一种纳米粉末的制备设备以及制备方法技术

本发明专利技术揭示了的一种纳米粉末的制备设备，包括：高温蒸发器；连通于高温蒸发器的粒度控制器；设于粒度控制器外的冷却水循环系统；连通于粒度控制器的收集器；分别连接于收集器、粒度控制器以及高温蒸发器的气体循环系统；本发明专利技术还揭示了一种纳米粉末的制备方法。本申请通过高温蒸发器、粒度控制器以及收集器构成用于制备纳米粉末的反应系统，依次通过对反应系统抽真空、高温蒸发器加热原料、收集器收集制成的纳米粉末，其中，通过冷却水循环系统与气体循环系统控制反应系统内的热量。如此，利用大规模工业化生产的方式一次制成纳米粉末，在保证纳米粉末的品质与产量的同时有效地减少了制备成本。了制备成本。了制备成本。

【技术实现步骤摘要】
一种纳米粉末的制备设备以及制备方法


[0001]本专利技术涉及纳米粉末生产的
，具体地，主要涉及一种纳米粉末的制备设备以及制备方法。

技术介绍

[0002]纳米粉末又称为超微粉或超细粉，一般指粒度在100纳米以下的粉末或颗粒，是一种介于原子、分子与宏观物体之间处于中间物态的固体颗粒材料。例如，氮化铝粉末是良好的耐热冲击材料，也是电绝缘体，被广泛应用于大规模集成电路生产领域；氮化硅粉末硬度大、耐磨损，且还能抵抗冷热冲击，常用于制造轴承、机械密封环等机械构件；而纳米硅粉表面活性高，松装密度低，常广泛应用于微电子、电极材料及太阳能电池等领域的半导体材料。
[0003]相关技术中，制备氮化铝粉末的方法通常有铝粉直接氮化法、碳热还原法，化学气相沉积法和自蔓延法。铝粉直接氮化法由于氮化反应为强烈的放热反应，反应过程难以控制，产品质量不稳定；碳热还原法需要第二次除碳工艺，制备成本高；化学气相沉积法制得的纯度很高，但是反应副产物对设备腐蚀相当的严重；自蔓延法存在产物纯度低，反应过程难以控制等缺点。制备氮化硅粉末的方法通常有硅粉直接氮化法、碳热还原本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纳米粉末的制备设备，其特征在于，包括：高温蒸发器；连通于所述高温蒸发器的粒度控制器；设于所述粒度控制器外的冷却水循环系统；连通于所述粒度控制器的收集器；分别连接于所述收集器、所述粒度控制器以及所述高温蒸发器的气体循环系统。2.根据权利要求1所述的纳米粉末的制备设备，其特征在于，所述高温蒸发器包括反应炉体、等离子枪以及等离子电源，所述等离子枪设于所述反应炉体上，所述等离子枪与所述等离子电源电性连接，所述反应炉体、所述等离子枪以及所述等离子电源通电后形成导电回路。3.根据权利要求1
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2任一项所述的纳米粉末的制备设备，其特征在于，还包括：热交换器，所述热交换器设于所述粒度控制器与所述收集器之间。4.根据权利要求1
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3任一项所述的纳米粉末的制备设备，其特征在于，还包括：循环风机，所述循环风机设于所述收集器与所述气体循环系统之间。5.根据权利要求4所述的纳米粉末的制备设备，其特征在于，所述收集器包括旋风收集器与滤芯收集器，所述旋风收集器的其中一端连接于所述热交换器，所述滤芯收集器的其中一端连接于所述旋风收集器的另一端，所述滤芯收集器的另一端连接于所述循环风机。6.一种应用于权利要求1
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5任一项所述的制备设备制备氮化铝粉末的制备方法，其特征在于，包括：S1、将铝原料加料至所述高温蒸发器内；S2、对反应系统抽真空后充入氮气，使得反应系统内的环境为惰性气体环境；S3、向所述高温蒸发器中...

【专利技术属性】
技术研发人员：李剑，贺平，曾毅，
申请(专利权)人：深圳硕景半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：