【技术实现步骤摘要】
一种导电薄膜方阻检测装置
[0001]本技术涉及导电薄膜生产
,具体地说,是涉及一种导电薄膜方阻检测装置。
技术介绍
[0002]导电薄膜在生产完成后,需要对其进行方块电阻的检测。方块电阻,简称方阻,又称膜电阻,任意大小的正方形的电阻测量值都是一样的,方阻的大小仅与导电薄膜的厚度有关,因此,方块电阻的测量广泛应用于检测导电薄膜的厚度,在导电薄膜生产过程中监控膜厚均匀性。四探针测量方法被广泛应用于各个领域中方块电阻的测量,四探针测量是各类导电薄膜相关制备工艺检测的必备手段。方阻仪是目前比较常用的方块电阻测试装置,其通过四个探针与待检测导电薄膜接触导通,从而使探针、导电薄膜和电源之间形成测量回路,从而能够测量得到导电薄膜的方块电阻。
[0003]现有的方阻仪只能在导电薄膜制成之后再进行测量,无法做到实时在线检测。当导电薄膜不合格时再进行“返工”,这样增加了薄膜产品的生产工序,无法做到生产时的在线调整。为了解决上述技术问题,申请号为 CN202120057354.5的中国专利中,公开了一种真空镀膜在线方阻检测仪,其方 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种导电薄膜方阻检测装置,其特征在于,包括:安装架,包括两个侧板、连接两个所述侧板的横杆;电动竖推杆,所述电动竖推杆与所述横杆连接;检测探头,包括探针安装架、设置在所述探针安装架上的多个探针,所述探针安装架的顶部设有弹性组件,所述弹性组件的顶部设有压力传感器,所述压力传感器的顶部与所述电动竖推杆的运动端连接,驱动机构驱动所述电动竖推杆上下运动,使得所述探针与导电薄膜的膜面接触。2.根据权利要求1所述的导电薄膜方阻检测装置,其特征在于,所述探针安装架的宽度与所述导电薄膜的幅宽相同。3.根据权利要求1所述的导电薄膜方阻检测装置,其特征在于,所述探针安装架的宽度小于所述导电薄膜的幅宽。4.根据权利要求3所述的导电薄膜方阻检测装置,其特征在于,还包括丝杆,所述丝杆与所述横杆平行设置,所述横杆上滑动设置有移动块,且所述丝杆穿过所述移动块与所述驱动机构连接,所述电动竖推杆与所述移动块连接,所述驱动机构驱动所述丝杆运动,使得所述移动块带动所述电动竖推杆沿着所述丝杆、所述横杆的长度方向移动。5.根据权利要求4所述的导电薄膜方阻检测装置,其特征在于,所述移动块的底部设有导向轴,所述导向轴与所述电动竖推杆平行设置...
【专利技术属性】
技术研发人员:臧世伟,
申请(专利权)人:重庆金美新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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