一种单晶硅在线连续检测装置及使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种单晶硅在线连续检测装置及使用方法，其包括红外线发射器，设置于自动流水线传送带的一侧，用于释放红外线光束；第一反射面，设置于自动流水线传送带的另一侧，并与流水面呈夹角设置；第二反射面，设置于第一反射面的下侧，并与流水面呈夹角设置；红外线接收器，设置于红外线发射器远离第二反射面的一侧，用于接收第二反射面反射后的红外线光束，并分析得到单晶硅片的氧碳含量。本发明专利技术降低了人工成本和时间成本，提高检测效率；并且由于极大程度地减少了人为操作步骤，从而提高了检测数据的稳定性和准确性。高了检测数据的稳定性和准确性。高了检测数据的稳定性和准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅在线连续检测装置及使用方法


[0001]本专利技术属于单晶硅检测
，具体涉及一种单晶硅在线连续检测装置及使用方法。

技术介绍

[0002]目前大规模单晶硅生产中，单晶硅氧、碳含量是通过红外线检测法(FTIR)对单个样品进行非连续性检测，具体步骤包括：1、将单晶硅棒切圆片取样；2、去除样品表面杂物；3、在圆片中心部位裁取与检测仪载物台相匹配的长方形片；4、将长方形样品片夹持在载物台上；5、将载物台连同样品竖直放入检测室进行检测。
[0003]此种检测方式决定了测试样品首先要在尺寸上与FTIR设备载物台匹配；其次，样品的检测只能是非连续加载，不仅增加了人工成本和时间成本，降低检测效率，而且检测数据的重复性和准确性也会因为人为操作引入波动和误差，在智能工厂大势所趋之下，现有这种离线、非连续的单晶硅氧碳检测技术无法适应智能工厂的要求。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本专利技术采取了如下技术方案：
[0005]一种单晶硅在线连续检测装置，包括：
[0006]红外线发射器，设置于自动流水本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅在线连续检测装置，其特征在于，包括：红外线发射器，设置于自动流水线传送带的一侧，用于释放红外线光束；与流水面呈夹角设置的第一反射面和第二反射面，所述第一反射面和第二反射面设置于所述传送带的另一侧，并分别位于所述传送带的上下两侧；所述传送带上设置有多个通孔，用于单晶硅片固定；红外线接收器，设置于所述红外线发射器的同侧；其中，所述传送带将单晶硅片有序地移动到所述第一反射面的下方；所述红外线发射器释放的红外线光束经过第一反射面后穿过所述单晶硅片，并经第二反射面反射后折回并射入至所述红外线接收器，所述红外线接收器接收所述第二反射面反射后的红外线光束，并分析得到单晶硅片的氧碳含量。2.根据权利要求1所述的单晶硅在线连续检测装置，其特征在于，所述第一反射面通过第一固定支架固定于传送带的框架上侧。3.根据权利要求2所述的单晶硅在线连续检测装置，其特征在于，所述第一反射面与流水面呈45
°
夹角，用于接收红外线发射器发射的红外线光束，并将水平光束反射为竖直光束。4.根据权利要求3所述的单晶硅在线连续检测装置，其特征在于，所述第二反射面通过第二固定支架固定于传送带的框架的下侧。5.根据权利要求4所述的单晶硅在线连续检测装置，其特征在于，所述第二反射面与流水面呈45
°...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵龙，王兆峰，马文会，万小涵，
申请(专利权)人：昆明理工大学，
类型：发明
国别省市：