【技术实现步骤摘要】
一种导电薄膜在线方阻检测装置
[0001]本技术涉及方阻检测仪器
，具体地说，是涉及一种导电薄膜在线方阻检测装置。
技术介绍
[0002]单位正方形面积的电阻值称为方阻，方阻是导电薄膜的重要质量指标。导电薄膜在生产完成后，需要对其进行方块电阻的检测。方块电阻，简称方阻，又称膜电阻，任意大小的正方形的电阻测量值都是一样的，方阻的大小仅与导电薄膜的厚度有关，因此，方块电阻的测量广泛应用于检测导电薄膜的厚度，在导电薄膜生产过程中监控膜厚均匀性。四探针测量方法被广泛应用于各个领域中方块电阻的测量，四探针测量是各类导电薄膜相关制备工艺检测的必备手段。
[0003]现有的方阻检测方法为使用四探针方阻检测仪在薄膜的不同位置进行检测，其通过四个探针与待检测导电薄膜接触导通，从而使探针、导电薄膜和电源之间形成测量回路，从而能够测量得到导电薄膜的方块电阻。现有一些对导电薄膜进行在线方阻检测的方阻检测仪，然而，这种方阻检测仪只能对小幅宽的导电薄膜进行在线方阻检测，对于大幅宽的导电薄膜，需要在导电薄膜的静止状态下进行检测，操作方法复杂
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种导电薄膜在线方阻检测装置，其特征在于，包括固定轴心、套设在所述固定轴心外侧的轴套，所述轴套内镶嵌有多个方阻检测组件，每个所述方阻检测组件均包括四根探针，且四根所述探针的顶部与所述轴套的外表面平齐，所述方阻检测组件通过连接件与所述固定轴心的表面抵接。2.根据权利要求1所述的一种导电薄膜在线方阻检测装置，其特征在于，所述方阻检测组件还包括用于连接所述探针的金属片，所述探针远离所述金属片的一端与所述轴套的外表面平齐，所述金属片与所述连接件抵接。3.根据权利要求1所述的一种导电薄膜在线方阻检测装置，其特征在于，所述方阻检测组件沿所述轴套的长度方向上设置有多个。4.根据权利要求1所述的一种导电薄膜在线方阻检测装置，其特征在于，所述方阻检测组件...
【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，刘文卿，
申请(专利权)人：重庆金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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