一种采用磁控溅射在纯镁表面制备Mg67Zn28Ca5非晶薄膜的方法技术

本发明专利技术实施例公开了一种采用磁控溅射在纯镁表面制备Mg67Zn28Ca5非晶薄膜的方法，用于解决现有纯镁表面的耐腐蚀性能差，在人体内降解速率较快的技术问题。本发明专利技术提供的制备方法包括将预先准备好的中间合金块Mg80Zn20、Mg70Ca30和纯Zn块进行熔炼，得到Mg67Zn28Ca5合金靶材，再将Mg67Zn28Ca5合金靶材置于磁控溅射真空室的靶位上，将经过处理后的Si片超声波清洗，再置于磁控溅射真空室的样品台上，通过磁控溅射在Si片上制备Mg67Zn28Ca5非晶薄膜，用X射线衍射法验证，确定Si片上的薄膜为Mg67Zn28Ca5非晶薄膜。最后，将经过清洗的纯镁放置于磁控溅射真空室的样品台上，通过磁控溅射在纯镁表面制备Mg67Zn28Ca5非晶薄膜。射在纯镁表面制备Mg67Zn28Ca5非晶薄膜。射在纯镁表面制备Mg67Zn28Ca5非晶薄膜。

【技术实现步骤摘要】
一种采用磁控溅射在纯镁表面制备Mg67Zn28Ca5非晶薄膜的方法


[0001]本专利技术涉及金属材料表面薄膜制备
，尤其涉及一种采用磁控溅射在纯镁表面制备Mg67Zn28Ca5非晶薄膜的方法。

技术介绍

[0002]金属镁不仅具有优良的生物相容性，还具有优良的机械强度，且其弹性模量与密度和人体骨骼相近。还由于镁在生命活动中有十分重要的作用，因此研究可降解镁生物材料在医学中的运用是当前的一个热点。
[0003]但是，镁的化学性质极其活泼，镁表面生成的氧化膜是疏松多孔结构，耐腐蚀性能差，无法达到临床实验要求，这大大阻碍了镁在可降解生物材料的应用。
[0004]因此，寻找一种能够解决上述技术问题的技术方案成为本领域技术人员所研究的重要课题。

技术实现思路

[0005]本专利技术实施例公开了一种采用磁控溅射在纯镁表面制备Mg67Zn28Ca5非晶薄膜的方法，用于解决现有纯镁表面的耐腐蚀性能差，在人体内降解速率较快的技术问题。
[0006]本专利技术实施例提供了一种采用磁控溅射在纯镁表面制备Mg67Zn28本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种采用磁控溅射在纯镁表面制备Mg67Zn28Ca5非晶薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、配样：准备纯度为99.9%的中间合金块Mg80Zn20、Mg70Ca30和纯Zn块；S2、将喷涂好氮化硼的石墨模具置于电热干燥箱中预热到235
°
C
ꢀ‑
250
°
C，将调配好的ZnO水溶液涂料均匀刷于石墨坩埚内壁并置于气氛保护井式电阻炉中加热到270
°
C并干燥15
‑
20 min；S3、将预热好的中间合金块Mg80Zn20、Mg70Ca30夹入石墨坩埚，升温到400
°
C同时通入SF6与CO2混合气体，保温5 min；S4、在SF6与CO2混合气体保护下，将所述石墨坩埚升温到680
°
C，保温15
‑
20 min，搅拌2 min至熔体均匀，除渣后，将纯Zn块分三次加入，每次加入后保温10 min，搅拌2 min，除渣，最后保温15 min；S5、经扒渣、搅拌2 min后，将所述石墨坩埚降温到660
°
C，保温10 min，再扒渣，然后将熔化后的合金液浇铸到已经预热的所述石墨模具中；S6、待所述石墨模具中的合金液凝固之后，取出合金块，并制备成Mg67Zn28Ca5合金靶材，通过扫描电镜、X射线衍射法确定Mg67Zn28Ca5合金靶材合金成分；S7、将Si片置于BOE溶液中浸泡，当观察到Si片表面完全变色后等待2 min，取出Si片置于超声波中水洗，通过润湿性测试后用氮气吹干，再置于磁控溅射真空室的样品台上；S8、溅射条件：磁控溅射室的温度为25
°
C，真空度< 0.4 Pa，通入氩气气压为5 mT，基底转速为5 r/min，溅射时间为75
‑
85 min，溅射功率为65 W，Mg67Zn28Ca5合金靶材进行预溅射；S9、利用X射线衍射法验证，确定Si片上的薄膜为Mg67Zn28Ca5非晶薄膜；S10、对纯镁表面外层氧化膜进行打磨清除后抛光，经丙酮超声清洗5
‑
10 min，在无水乙醇以及水中超声清洗5
‑
10 min，用等离子水冲洗3 min后，在45
°
C
‑
55
°
C环境下干燥40
‑
...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨湘杰，李艳芳，肖礼兵，李卫荣，李正南，宫梦奇，李荣慧，刘培玉，段瑜，肖文静，
申请(专利权)人：南昌大学东莞市镁安医疗器械有限公司，
类型：发明
国别省市：