一种用于解胶的UVLED光源制造技术

技术编号:38523547 阅读:11 留言:0更新日期:2023-08-19 17:01
本实用新型专利技术公开了一种用于解胶的UVLED光源,涉及UV解胶技术领域。本实用新型专利技术主要包括:解胶箱,解胶箱的内部开设有解胶腔,解胶箱的顶部开设有与解胶腔相连通的通口,解胶箱的顶部安装有装置架,装置架上竖直向滑动安装有盖板,盖板的底部安装有UVLED光源;承载板,活动设置在解胶腔的内部,承载板用于承载固定胶膜;控制件,设置在解胶腔的内部,控制件用于控制承载板做往复直线运动。本实用新型专利技术在使用时,将固定胶膜置于承载板上,接着滑动盖板,使盖板盖设在解胶箱的顶部,装置块插设在通口内,打开UVLED光源,同时打开控制件,控制承载板做往复直线运动,能够使UVLED光源发射出的光线更均匀的照射在固定胶膜上,进行解胶,解胶效果更好。胶效果更好。胶效果更好。

【技术实现步骤摘要】
一种用于解胶的UVLED光源


[0001]本技术涉及UV解胶
,具体涉及一种用于解胶的UVLED光源。

技术介绍

[0002]在半导体芯片生产工艺中,芯片划片之前,要将晶圆片用划片胶膜固定在框架上,在划片工艺完成后,用UV光对固定胶膜进行照射,以降低划片固定膜的粘性,以便后续封装工序的顺利生产。
[0003]公开(公告)号为CN214898348U的中国公开专利公开了一种晶圆解胶装置,涉及晶圆解胶
,具体为一种晶圆解胶装置,包括解胶光源主箱,所述解胶光源主箱的上方开设有解胶腔,所述解胶腔的周边开设有气囊槽,所述气囊槽的周边开设有电磁槽,所述气囊槽的内部设置有橡胶气囊,所述电磁槽的内部固定连接有电磁铁,所述解胶光源主箱的一侧固定连接有解胶控制箱,所述解胶光源主箱的上方铰接有解胶盖,所述解胶盖的上方固定连接有加强框。通过解胶盖和照明光源总成的配合设置,使该晶圆解胶装置具备了解胶腔内光源充足且不晃眼的效果,通过橡胶气囊、电磁铁、解胶盖和永久磁铁片的配合设置,使该晶圆解胶装置具备了解胶盖的重量轻且密封性好的效果。
[0004]该专利文件通过解胶盖和照明光源总成的配合设置,使该晶圆解胶装置具备了解胶腔内光源充足且不晃眼的效果,但是光源照射不均匀,光强衰减快,解胶效果不佳。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于:为解决上述
技术介绍
中所提出的问题,本技术提供了一种用于解胶的UVLED光源。
[0006]本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案:
[0007]一种用于解胶的UVLED光源,包括:
[0008]解胶箱,所述解胶箱的内部开设有解胶腔,所述解胶箱的顶部开设有与所述解胶腔相连通的通口,所述解胶箱的顶部安装有装置架,所述装置架上竖直向滑动安装有盖板,所述盖板的底部安装有与所述通口相对应的装置块,所述装置块的底部设置有若干个UVLED光源;
[0009]承载板,活动设置在所述解胶腔的内部,所述承载板用于承载固定胶膜;
[0010]控制件,设置在所述解胶腔的内部,所述控制件用于控制所述承载板做往复直线运动。
[0011]优选的,所述控制件包括滑动在所述解胶腔内壁上的移动板,所述承载板安装在所述移动板的顶部,所述移动板的底部沿所述移动板的长度方向开设有滑槽,所述解胶腔的内部转动安装有水平向设置的转盘,所述转盘的顶部偏心安装有活动设置在所述滑槽内部的滑块,所述解胶箱的内部设置有输出端与所述转盘圆心固定的电机。
[0012]优选的,所述滑块包括固定在所述转盘上的连接杆,所述连接杆的端部转动安装有活动安装在所述滑槽内部的转动杆。
[0013]优选的,所述解胶腔相对的两内壁上均开设有水平向的连接槽,所述移动板的两端分别滑动在两个所述连接槽的内部。
[0014]优选的,所述装置架上安装有竖直向的电动推杆,所述电动推杆的底端与所述盖板固定。
[0015]优选的,所述装置块的底部安装有凸透镜。
[0016]有限的,所述盖板的底部安装有直径大于所述装置块的橡胶垫。
[0017]有益效果:
[0018]本技术在使用时,将固定胶膜通过通口放入解胶腔的内部,并置于承载板上,接着滑动盖板,使盖板盖设在解胶箱的顶部,装置块插设在通口内,打开UVLED光源,对固定胶膜进行照射,最后打开控制件,控制承载板做往复直线运动,能够使UVLED光源发射出的光线更均匀的照射在固定胶膜上,进行解胶,解胶效果更好。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本技术的立体结构示意图;
[0021]图2为本技术图1的立体剖视图;
[0022]图3为本技术图1中部分结构的爆炸视图。
[0023]图1

