一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，包括位于移动机器人上的载台以及位于载台一侧的开盒机构，在载台上设有用于进行晶圆盒下部定位固定的定位机构；所述开盒机构包括对称位于定位机构左右两侧的开盒臂，开盒臂的内侧设有用于和晶圆盒的盒盖配合的夹头，所述开盒臂之间通过同步驱动机构带动同步进行转动，实现晶圆盒的开盒，在开盒臂上设有用于带动夹头沿开盒臂的臂长方向移动的调节机构；通过设置在移动机器人的开盒装置在晶圆盒搬运过程中自动实现对晶圆盒开盒操作，提高生产效率，同时避免人工的参与，能够保持产线的清洁，保证生产质量。保证生产质量。保证生产质量。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置


[0001]本专利技术涉及晶圆加工
，具体涉及一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置。

技术介绍

[0002]在现有的半导体晶圆生产厂中，晶圆盒需要固定在某个位置再有人工完成开盒动作后，搬运到设备上完成生产任务，由于放置、开盒、搬运的操作，增加生产步骤，影响生产效率，同时晶圆加工注重生产环境的洁净度，人工参与容易产生粉尘，影响产品的品质。

技术实现思路

[0003]技术目的：针对现有晶圆生产产线，晶圆盒开盒、搬运效率低，同时人工参与，容易影响生产环境的不足，本专利技术公开了一种无需人工参与操作，能够在晶圆盒搬运过程中，同步自动完成开盒的移动机器人的晶圆盒开盒装置。
[0004]技术方案：为实现上述技术目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，包括位于移动机器人上的载台以及位于载台一侧的开盒机构，在载台上设有用于进行晶圆盒下部定位固定的定位机构；所述开盒机构包括对称位于定位机构左右两侧的开盒臂，开盒臂的内侧设有用于和晶圆盒的盒盖配合的夹头，所述开盒臂之间通过同步驱动机构带动同步进行转动，实现晶圆盒的开盒，在开盒臂上设有用于带动夹头沿开盒臂的臂长方向移动的调节机构。
[0005]优选地，本专利技术的开盒臂采用中空结构，夹头一端位于开盒臂的外部，另一端伸入开盒臂内部与调节机构的驱动端相连接；在开盒臂上设有用于与夹头滑动调节相配合的导向槽。
[0006]优选地，本专利技术的调节机构包括固定在夹头端部的滑块，滑块与开盒臂之间滑动连接，在滑块上螺纹穿设有螺纹杆，螺纹杆的轴线方向与滑块滑动的方向相一致，在螺纹杆的端部连接有驱动组件，通过驱动组件带动两个开盒臂内的螺纹杆同步转动，进行夹头位置的调节。
[0007]优选地，本专利技术的驱动组件包括转轴，转轴沿垂直于螺纹杆的方向设置，转轴的两端通过锥齿轮组与螺纹杆配合连接，转轴通过可离合的齿轮副与同步驱动机构的转动部相配合，齿轮副的其中一个齿轮固定在同步驱动机构的转动部上，记为固定齿轮，另一个齿轮滑动设置在转轴上，记为滑动齿轮，转轴上设有与滑动齿轮的内圈配合进行转矩传递的转矩肋条，滑动齿轮沿转矩肋条的方向进行滑动。
[0008]优选地，本专利技术的同步驱动机构包括端部与开盒臂之间固定连接的第二转轴以及带动第二转轴转动的动力源，所述第二转轴与动力源的驱动端相连接，动力源通过第二转轴带动开盒臂转动，进行晶圆盒的开盒操作。
[0009]优选地，本专利技术的夹头靠近晶圆盒的一端转动设有滚轮，在开盒臂转动进行晶圆盒开盒过程中，通过滚轮与晶圆盒的盒盖配合。
[0010]优选地，本专利技术的定位机构包括位于晶圆盒四周的前对位块、后对位块、左对位块和右对位块，所述前对位块位于载台靠近开盒机构的一侧并与载台固定连接，后对位块、左对位块和右对位块均穿设在载台上，下端通过设置在载台底部的联动机构带动同步进行移动。
[0011]优选地，本专利技术的联动机构设置在平行固定在载台底部的支撑底板上，开盒机构固定安装在支撑底板上；所述联动机构包括电机、滚珠丝杠、联动架以及连杆，所述电机轴线方向与前对位块和后对位块的连线方向相同，电机的驱动端与滚珠丝杠的螺杆相连接，联动架与滚珠丝杠的螺母相连接，在电机带动螺杆转动时，联动架沿螺杆的轴线方向前后移动；后对位块设置在联动架背离电机的一端；左对位块和右对位块对称位于联动架的左右两侧，通过连杆与联动架相连接，在左对位块和右对位块的下方设有用于辅助移动的辅助底座。
[0012]优选地，本专利技术的辅助底座包括与联动架的宽度相匹配的第二导向槽，联动架的端部位于第二导向槽内，沿导向槽的方向前后进行滑动；辅助底座还在左对位块和右对位块下方设置滑动导轨，在联动架带动两侧的连杆移动时，与两个连杆对应连接的左对位块和右对位块沿滑动导轨的方向前后进行滑动。
[0013]优选地，本专利技术的后对位块沿滚珠丝杠螺杆的长度方向与联动架上导向杆滑动连接，在导向杆上穿设有伸缩弹簧，伸缩弹簧一端固定在联动架上，另一端与后对位块的端面固定连接，通过伸缩弹簧兼容电机调节的尺寸偏差。
[0014]有益效果：本专利技术所提供的一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置具有如下有益效果：1、本专利技术通过设置在移动机器人的开盒装置在晶圆盒搬运过程中自动实现对晶圆盒开盒操作，提高生产效率，同时避免人工的参与，能够保持产线的清洁，保证生产质量。
[0015]2、本专利技术的开盒装置利用同步驱动机构带动开盒臂转动实现晶圆盒的开盒操作，保持盒盖两侧受力的同步性，配合定位机构能够实现晶圆盒稳定的开启，保证开盒装置工作的可靠性。
[0016]3、本专利技术的通设置在开盒臂内的调节机构带动夹头沿开盒臂的臂长方向进行移动，可以根据不同晶圆盒的规格，调整夹头的位置，保证能够进行晶圆盒盒盖的顺利开启。
[0017]4、本专利技术驱动组件的转轴通过齿轮副与同步驱动机构的转动部之间配合连接，利用滑动齿轮与固定齿轮间的配合，可以实现驱动组件与同步驱动机构之间的连接与断开，在需要进行夹头调节时，进行连接，在进行开盒时，将二者断开即可，无需额外单独设计带动转轴转动的动力源，简化结构，降低移动机器人的负载及开盒的控制难度。
