一种物镜远心度的测量系统、方法及存储介质技术方案

本发明专利技术提供了一种物镜远心度的测量系统、一种物镜远心度的测量方法以及一种存储介质。该物镜远心度的测量系统包括：照明光源，用于提供照明光束；安装结构，用于固定待测物镜；反射件，位于待测物镜的焦面，用于向待测物镜提供照明光束的反射光束；相机，经由待测物镜采集反射光束的图像；分光片，以预设角度设于照明光源、待测物镜及相机之间，经由其第一表面将照明光束反射到待测物镜，并经由其第二表面将待测物镜输出的反射光束传输到相机；以及控制器，被配置为：获取相机边缘视场灰阶相等的第一图像；调节反射件相对光轴的倾斜角，以获取相机边缘视场的响应灰阶值最大的第二图像；以及根据调节的倾斜角，确定待测物镜的远心度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种物镜远心度的测量系统、方法及存储介质


[0001]本专利技术涉及半导体缺陷检测
，尤其涉及一种物镜远心度的测量系统、一种物镜远心度的测量方法，以及一种计算机可读存储介质。

技术介绍

[0002]远心度（Telecentricity）是指物镜主光线偏离光轴方向的夹角，其值越小表明光学系统远心度越高。高远心度的光学系统通常具有低杂光、低视差、高照明均匀性等优点。尤其在半导体缺陷的检测领域，物镜的低远心度将提高缺陷尺寸的测量误差、增加系统的误检率，并降低显微照明的均匀性。因此，测量评估物镜的远心度对于光学显微成像检测系统具有十分重要意义。
[0003]现有技术中，测量物镜远心度的方法主要包括光瞳成像法、孔径分束法、视差法等。光瞳成像法通过对比物镜不同视场区域处的光瞳像面位置来计算物镜的远心性，存在测试过程复杂、检测精度低等缺陷。孔径分束法通过测量不同孔径区域的成像光束的像面位置来计算物镜的远心性，存在测试繁琐、检测精度低等缺陷。视差法通过物镜对高精度测量靶成像进行测量，存在对靶标精度要求高、高质量靶标制作困难及制作成本高等缺陷。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物镜远心度的测量系统，其特征在于，包括：照明光源，用于提供照明光束；安装结构，用于固定待测物镜；反射件，位于所述待测物镜的焦面，用于向所述待测物镜提供所述照明光束的反射光束；相机，经由所述待测物镜采集所述反射光束的图像；分光片，以预设角度设于所述照明光源、所述待测物镜及所述相机之间，经由其第一表面将所述照明光束反射到所述待测物镜，并经由其第二表面将所述待测物镜输出的反射光束传输到所述相机；以及控制器，被配置为：获取相机边缘视场灰阶相等的第一图像；调节所述反射件相对光轴的倾斜角，以获取相机边缘视场的响应灰阶值最大的第二图像；以及根据调节的所述倾斜角，确定所述待测物镜的远心度。2.如权利要求1所述的测量系统，其特征在于，还包括旋转台，其中，所述旋转台位于所述待测物镜的焦面，用于安装所述反射件，并调节所述反射件相对光轴的倾斜角。3.如权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述获取相机边缘视场灰阶相等的第一图像的步骤包括：将所述反射件调节到初始角度，并采集相机图像；解析所述相机图像，以确定其中多个相机边缘视场位置的灰阶值；判断所述多个相机边缘视场位置的灰阶值是否相等；响应于任一所述相机边缘视场位置的灰阶值与其余相机边缘视场位置的灰阶值不等的判断结果，改变所述反射件相对光轴的倾斜角，并重复采集所述相机图像、解析所述相机图像以及判断各所述相机边缘视场位置的灰阶值是否相等的步骤；以及响应于各所述相机边缘视场位置的灰阶值均相等的判断结果，将当前的相机图像确定为所述第一图像，并记录当前的第一倾斜角。4.如权利要求3所述的测量系统，其特征在于，所述改变所述反射件相对光轴的倾斜角的步骤包括：确定所述相机图像中灰阶值最大的目标相机边缘视场位置；以及向所述目标相机边缘视场位置改变所述反射件相对光轴的倾斜角，以均衡各所述相机边缘视场位置的...

【专利技术属性】
技术研发人员：包建，杨浩哲，相春昌，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：