有机蒸气喷射打印系统技术方案

技术编号:38636359 阅读:26 留言:0更新日期:2023-08-31 18:32
本申请涉及有机蒸气喷射打印系统。所公开主题的实施方案提供了一种有机蒸气喷射打印管芯,其包括沉积器的线性阵列,其中每个所述沉积器具有孔簇。所述有机蒸气喷射打印管芯可以包括:每个孔簇中的至少一个第一孔是与载气源和蒸发炉流体连通的输送孔。每个孔簇中的至少一个第二孔可以是与静压低于所述孔处的静压的真空贮库流体连通的排放孔。所述输送孔和所述排放孔可以具有小于0.4%的均匀度。所述排放孔可以具有小于0.4%的均匀度。所述排放孔可以具有小于0.4%的均匀度。

【技术实现步骤摘要】
有机蒸气喷射打印系统
[0001]相关申请的交叉参考
[0002]本申请要求2022年2月23日提交的美国专利申请序列号16/312,853的优先权,其全部内容以引入的方式并入本文中。


[0003]本专利技术涉及用于制造包括掩埋二氧化硅作为蚀刻停止部的打印管芯的装置和技术,以及包括所述打印管芯的装置和技术。

技术介绍

[0004]出于许多原因,利用有机材料的光电装置变得越来越受欢迎。用于制造所述装置的许多材料相对较为便宜,因此有机光电装置具有优于无机装置的成本优势的潜力。另外,有机材料的固有性质(例如其柔性)可以使其较适用于特定应用,如在柔性衬底上的制造。有机光电装置的实例包括有机发光二极管/装置(OLED)、有机光电晶体管、有机光伏电池和有机光电检测器。对于OLED,有机材料可以具有优于常规材料的性能优势。举例来说,有机发射层发射光所处的波长通常可以用适当的掺杂剂容易地调节。
[0005]OLED利用有机薄膜,其在电压施加于装置上时会发射光。OLED正成为用于如平板显示器、照明和背光的应用中的日益受关注的技术。若干OL本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种设备,其包含:有机蒸气喷射打印管芯,其包括沉积器的线性阵列,其中每个所述沉积器具有孔簇,所述有机蒸气喷射打印管芯包含:每个孔簇中的至少一个第一孔是与载气源和蒸发炉流体连通的输送孔;和每个孔簇中的至少一个第二孔是与静压低于所述孔处的静压的真空贮库流体连通的排放孔,其中所述输送孔和所述排放孔具有小于0.4%的长度不均匀度。2.根据权利要求1所述的设备,其中所述输送孔和所述排放孔由接合的硅晶片和蚀刻到包括掩埋氧化物层的硅晶片的表面中的通道的二等分部分形成。3.根据权利要求2所述的设备,其中形成来自由所述输送孔和所述排放孔组成的群组中的至少一个的所述通道完全延伸穿过具有掩埋氧化物层的晶片的硅层之一并且不延伸到所述晶片的所述掩埋氧化物层的另一侧上的硅层。4.根据权利要求2所述的设备,其中经蚀刻的输送孔在所述掩埋氧化物层的表面处停止。5.根据权利要求2所述的设备,其中所述掩埋氧化物层经配置以形成来自由以下组成的群组中的至少一者的一侧:输送孔和排放孔。6.根据权利要求2所述的设备,其中所述掩埋氧化物层安置在三晶片堆叠的中间晶片内。7.根据权利要求2所述的设备,其中所述掩埋氧化物层安置在二晶片堆叠的每个晶片内。8.根据权利要求7所述的设备,其中与所述掩埋氧化物层相邻定位的经蚀刻腔安置在所述二晶片堆叠的接合在一起的每个晶片的侧面上。9.根据权利要求2所述的设备,其中所述接合的硅晶片包括第一硅晶片、第二硅晶片和第三硅晶片,所述设备进一步包含...

【专利技术属性】
技术研发人员:W
申请(专利权)人:环球展览公司
类型:发明
国别省市:

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