一种柔性电极及其制备方法技术

技术编号:38595459 阅读:10 留言:0更新日期:2023-08-26 23:32
本申请公开一种柔性电极及其制备方法,包括:将加强件的一端插入至植入端体中,将加强件的另一端插入至柔性细长体中,其中,植入端体与柔性细长体完全覆盖加强件;再将柔性电极件包覆在柔性细长体的外表面,得到柔性电极,本申请制备的柔性电极具有良好的柔性、延展性和生物相容性,且能够显著减小柔性电极的植入痕迹,不易对人体组织造成伤害,进而有利于缩短脑组织的术后恢复期,同时,该柔性电极可以探测到深部脑区的电极信号,且记录稳定性较高,从而具有较高的应用价值。从而具有较高的应用价值。从而具有较高的应用价值。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性电极及其制备方法


[0001]本申请涉及脑机接口
,特别涉及一种柔性电极及其制备方法。

技术介绍

[0002]脑监测技术,即通过对颅内脑电信号进行采集,并对采集到的脑电信号进行解码,以获取颅内脑功能的真实情况,随着脑监测技术的发展,与脑监测技术密切相关的脑机接口等也备受业界人士的关注。
[0003]一般,针对脑电信号采集的方法主要依靠脑部电极,目前应用比较广泛的脑部电极包括头皮脑电极、皮层脑电极、皮层微电极和深度脑电极,其中,皮层脑电、皮层微电极和深度脑电极均为植入式电极,即,电极的部分结构被置于颅内,以便对颅内的脑电信号进行采集,但是,现有的植入式电极的植入痕迹较大,进而极易造成颅内组织损伤,虽然现有技术中也使用了柔性材料,但在临床上使用的过程中,也会造成不同程度的损伤,进一步地,现有的植入式电极的延展性较差,在植入较深位置时极易被损坏。
[0004]因此,需要一种改进的柔性电极方案,以解决上述现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0005]为了解决现有技术的问题,本申请实施例提供了一种柔性电极及其制备方法的技术方案,其技术方案如下所述:
[0006]一方面,本申请提供了一种柔性电极的制备方法,包括:
[0007]将加强件的一端插入至植入端体中,将所述加强件的另一端插入至柔性细长体中,其中,所述植入端体与所述柔性细长体完全覆盖所述加强件;
[0008]将柔性电极件包覆在所述柔性细长体的外表面,得到柔性电极。
[0009]进一步地,以螺旋缠绕的方式将所述柔性电极件包覆在所述柔性细长体的外表面。
[0010]进一步地,以贴附的方式将所述柔性电极件靠近所述植入端体的一侧包覆在所述柔性细长体的外表面,以螺旋缠绕的方式将远离所述植入端体的一侧包覆在所述柔性细长体的外表面。
[0011]进一步地,所述柔性电极件包括第一采集部、第二采集部和至少一个缓冲部,所述第一采集部和所述第二采集部上均设有电极触点
[0012]进一步地,所述以贴附的方式将所述柔性电极件靠近所述植入端体的一侧包覆在所述柔性细长体的外表面,包括:
[0013]将所述柔性细长体和所述柔性电极件依次浸入高分子溶液中;
[0014]垂直取出所述柔性细长体,以使得所述柔性电极件贴附在所述柔性细长体的外表面。
[0015]进一步地,在所述将柔性电极件包覆在所述柔性细长体的外表面,得到柔性电极之前,所述方法还包括:
[0016]制备所述柔性电极件,具体为:
[0017]提供硅晶圆;
[0018]对所述硅晶圆进行金属薄膜沉积,在所述硅片晶圆上形成金属薄膜层;
[0019]对所述金属薄膜层远离所述硅晶圆的一侧旋涂有机高分子材料,得到第一绝缘层;
[0020]对所述第一绝缘层远离所述金属薄膜层的一侧进行金属薄膜沉积,得到金属粘合层;
[0021]对所述金属粘合层远离所述第一绝缘层的一侧进行金属薄膜沉积,得到金属层,并对所述金属层进行图形化处理,得到所述电极触点、电极导丝和微电极焊盘;
[0022]对所述电极触点和所述电极导丝远离所述金属粘合层的一侧旋涂有机高分子材料,得到第二绝缘层,并对所述第二绝缘层上与所述电极触点相对应的区域进行刻蚀处理,以使所述电极触点暴露;
[0023]刻蚀去除所述金属薄膜层和所述硅晶圆,得到所述柔性电极件。
[0024]另一方面,本申请还提供了一种柔性电极,包括:电极结构和电连接结构;
[0025]所述电极结构包括柔性细长体和柔性电极件,所述柔性细长体的外表面设有所述柔性电极件,所述柔性电极件的一端与所述电连接结构连接。
[0026]进一步地,所述柔性电极件包括电极触点和电极导丝,所述电极触点通过所述电极导丝与所述电连接结构连接。
[0027]进一步地,所述柔性电极件包括第一端、第二端和位于第一端与第二端之间的至少一个缓冲部,所述缓冲部的长度可变。
[0028]进一步地,所述柔性细长体包括植入端和与所述植入端相对的连接端,所述植入端设有植入端体,所述植入端体沿远离所述连接端的方向逐渐变小。
[0029]进一步地,所述柔性电极件包括第一采集部和第二采集部,所述第一采集部和所述第二采集部均位于所述第一端与所述第二端之间,所述第一采集部和所述第二采集部均包括电极触点,所述第一采集部为圆锥状。
[0030]进一步地,所述第一采集部位于所述植入端体的外侧。
