一种导电薄膜方阻检测装置制造方法及图纸

技术编号:38520628 阅读:37 留言:0更新日期:2023-08-19 17:00
本实用新型专利技术公开了导电薄膜生产技术领域中的一种导电薄膜方阻检测装置,包括:安装架、电动竖推杆、检测探头,安装架包括两个侧板、连接两个侧板的横杆,电动竖推杆与横杆连接,检测探头包括探针安装架、多个探针,探针安装架的顶部设有弹性组件,弹性组件的顶部设有压力传感器,压力传感器的顶部与电动竖推杆的运动端连接,驱动机构驱动电动竖推杆上下运动,使得探针与导电薄膜的膜面接触。为了解决现有的方阻检测仪检测探头对导电薄膜的挤压力度不可调节的问题,通过压力传感器能够检测到探针接触薄膜表面时的压力,可以对电动推杆的伸缩量进行控制,使得检测探头对导电薄膜表面的压力在安全范围内,防止检测探头对导电薄膜的膜面造成机械损伤。面造成机械损伤。面造成机械损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种导电薄膜方阻检测装置


[0001]本技术涉及导电薄膜生产
,具体地说,是涉及一种导电薄膜方阻检测装置。

技术介绍

[0002]导电薄膜在生产完成后,需要对其进行方块电阻的检测。方块电阻,简称方阻,又称膜电阻,任意大小的正方形的电阻测量值都是一样的,方阻的大小仅与导电薄膜的厚度有关,因此,方块电阻的测量广泛应用于检测导电薄膜的厚度,在导电薄膜生产过程中监控膜厚均匀性。四探针测量方法被广泛应用于各个领域中方块电阻的测量,四探针测量是各类导电薄膜相关制备工艺检测的必备手段。方阻仪是目前比较常用的方块电阻测试装置,其通过四个探针与待检测导电薄膜接触导通,从而使探针、导电薄膜和电源之间形成测量回路,从而能够测量得到导电薄膜的方块电阻。
[0003]现有的方阻仪只能在导电薄膜制成之后再进行测量,无法做到实时在线检测。当导电薄膜不合格时再进行“返工”,这样增加了薄膜产品的生产工序,无法做到生产时的在线调整。为了解决上述技术问题,申请号为 CN202120057354.5的中国专利中,公开了一种真空镀膜在线方阻检测仪,其方阻仪的检测探头伸入真本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导电薄膜方阻检测装置,其特征在于,包括:安装架,包括两个侧板、连接两个所述侧板的横杆;电动竖推杆,所述电动竖推杆与所述横杆连接;检测探头,包括探针安装架、设置在所述探针安装架上的多个探针,所述探针安装架的顶部设有弹性组件,所述弹性组件的顶部设有压力传感器,所述压力传感器的顶部与所述电动竖推杆的运动端连接,驱动机构驱动所述电动竖推杆上下运动,使得所述探针与导电薄膜的膜面接触。2.根据权利要求1所述的导电薄膜方阻检测装置,其特征在于,所述探针安装架的宽度与所述导电薄膜的幅宽相同。3.根据权利要求1所述的导电薄膜方阻检测装置,其特征在于,所述探针安装架的宽度小于所述导电薄膜的幅宽。4.根据权利要求3所述的导电薄膜方阻检测装置,其特征在于,还包括丝杆,所述丝杆与所述横杆平行设置,所述横杆上滑动设置有移动块,且所述丝杆穿过所述移动块与所述驱动机构连接,所述电动竖推杆与所述移动块连接,所述驱动机构驱动所述丝杆运动,使得所述移动块带动所述电动竖推杆沿着所述丝杆、所述横杆的长度方向移动。5.根据权利要求4所述的导电薄膜方阻检测装置,其特征在于,所述移动块的底部设有导向轴,所述导向轴与所述电动竖推杆平行设置...

【专利技术属性】
技术研发人员:臧世伟
申请(专利权)人:重庆金美新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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