直接在另一个部件上或者也可以存在居中的部件，“设置”表示一种存在的方式，可以是连接、安装、固定连接、活性连接等连接方式。当一个部件被认为是“连接”另一个部件，它可以是直接连接到另一个部件或者可能同时存在居中部件。
[0023]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0024]参照图1
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4，一种二维半导体材料的金属接触结构，包括箱体1，箱体1内安装有连
接座2，连接座2的上方设有旋转托盘3，箱体1内安装有靶体4，连接座2上开设有转动孔5，转动孔5内转动安装有转动座6，转动座6的顶部开设有矩形槽7，矩形槽7内滑动安装有矩形座8，矩形座8的顶部与旋转托盘3固定连接，矩形槽7内设有调节机构，且调节机构与矩形座8相连接，连接座2上滑动安装有滑动板15，滑动板15与转动座6之间设有传动机构，连接座2上安装有推杆电机18，推杆电机18的输出轴与滑动板15固定连接。
[0025]本实施例中，调节机构包括旋转孔9、螺纹槽10、螺纹杆11和旋钮12，旋转孔9开设在矩形槽7的顶部内壁上，螺纹槽10开设在矩形座8的底部上，螺纹杆11转动安装在旋转孔9内，且螺纹杆11与螺纹槽10相啮合，旋钮12固定安装在螺纹杆11的底部上，通过设置有调节机构，螺纹杆11的转动通过螺纹槽10驱动矩形座8进行移动。
[0026]本实施例中，传动机构包括传动齿轮13、传动座16和传动齿条17，传动齿轮13固定安装在转动座6上，传动座16固定安装在两个滑动板15之间，传动齿条17固定安装在传动座16上，且传动齿条17与传动齿轮13相啮合，通过设置有传动机构，滑动板15的移动能够驱动传动齿轮13进行转动。
[0027]本实施例中，两个连接座2相互靠近的一侧均开设有滑动槽14，且滑动板15与对应的滑动槽14滑动连接，通过设置有滑动槽14，能够对滑动板15进行导向，使得滑动板15能够进行稳定的移动。
[0028]本实施例中，转动孔5的内壁上开设有导向槽，转动座6的外侧固定安装有多个导向座，且导向座与对应的导向槽滑动连接，通过设置有导向槽和导向座，能够对转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二维半导体材料的金属接触结构，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)内安装有连接座(2)，所述连接座(2)的上方设有旋转托盘(3)，所述箱体(1)内安装有靶体(4)，所述连接座(2)上开设有转动孔(5)，所述转动孔(5)内转动安装有转动座(6)，所述转动座(6)的顶部开设有矩形槽(7)，所述矩形槽(7)内滑动安装有矩形座(8)，所述矩形座(8)的顶部与旋转托盘(3)固定连接，所述矩形槽(7)内设有调节机构，且所述调节机构与矩形座(8)相连接，所述连接座(2)上滑动安装有滑动板(15)，所述滑动板(15)与转动座(6)之间设有传动机构，所述连接座(2)上安装有推杆电机(18)，所述推杆电机(18)的输出轴与滑动板(15)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种二维半导体材料的金属接触结构，其特征在于，所述调节机构包括旋转孔(9)、螺纹槽(10)、螺纹杆(11)和旋钮(12)，所述旋转孔(9)开设在矩形槽(7)的顶部内壁上，螺纹槽(10)开设在矩形座(8)的底部上，螺纹杆(11)转动安装在旋转孔(9)内，且螺纹杆(11)与螺纹槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔海，谢莉华，卜俊恩，谭思佳，谢姗，
申请(专利权)人：安徽研泠科技有限公司，
类型：新型
国别省市：