一种自检测密封性的多晶硅还原炉制造技术

本申请公开了应用于多晶硅领域的一种自检测密封性的多晶硅还原炉，该还原炉通过自检测管以及其内部充入的检测液的设置，当密封圈老化开裂后，其内部的检测液会发生外溢现象，并使自检测管内检测液随之泄漏，在此过程中自检测管内有色液液面逐渐下降，使自变显柱上端部的有色面积逐渐减小，从而在视觉上对工作人员起到提醒预警的作用，同时，随着有色液的液面下降，激光光束连贯，进而有效触发报警器报警，相较于现有技术，可实现对密封圈密封性受损的自检测，在密封性受损初期就进行警示，进而大幅度降低密封性受损对多晶硅的还原的影响。响。响。

【技术实现步骤摘要】
一种自检测密封性的多晶硅还原炉


[0001]本申请涉及多晶硅领域，特别涉及一种自检测密封性的多晶硅还原炉。

技术介绍

[0002]多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。多晶硅可作拉制单晶硅的原料，多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。多晶硅和单晶硅可从外观上加以区别，但真正的鉴别须通过分析测定晶体的晶面方向、导电类型和电阻率等。多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。
[0003]传统的多晶硅还原炉一般采用静置高温的方式进行还原，炉内高温高压，在反应时需要维持密封，但是由于高温高压导致还原炉的密封圈容易老化开裂，导致密封性变差，然而现有技术中很难在密封圈开裂初期发现该情况，导致对炉内多晶硅的还原存在一定的影响。

