静电消除装置和摄像设备生产线制造方法及图纸

本实用新型专利技术具体公开了一种静电消除装置和摄像设备生产线，静电消除装置，包括平台、离子风发生组件和检测组件，平台用于放置产品；离子风发生组件设有进气口、放电针和出气口，进气口与出气口相互连通，放电针用于电离来自进气口的空气并形成离子风，出气口用于将离子风导向平台；检测组件包括相互连接的收集管和检测器，收集管设于出气口上方，检测器用于检测收集管中的离子风。本实用新型专利技术可以有效监控离子风发生组件吹出的离子风是否发生了颗粒污染，降低了被颗粒污染的离子风吹向产品而影响产品质量的可能性，不仅可以提高生产良率及自动化生产效率，还可以降低因产品损伤而造成的经济损失。的经济损失。的经济损失。

【技术实现步骤摘要】
静电消除装置和摄像设备生产线


[0001]本技术涉及粒子检测
，特别涉及一种静电消除装置和摄像设备生产线。

技术介绍

[0002]随着芯片产业的迅速发展，市场对芯片的产能需求不断提高，其中，不仅包括对高产量的需求提高，还有对高质量的需求提高。现有技术中，芯片在加工的过程中经常需要通过离子风进行静电消除。然而，离子风的导气管在长期使用后容易氧化并产生污染颗粒。此外，离子风发生组件内部清洁不彻底也会导致颗粒污染，从而造成离子风也携带颗粒。在进行静电消除时，携带颗粒的离子风吹向芯片容易直接使芯片附着颗粒物，进而影响芯片的生产质量，甚至损伤芯片。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种能够监控离子风是否发生颗粒污染的静电消除装置和摄像设备生产线。
[0004]根据本技术的第一方面，提供一种静电消除装置，包括平台、离子风发生组件和检测组件，所述平台用于放置产品；所述离子风发生组件设有进气口、放电针和出气口，所述进气口与所述出气口相互连通，所述放电针用于电离来自所述进气口的空气并形成离子风，所述出气口用于将离子风导向所述平台；所述检测组件包括相互连接的收集管和检测器，所述收集管设于所述出气口上方，所述检测器用于检测所述收集管中的离子风。
[0005]根据本技术实施例的一种静电消除装置，至少具有如下有益效果：
[0006]本技术实施例通过设置检测组件，将收集管设于离子风发生组件的出气口的上方，收集出气口吹出的离子风，并通过检测器对收集的离子风进行检测，从而可以有效监控离子风发生组件吹出的离子风是否发生了颗粒污染，降低了被颗粒污染的离子风吹向产品而影响产品质量的可能性，不仅可以提高生产良率及自动化生产效率，还可以降低因产品损伤而造成的经济损失。
[0007]根据本技术的一些实施例，所述离子风发生组件设于所述平台上方，所述离子风发生组件包括相互连接的本体和出气管，所述放电针连接于所述本体，所述进气口设于所述本体，所述出气口设于所述出气管，所述出气管朝所述平台弯曲设置，以使所述出气口朝向所述平台。
[0008]根据本技术的一些实施例，所述静电消除装置包括沿所述平台的高度方向延伸的基板，所述检测组件包括固定件，所述检测器连接于所述固定件，所述基板一端连接所述本体，另一端连接所述固定件。
[0009]根据本技术的一些实施例，所述收集管一端连接于所述检测器的下端面，另一端朝所述平台延伸，所述收集管与所述出气口在水平方向间隔设置。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述离子风发生组件包括滤芯，所述滤芯设于所
述本体与所述出气管之间。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述静电消除装置包括真空泵，所述真空泵连接于所述离子风发生组件，以抽吸空气至所述进气口。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述本体设有用于启停所述离子风发生组件的开关组件与用于为所述离子风发生组件供电的电源组件。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述开关组件包括显示灯，所述显示灯能够在所述离子风发生组件启动时开启。
[0014]根据本技术的一些实施例，所述检测组件包括用于展示检测结果的显示器，所述显示器设于所述检测器的周壁。
[0015]根据本技术的第二方面，提供一种摄像设备生产线，包括本技术第一方面公开的静电消除装置。
[0016]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0017]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中：
[0018]图1为本技术的一种静电消除装置实施例的示意图；
[0019]图2为本技术的一种静电消除装置实施例的正视图；
[0020]图3为本技术的一种静电消除装置实施例中离子风发生组件的正视图；
[0021]图4为本技术的一种静电消除装置实施例中检测组件的正视图。
[0022]附图标记：
[0023]静电消除装置1000；
[0024]平台100；产品110；
[0025]离子风发生组件200；进气口210；放电针220；出气口230；本体240；出气管250；
[0026]滤芯260；
[0027]检测组件300；收集管310；开孔311；检测器320；固定件330；显示器340；
[0028]基板400；
[0029]开关组件500；显示灯510。
具体实施方式
[0030]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0031]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、内、外等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0032]在本技术的描述中，如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，
而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0033]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0034]现有技术中，芯片从晶圆上被吸取时，需要使用离子风清除静电，以免产生静电释放而造成芯片电性破损。离子风气管在长期使用后容易氧化，离子风发生装置内部清洁不彻底也会产生颗粒污染，若气源不干净则离子风也会携带颗粒，此时携带颗粒的离子风对着芯片吹容易直接让芯片上附着颗粒物而造成像素缺陷性不良，损伤芯片造成经济损失。
[0035]目前，检测芯片中离子风的粒子通常是使用外置的粒子检测装置，此方法只能在开始生产前对粒子进行检测，无法在生产过程中对粒子进行有效的监控，在生产过程中若离子风存在污染颗粒也会继续生产，等后续发现时已造成大批量不良，并且外置的检测装置本身受环境、设备校准状态等影响，对粒子测量结果也存在一定的影响。
[0036]为此，本技术的一些实施例提出一种静电消除装置1000，具体参照说明书附图的图1
‑
图4所示。
[0037]参照图1和图2所示，在本技术实施例中，静电消除装置1000包括平台100、离子风发生组件200和检测组件300，平台100用于放置产品110；离子风发生组件200设有进气口210、放电针220和出气口230，进气口210与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电消除装置，其特征在于，包括：平台，用于放置产品；离子风发生组件，设有进气口、放电针和出气口，所述进气口与所述出气口相互连通，所述放电针用于电离来自所述进气口的空气并形成离子风，所述出气口用于将离子风导向所述平台；检测组件，包括相互连接的收集管和检测器，所述收集管设于所述出气口上方，所述检测器用于检测所述收集管中的离子风。2.根据权利要求1所述的静电消除装置，其特征在于，所述离子风发生组件设于所述平台上方，所述离子风发生组件包括相互连接的本体和出气管，所述放电针连接于所述本体，所述进气口设于所述本体，所述出气口设于所述出气管，所述出气管朝所述平台弯曲设置，以使所述出气口朝向所述平台。3.根据权利要求2所述的静电消除装置，其特征在于，所述静电消除装置包括沿所述平台的高度方向延伸的基板，所述检测组件包括固定件，所述检测器连接于所述固定件，所述基板一端连接所述本体，另一端连接所述固定件。4.根据权利要求1所述的静电消除装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦广宇，邱小清，陈龙云，李健城，
申请(专利权)人：东莞高伟光学电子有限公司，
类型：新型
国别省市：