一种加速度计灵敏度标定方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种加速度计灵敏度标定方法及装置，属于精密测量领域，标定装置包括：屏蔽罩、精密角度测量仪、精密位移调节台、位移调节质量块、隔振地基和倾斜补偿摆台；屏蔽罩为减弱气流、电磁场或者温度干扰的容器；待测加速度计为测量直线加速度的仪器；精密位移调节台和位移调节质量块的组合体，实现倾斜补偿摆台的平台俯仰角与翻滚角亚μrad至μrad量级角度调节，用于提供亚μg至μg量级的加速度标定信号；精密角度测量仪用于不间断监测倾斜补偿摆台俯仰角与翻滚角的角度变化；倾斜补偿摆台用于隔离频率在0.001Hz～1Hz频带的地面震动噪声传递至待测加速度计。减少地面震动对加速度计标定的影响。速度计标定的影响。速度计标定的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种加速度计灵敏度标定方法及装置


[0001]本专利技术属于精密测量领域，更具体地，涉及一种加速度计灵敏度标定方法及装置。

技术介绍

[0002]高精度加速度计在空间引力实验和卫星重力测量等领域有重要应用意义。卫星重力测量需要搭载高精度加速度计测量航天器受到的非保守力，加速度计测量数据对于重力场反演和大气模型研究有重要意义，并且其灵敏度系数的不确定度会直接影响重力场恢复的精度以及大气模型计算精度等研究。卫星重力测量中加速度计的分辨率至少需达到10
‑
10
m/s2/Hz
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量级。在地面对该类仪器进行灵敏度系数的标定的精度要求越来越高，由于地脉动噪声一般在10
‑7～10
‑8m/s2/Hz
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量级，远超目前及将来的高精度加速度计的测试分辨率需求，在地面直接开展高精度加速度计的灵敏度系数标定是难以满足需求的，因此必须发展新的灵敏度标定方法以满足高精度加速度计未来的设计和验证需求。
[0003]目前高精度加速度计灵敏度系数的评估方法主要有两种：一种是将高精本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加速度计灵敏度标定装置，其特征在于，包括：屏蔽罩、精密角度测量仪、精密位移调节台、位移调节质量块、隔振地基和倾斜补偿摆台；所述待测加速度计、精密角速度测量仪和精密位移调节台安装在所述倾斜补偿摆台上；所述位移调节质量块放置于所述精密位移调节台上；所述倾斜补偿摆台与所述屏蔽罩安装在表面水平的所述隔振地基上，并且所述屏蔽罩将倾斜补偿摆台完全罩在内部；所述精密角度测量仪、待测加速度计和精密位移调节台均使用蓄电池和无线通信模块分别实现供电和与外部PC端数据监测软件的通信；所述屏蔽罩为减弱气流、电磁场或者温度干扰的容器；待测加速度计为测量直线加速度的仪器；所述精密位移调节台和位移调节质量块的组合体，用于通过亚毫米至亚米级位移台行程、g至亚kg级质量块质量，分别实现倾斜补偿摆台的平台俯仰角与翻滚角亚μrad至μrad量级角度调节，用于提供亚μg至μg量级的加速度标定信号；所述精密角度测量仪用于不间断监测倾斜补偿摆台俯仰角与翻滚角的角度数据；所述倾斜补偿摆台用于隔离频率在0.001Hz～1Hz频带的地面震动噪声传递至待测加速度计。2.根据权利要求1所述的加速度计灵敏度标定装置，其特征在于，所述精密角度测量仪的角度测量分辨率达到nrad/Hz
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水平、量程范围大于1000μrad。3.根据权利要求1所述的加速度计灵敏度标定装置，其特征在于，待测加速度计为MEMS加速度计、簧片加速度计和静电悬浮加速度计。4.根据权利要求1至3任一所述的加速度计灵敏度标定装置，其特征在于，所述倾斜补偿摆台包括平台、配平质量块、刚性连杆、悬挂框架和悬挂铰链；所述悬挂铰链两端分别与所述悬挂框架和数个刚性连杆固连；所述刚性连杆另一端与平台固连；任意两个刚性连杆与平台构建为三角形形状，数个刚性连杆和悬挂铰链共同用...

【专利技术属性】
技术研发人员：屈少波，刘智浩，白彦峥，周泽兵，刘力，梅斌，马铖，吴焓，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：