技术实现思路

[0004]本申请目的在于能在密封性受损初期就发觉密封圈受损，进而降低密封性受损对多晶硅的还原的影响，相比现有技术提供一种自检测密封性的多晶硅还原炉，所述盖体位于炉体内的端部外端开凿有密封环槽，所述密封环槽上镶嵌有密封圈，所述盖体上与密封环槽对应的部位开凿有通孔，所述密封圈内壁固定连接有渡液管，所述渡液管活动穿过通孔并延伸至盖体内，所述盖体上固定镶嵌有自检测管，所述自检测管包括与盖体固定镶嵌的贯穿筒、多个固定连接在贯穿筒位于盖体外的端部的多个自变显柱以及固定连接在贯穿筒底部的柔导液管，所述柔导液管端部固定连接有带有橡胶垫片的螺纹管，所述螺纹管与渡液管螺纹连接，所述贯穿筒上端固定连接有注液管，所述注液管、贯穿筒、自变显柱以及柔导液管相互连通，通过自检测管以及其内部充入的检测液的设置，当密封圈老化开裂后，其内部的检测液会发生外溢现象，并使自检测管内检测液随之泄漏，在此过程中自检测管内有色液液面逐渐下降，使自变显柱上端部的有色面积逐渐减小，从而在视觉上对工作人员起到提醒预警的作用，同时，随着有色液的液面下降，激光光束连贯，进而有效触发报警器报警，相较于现有技术，可实现对密封圈密封性受损的自检测，在密封性受损初期就进行警示，进而大幅度降低密封性受损对多晶硅的还原的影响。
[0005]可选的，所述密封圈中部开凿有环形空腔环形腔以及开凿在密封圈朝向盖体一端的导液孔，所述环形腔和导液孔相互连通，所述渡液管与导液孔对应。
[0006]可选的，所述环形腔的内径不大于密封圈横向厚度的1/3。
[0007]可选的，所述自变显柱包括位于顶部的空心球以及固定连接在空心球底部与贯穿筒之间的定导液管。
[0008]可选的，所述空心球为柔性密封材料制成，所述定导液管为硬质定型结构。
[0009]可选的，所述空心球包括固定连接在定导液管顶部的外变层和内压液层，所述外变层位于内压液层外侧，所述外变层上端固定连接有空心触液球，且空心触液球与外变层以及内压液层围成的空间相通，所述外变层与内压液层围成的空间内填充有有色液。
[0010]可选的，所述外变层为硬质透明结构，所述内压液层为弹性密封结构，且内压液层为浅色不透明材料制成。
[0011]可选的，在所述还原炉初次使用之前，通过注液管向自检测管内注入检测液，检测液沿着自检测管进入到密封圈内，之后进入至自变显柱内，直至有色液被检测液挤压渗入到空心触液球内后，停止注入检测液，同时封堵注液管。
[0012]可选的，所述自变显柱仅设置一个，且外变层上端固定连接有空心触液管，所述空心触液管外端固定连接有液变检杆，所述空心触液管中部固定贯穿液变检杆下端并延伸至液变检杆内，所述液变检杆左右内壁分别安装有激光发射器和激光接收器，所述贯穿筒上端安装有报警器以及控制报警器的信号开关，所述信号开关与激光接收器信号连接。
[0013]可选的，所述空心触液管为透明结构，所述有色液的颜色为深色。
[0014]相比于现有技术，本申请的优点在于：
[0015](1)本方案通过自检测管以及其内部充入的检测液的设置，当密封圈老化开裂后，其内部的检测液会发生外溢现象，并使自检测管内检测液随之泄漏，在此过程中自检测管内有色液液面逐渐下降，使自变显柱上端部的有色面积逐渐减小，从而在视觉上对工作人员起到提醒预警的作用，同时，随着有色液的液面下降，激光光束连贯，进而有效触发报警器报警，相较于现有技术，可实现对密封圈密封性受损的自检测，在密封性受损初期就进行警示，进而大幅度降低密封性受损对多晶硅的还原的影响。
附图说明
[0016]图1为本申请立体的结构示意图；
[0017]图2为本申请盖体仰视视角时的立体结构示意图；
[0018]图3为本申请盖体俯视视角时部分的爆炸结构示意图；
[0019]图4为本申请盖体正面的结构示意图；
[0020]图5为图4中A处的结构示意图；
[0021]图6为本申请自检测管立体的结构示意图；
[0022]图7为本申请自变显柱正面的结构示意图；
[0023]图8为本申请实施例2中自变显柱端部完全显色时的结构示意图；
[0024]图9为本申请密封性受损后检测液发生泄漏后的自变显柱的结构示意图；
[0025]图10为本申请实施例3中自变显柱的结构示意图；
[0026]图11为本申请的液变检杆的结构示意图。
[0027]图中标号说明：
[0028]11炉体、12盖体、21进气口、22排气口、3自检测管、31贯穿筒、32自变显柱、321外变层、322内压液层、323定导液管、33柔导液管、41渡液管、42注液管、5密封圈、51环形腔、52导液孔、6空心触液球、71空心触液管、72液变检杆、81激光发射器、82激光接收器。
具体实施方式
[0029]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0030]实施例1：
[0031]本申请公开了一种自检测密封性的多晶硅还原炉，请参阅图1，包括炉体11以及密封盖设在炉体11上端的盖体12，盖体12上端固定连接有排气口22，炉体11外端固定连接有进气口21，请参阅图4
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5，盖体12位于炉体11内的端部外端开凿有密封环槽，密封环槽上镶嵌有密封圈5，盖体12上与密封环槽对应的部位开凿有通孔，如图3，密封圈5内壁固定连接有渡液管41，渡液管41活动穿过通孔并延伸至盖体12内，密封圈5中部开凿有环形空腔环形腔51以及开凿在密封圈5朝向盖体12一端的导液孔52，环形腔51和导液孔52相互连通，渡液管41与导液孔52对应，在安装密封圈5时，可先将密封圈5的渡液管41处对准通孔处，使其穿过通孔，然后再将密封圈5整体套设至密封环槽内即可，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自检测密封性的多晶硅还原炉，包括炉体(11)以及密封盖设在炉体(11)上端的盖体(12)，所述盖体(12)上端固定连接有排气口(22)，所述炉体(11)外端固定连接有进气口(21)，其特征在于，所述盖体(12)位于炉体(11)内的端部外端开凿有密封环槽，所述密封环槽上镶嵌有密封圈(5)，所述盖体(12)上与密封环槽对应的部位开凿有通孔，所述密封圈(5)内壁固定连接有渡液管(41)，所述渡液管(41)活动穿过通孔并延伸至盖体(12)内，所述盖体(12)上固定镶嵌有自检测管(3)，所述自检测管(3)包括与盖体(12)固定镶嵌的贯穿筒(31)、多个固定连接在贯穿筒(31)位于盖体(12)外的端部的多个自变显柱(32)以及固定连接在贯穿筒(31)底部的柔导液管(323)，所述柔导液管(323)端部固定连接有带有橡胶垫片的螺纹管，所述螺纹管与渡液管(41)螺纹连接，所述贯穿筒(31)上端固定连接有注液管(42)，所述注液管(42)、贯穿筒(31)、自变显柱(32)以及柔导液管(323)相互连通。2.根据权利要求1所述的一种自检测密封性的多晶硅还原炉，其特征在于，所述密封圈(5)中部开凿有环形空腔环形腔(51)以及开凿在密封圈(5)朝向盖体(12)一端的导液孔(52)，所述环形腔(51)和导液孔(52)相互连通，所述渡液管(41)与导液孔(52)对应。3.根据权利要求2所述的一种自检测密封性的多晶硅还原炉，其特征在于，所述环形腔(51)的内径不大于密封圈(5)横向厚度的1/3。4.根据权利要求1所述的一种自检测密封性的多晶硅还原炉，其特征在于，所述自变显柱(32)包括位于顶部的空心球以及固定连接在空心球底部与贯穿筒(31)之间的定导液管(323)。5.根据权利要求4所述的一种自检测密封性的多晶硅还原炉，其特征在于，所述空心球为柔性密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾清钧，贾根茂，
申请(专利权)人：贾清钧，
类型：发明
国别省市：