冷凝水估算方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种冷凝水估算方法、装置、电子设备及存储介质，涉及半导体技术领域，该方法包括：获取管道中第一截面设置的温度传感器采集的第一温度值和湿度传感器采集的第一湿度值，以及管道外部设置的温度传感器采集的第二温度值；基于第一温度值和第二温度值，确定管道中至少一个目标截面分别对应的目标温度值；基于第一温度值、第一湿度值和各目标温度值，估算目标冷凝水量。通过第一温度值和第二温度值，可以确定管道中任意截面的目标温度值，进而通过第一温度值、第一湿度值和各目标温度值，可以估算管道中任意区段之间的冷凝水量，实现了任意区段的冷凝水量的估算，提升了冷凝水量的估算精度。冷凝水量的估算精度。冷凝水量的估算精度。

【技术实现步骤摘要】
冷凝水估算方法、装置、电子设备及存储介质


[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种冷凝水估算方法、装置、电子设备及存储介质。

技术介绍

[0002]半导体废气处理设备通过化学物理反应对工艺气体进行处理，包括燃烧和水洗等工艺流程，半导体废气处理设备排出的气体具有温度较高和湿度较大的特点。半导体废气处理设备使用环境(即半导体厂务环境)为恒温稳定环境，温度一般稳定在25℃。因此，与半导体废气处理设备连接的管道的温度均接近25℃。
[0003]温度较高和湿度较大的气体流经温度较低的管道会形成冷凝水。冷凝水经过管道会流入管道连接的设备中，而过量的冷凝水可能导致设备故障，因此，如何对冷凝水量进行估算是亟需解决的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种冷凝水估算方法、装置、电子设备及存储介质，用以解决如何对冷凝水量进行估算的问题。
[0005]本专利技术提供一种冷凝水估算方法，包括：
[0006]获取管道中第一截面设置的温度传感器采集的第一温度值和湿度传感器采集的第一湿度值，以及所述管道外部设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种冷凝水估算方法，其特征在于，包括：获取管道中第一截面设置的温度传感器采集的第一温度值和湿度传感器采集的第一湿度值，以及所述管道外部设置的温度传感器采集的第二温度值；基于所述第一温度值和所述第二温度值，确定所述管道中至少一个目标截面分别对应的目标温度值；其中，在所述管道中位置靠后的目标截面对应的目标温度值是基于位置靠前的目标截面对应的目标温度值和所述第二温度值确定的；基于所述第一温度值、所述第一湿度值和各所述目标温度值，估算目标冷凝水量。2.根据权利要求1所述的冷凝水估算方法，其特征在于，所述基于所述第一温度值和所述第二温度值，确定管道中至少一个目标截面分别对应的目标温度值，包括：建立至少一个管道流体域模型；所述管道流体域模型是基于所述第一截面、所述目标截面、以及所述第一截面与所述目标截面之间管道的内表面围成的封闭区域确定的；基于所述第一温度值、所述第二温度值和各所述管道流体域模型，确定各所述管道流体域模型对应的对流换热量；基于各所述对流换热量和所述第一温度值，确定管道中至少一个目标截面分别对应的目标温度值。3.根据权利要求2所述的冷凝水估算方法，其特征在于，所述基于各所述对流换热量和所述第一温度值，确定管道中至少一个目标截面分别对应的目标温度值，包括：基于各所述对流换热量和第一关系，确定所述管道中至少一个目标截面分别对应的温度变化量；所述第一关系表示对流换热量与温度变化量之间的关系；基于各所述温度变化量和所述第一温度值，确定各所述目标截面分别对应的目标温度值。4.根据权利要求1所述的冷凝水估算方法，其特征在于，所述基于所述第一温度值、所述第一湿度值和各所述目标温度值，估算目标冷凝水量，包括：基于所述第一温度值、所述第一湿度值和各所述目标温度值，分别确定所述第一截面对应的第一含湿量和各所述目标截面对应...

【专利技术属性】
技术研发人员：李轩，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：