[0018]5、本专利技术夹头在与晶圆盒盒盖配合的一端设置滚轮，在开盒臂转动带动晶圆盒的盒盖打开的过程中，通过滚轮与盒盖之间产生相对的滚动，以降低开盒阻力，同时避免夹头与盒盖之间的滑动摩擦对盒盖造成磨损。
[0019]6、本专利技术定位机构利用设置在载台四个方位的对位块进行晶圆盒的夹持固定，保证开盒过程中，晶圆盒盒体的稳定。
[0020]7、本专利技术定位机构的左对位块和右对位块通过联动机构同步带动进行移动，保证左对位块和右对位块同步移动进行间距的调节，满足不同规格的晶圆盒夹持定位需求。
[0021]8、本专利技术后对位块滑动设置的联动架上，通过电机带动联动架移动时，前、后对位
块之间的间距也会产生变化，同时由于后对位块移动的距离与左对位块移动的距离不一致，无法保证晶圆盒的长宽比与开合装置对位块移动的比例一致，因此增加伸缩弹簧，使后对位块的位置能够进行调整，保证对晶圆盒四周的稳定夹持定位。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍。
[0023]图1为本专利技术晶圆开盒装置整体结构图；图2为本专利技术晶圆盒开合装置拆分结构图；图3为本专利技术开盒臂内部结构图；图4为本专利技术辅助底座结构示意图；其中，1
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载台、2
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开盒机构、3
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定位机构、4
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开盒臂、5
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夹头、6
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同步驱动机构、7
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调节机构、8
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滑块、9
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导向槽、10
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螺纹杆、11
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转轴、12
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锥齿轮组、13
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，其特征在于，包括位于移动机器人上的载台（1）以及位于载台（1）一侧的开盒机构（2），在载台（1）上设有用于进行晶圆盒下部定位固定的定位机构（3）；所述开盒机构（2）包括对称位于定位机构（3）左右两侧的开盒臂（4），开盒臂（4）的内侧设有用于和晶圆盒的盒盖配合的夹头（5），所述开盒臂（4）之间通过同步驱动机构（6）带动同步进行转动，实现晶圆盒的开盒，在开盒臂（4）上设有用于带动夹头（5）沿开盒臂（4）的臂长方向移动的调节机构（7）。2.根据权利要求1所述的一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，其特征在于，所述开盒臂（4）采用中空结构，夹头（5）一端位于开盒臂（4）的外部，另一端伸入开盒臂（4）内部与调节机构（7）的驱动端相连接；在开盒臂（4）上设有用于与夹头（5）滑动调节相配合的导向槽（9）。3.根据权利要求2所述的一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，其特征在于，所述调节机构（7）包括固定在夹头（5）端部的滑块（8），滑块（8）与开盒臂（4）之间滑动连接，在滑块（8）上螺纹穿设有螺纹杆（10），螺纹杆（10）的轴线方向与滑块（8）滑动的方向相一致，在螺纹杆（10）的端部连接有驱动组件，通过驱动组件带动两个开盒臂（4）内的螺纹杆（10）同步转动，进行夹头（5）位置的调节。4.根据权利要求3所述的一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，其特征在于，所述驱动组件包括转轴（11），转轴（11）沿垂直于螺纹杆（10）的方向设置，转轴（11）的两端通过锥齿轮组（12）与螺纹杆（10）配合连接，转轴（11）通过可离合的齿轮副与同步驱动机构（6）的转动部相配合，齿轮副的其中一个齿轮固定在同步驱动机构（6）的转动部上，记为固定齿轮（13），另一个齿轮滑动设置在转轴（11）上，记为滑动齿轮（14），转轴（11）上设有与滑动齿轮（14）的内圈配合进行转矩传递的转矩肋条（15），滑动齿轮（14）沿转矩肋条（15）的方向进行滑动。5.根据权利要求1所述的一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，其特征在于，所述同步驱动机构（6）包括端部与开盒臂（4）之间固定连接的第二转轴（16）以及带动第二转轴（16）转动的动力源（17），所述第二转轴（16）与动力源（17）的驱动端相连接，动力源（17）通过第二转轴（16）带动开盒臂（4）转动，进行晶圆盒的开盒操作。6.根据权利要求1所述的一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，其特征在于，所述夹头（5）靠近晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹旭东，孙俊杰，
申请(专利权)人：江苏道达智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：