【技术实现步骤摘要】
一种双通道氢气传感器、制备方法及检测方法
[0001]本申请涉及氢气传感器技术的领域，尤其是涉及一种双通道氢气传感器、制备方法及检测方法。
技术介绍
[0002]氢气由于其燃烧效率高、产物无污染等优点，与太阳能、核能一起被称为三大新能源，在航空、动力等领域得到广泛的应用。
[0003]相关技术中，氢气在生产、储存、运输和使用的过程中易发生泄露，通过利用氢气传感器对氢气的含量进行检测并对氢气的泄露进行监测，现有的氢气传感器包括半导体型传感器、热电型传感器、光纤穿感器和钯合金薄膜氢气传感器。
[0004]针对上述中的相关技术，现有的氢气传感器的重点在于如何提升氢气的检测精度、响应时间和产品的耐久性，因此氢气传感器仅采用一种技术原理进行氢气的检测，而在出现共因失效问题时，单一技术原理的氢气传感器通常会检测错误，导致氢气传感器的安全等级低，还有改进的空间。
技术实现思路
[0005]为了提高氢气传感器的安全等级，本申请提供一种双通道氢气传感器、制备方法及检测方法。
[0006]第一方面，本申请...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种双通道氢气传感器，其特征在于，包括：检测基体(1)，所述检测基体(1)包括检测柱(11)、固定盘(12)以及用于检测氢气的热阻温度检测单元(13)和氢敏电阻检测单元(14)，所述检测柱(11)一体设置于固定盘(12)上，所述热阻温度检测单元(13)和氢敏电阻检测单元(14)依次沿长度方向设置于检测柱(11)上；检测腔(2)，所述检测腔(2)包括固定筒(21)和采集罩(22)，所述采集罩(22)上开设有用于采集氢气的采集口(221)，所述固定筒(21)一体设置于采集罩(22)远离采集口(221)的一侧，所述固定筒(21)上开设有供检测柱(11)穿设进入采集罩(22)内的穿设孔(211)，所述固定盘(12)上开设有供固定筒(21)插入并固定的固定槽(121)。2.根据权利要求1所述的一种双通道氢气传感器，其特征在于，所述热阻温度检测单元(13)包括热阻金属薄膜(131)和第一检测组件；所述热阻金属薄膜(131)和第一检测组件电连接，所述热阻金属薄膜(131)与氢气接触输出电流信号，所述第一检测组件接收电流信号以输出氢气泄露信号和氢气浓度信号，且所述热阻金属薄膜(131)接收电流信号自发热以维持热阻金属薄膜(131)的热量损失平衡。3.根据权利要求2所述的一种双通道氢气传感器，其特征在于，所述氢敏电阻检测单元(14)包括氢敏电阻薄膜(141)和第二检测组件；所述氢敏电阻薄膜(141)和第二检测组件电连接，所述氢敏电阻薄膜(141)与氢气接触输出电流信号，所述第二检测组件接收电流信号以输出氢气泄露信号和氢气浓度信号，且所述氢敏电阻薄膜(141)接收电流信号自发热以维持氢敏金属薄膜的热量损失平衡。4.根据权利要求3所述的一种双通道氢气传感器，其特征在于，所述氢敏电阻薄膜(141)和热阻金属薄膜(131)外侧覆盖有用于平衡温度的保护膜。5.一种制备方法，制备如权利要求1
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4任一种双通道氢气传感器，其特征在于，包括：选择二氧化锆陶瓷制作检测柱(11)和固定盘(12)，并进行检测柱(11)和固定盘(12)的研磨抛光；在检测柱(11)和固定盘(12)上磁控溅射五氧化二钽以形成过渡层；在过渡层上磁控溅射镍合金以形成镍合金热阻金属薄膜层，在过渡层上磁控溅射钯合金以形成钯合金氢敏电阻薄膜层；在镍合金热阻金属薄膜层和钯合金氢敏电阻薄膜层上进行光刻胶涂敷与电路显影；在光刻胶上使用离子束蚀刻，以形成热阻金属薄膜(131)和氢敏电阻薄膜(141)；在热阻金属薄膜(131)和氢敏电阻薄膜(141)上涂敷陶瓷浆料，以600摄氏度烘烤2小时，以形成保护膜；将第一检测组件与热阻金属薄膜(131)电连接，将第二检测组件与氢敏电阻薄膜电连接；选择二氧化硅陶瓷制作检测腔(2)，使用时在采集罩(22)上垫加过滤材料，并使用高温密封胶连接固定盘(12)和固定筒(21)。6.一种检测方法，应用如权利要求1
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4中任一种双通道氢气传感器，其特征在于，包括：获取当前检测信息；对检测信息与预设的基准检测信息进行对比，以继续获取检测信息或指示双通道氢气敏感组件进行氢气检测；
基于指示双通道氢气敏感组件进行氢气检测，获取热阻温度检测单元(13)的当前热阻检测结果，并获取氢敏电阻检测单元(14)的氢敏检测结果；对热阻检测结果与氢敏检测结果进行对比，以输出当前校验信息或根据热阻检测结果和氢敏检测结果以确定当前综合检测结果；基于校验信息，指示校验热阻...
【专利技术属性】
技术研发人员：金杰，陈磊，徐建涛，
申请(专利权)人：浙江朗德电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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