图3中:
[0024]1、解胶箱;2、承载板;3、控制件;11、解胶腔;12、通口;13、装置架;14、盖板;15、装置块;16、连接槽;17、电动推杆;18、凸透镜;19、橡胶垫;31、移动板;32、滑槽;33、转盘;34、滑块;35、电机;341、连接杆;342、转动杆。
具体实施方式
[0025]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0026]本具体实施例提供的一种用于解胶的UVLED光源,请参阅图1

图3;主要包括:解胶箱1,解胶箱1的内部开设有解胶腔11,解胶箱1的顶部开设有与解胶腔11相连通的通口12,解胶箱1的顶部安装有装置架13,装置架13上竖直向滑动安装有盖板14,盖板14的底部安装有与通口12相对应的装置块15,装置块15的底部设置有若干个UVLED光源,装置架13上安装有竖直向的电动推杆17,电动推杆17的底端与盖板14固定;承载板2,活动设置在解胶腔11的内部,承载板2用于承载固定胶膜;控制件3,设置在解胶腔11的内部,控制件3用于控制承载板2做往复直线运动,在使用时,将固定胶膜通过通口12放置在承载板2上,电动推杆17控制盖板14下降,与解胶箱1的顶部贴合,装置块15插入通口12的内部,打开UVLED光源,对固定胶膜进行照射解胶,同时启动控制件3,控制承载板2做往复直线运动,能够使固定胶膜接收到的光线更加均匀,解胶效果更好。
[0027]在本实施例中,请参阅图2和图3,控制件3包括滑动在解胶腔11内壁上的移动板
31,承载板2安装在移动板31的顶部,移动板31的底部沿移动板31的长度方向开设有滑槽32,解胶腔11的内部转动安装有水平向设置的转盘33,转盘33的顶部偏心安装有活动设置在滑槽32内部的滑块34,解胶箱1的内部设置有输出端与转盘33圆心固定的电机35,电机35驱动转盘33转动,转盘33上的滑块34在移动板31上的滑槽32内部往复滑动,会带动移动板31做往复直线运动,从而提高承载板2上固定胶膜的解胶效果;滑块34包括固定在转盘33上的连接杆341,连接杆341的端部转动安装有活动安装在滑槽32内部的转动杆342,转动杆342能够转动,能够减小与滑槽32之间的摩擦力,提高使用寿命;解胶腔11相对的两内壁上均开设有水平向的连接槽16,移动板31的两端分别滑动在两个连接槽16的内部,连接槽16能够为移动板31的运动轨迹进行导向。
[0028]进一步地,请参阅图2,装置块15的底部安装有凸透镜18,凸透镜18能够对若干个UVLED光源发出的光进行聚焦,提高光照强度,提高解胶效率。
[0029]更加进一步地,请参阅图2,盖板14的底部安装有直径大于装置块15的橡胶垫19,橡胶垫19与解胶箱1的本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于解胶的UVLED光源,其特征在于,包括解胶箱(1),所述解胶箱(1)的内部开设有解胶腔(11),所述解胶箱(1)的顶部开设有与所述解胶腔(11)相连通的通口(12),所述解胶箱(1)的顶部安装有装置架(13),所述装置架(13)上竖直向滑动安装有盖板(14),所述盖板(14)的底部安装有与所述通口(12)相对应的装置块(15),所述装置块(15)的底部设置有若干个UVLED光源;承载板(2),活动设置在所述解胶腔(11)的内部,所述承载板(2)用于承载固定胶膜;控制件(3),设置在所述解胶腔(11)的内部,所述控制件(3)用于控制所述承载板(2)做往复直线运动。2.根据权利要求1所述的一种用于解胶的UVLED光源,其特征在于,所述控制件(3)包括滑动在所述解胶腔(11)内壁上的移动板(31),所述承载板(2)安装在所述移动板(31)的顶部,所述移动板(31)的底部沿所述移动板(31)的长度方向开设有滑槽(32),所述解胶腔(11)的内部转动安装有水平向设置的转盘(33),所述转盘(33)的顶部偏心安装有活动设置在所述滑槽...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭磊
申请(专利权)人:昆山仕优威电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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