[0031]进一步地,所述柔性电极件包括多个电极触点,多个所述电极触点沿所述柔性电极件的长度方向排列在所述柔性电极件上。
[0032]进一步地,所述电极结构包括加强件,所述柔性细长体的植入端包括容纳部,所述加强件设于所述容纳部内。
[0033]本申请提供的一种柔性电极及其制备方法,具有如下技术效果:
[0034]1、本申请通过在柔性细长体的外表面设置柔性电极件,以便显著减小柔性电极的植入痕迹,不易对脑组织造成伤害,进而有利于缩短脑组织的术后恢复期。
[0035]2、本申请提供的柔性电极可以探测到深部脑区的电极信号,且记录稳定性较高,从而具有较高的应用价值。
[0036]3、本申请通过在柔性电极件的第一端与第二端之间设置至少一个缓冲部,以便进一步提高柔性电极的柔性、延展性和生物相容性,进而可显著减少柔性电极在植入时对脑组织的损伤。
[0037]4、本申请通过在柔性细长体的植入端设置植入端体,且该植入端体沿远离柔性细
长体的连接端的方向逐渐变小,以便提高植入效率。
[0038]5、本申请通过将柔性电极件的第一采集部设置为圆锥状,且将第一采集部设于植入端体的外侧,以便进一步减少柔性电极的植入痕迹,且能够获得更强和更稳定的电极信号。
[0039]6、本申请中的柔性电极的制备流程较为便捷简单,进而提高了制造柔性电极的良品率,进而减少了生产成本。
附图说明
[0040]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0041]图1为本申请实施例提供的一种柔性电极的制备方法的流程示意图;
[0042]图2为本申请实施例提供的一种柔性电极的结构示意图;
[0043]图3为本申请实施例提供的另一种柔性电极的结构示意图;
[0044]图4为本申请实施例提供的柔性电极呈弯曲状的结构示意图;
[0045]图5为本申请实施例提供的柔性电极件绕柔性细长体的外表面缠绕前的结构示意图;
[0046]图6为本申请实施例提供的柔性电极件缠绕在柔性细长体的外表面后的局部放大图;
[0047]图7为本申请实施例提供的柔性电极件的结构示意图;
[0048]图8为本申请实施例提供的另一种柔性电极件本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性电极的制备方法,其特征在于,包括:将加强件(13)的一端插入至植入端体(14)中,将所述加强件(13)的另一端插入至柔性细长体(11)中,其中,所述植入端体(14)与所述柔性细长体(11)完全覆盖所述加强件(13);将柔性电极件(12)包覆在所述柔性细长体(11)的外表面,得到柔性电极。2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,以螺旋缠绕的方式将所述柔性电极件(12)包覆在所述柔性细长体(11)的外表面。3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,以贴附的方式将所述柔性电极件(12)靠近所述植入端体(14)的一侧包覆在所述柔性细长体(11)的外表面,以螺旋缠绕的方式将远离所述植入端体(14)的一侧包覆在所述柔性细长体(11)的外表面。4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述柔性电极件(12)包括第一采集部(126)、第二采集部(125)和至少一个缓冲部,所述第一采集部(126)和所述第二采集部(125)上均设有电极触点(121)。5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述以贴附的方式将所述柔性电极件(12)靠近所述植入端体(14)的一侧包覆在所述柔性细长体(11)的外表面,包括:将所述柔性细长体(11)和所述柔性电极件(12)依次浸入高分子溶液中;垂直取出所述柔性细长体(11),以使得所述柔性电极件(12)贴附在所述柔性细长体(11)的外表面。6.根据权利要求2或5所述的制备方法,其特征在于,在所述将柔性电极件(12)包覆在所述柔性细长体(11)的外表面,得到柔性电极之前,所述方法还包括:制备所述柔性电极件(12),具体为:提供硅晶圆;对所述硅晶圆进行金属薄膜沉积,在所述硅片晶圆上形成金属薄膜层;对所述金属薄膜层远离所述硅晶圆的一侧旋涂有机高分子材料,得到第一绝缘层;对所述第一绝缘层远离所述金属薄膜层的一侧进行金属薄膜沉积,得到金属粘合层;对所述金属粘合层远离所述第一绝缘层的一侧进行金属薄膜沉积,得到金属层,并对所述金属层进行图形化处理,得到所述电极触点(121)、电极导丝和微电极焊盘;对所述电极触点(121)和所述电极导丝远离所述金属粘合层的一侧旋涂有机高分子材料,得到第...

【专利技术属性】
技术研发人员:潘景浩彭雷谭正
申请(专利权)人:上海脑虎科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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