一种双反射面复合镜光轴偏差检测系统及检测方法技术方案

技术编号:38430720 阅读:36 留言:0更新日期:2023-08-07 11:27
本发明专利技术提出了一种双反射面复合镜光轴偏差检测系统及检测方法,属于光学加工与检测领域。解决了高精度双反射面复合镜光轴偏差检测困难的问题。检测系统包括光轴检测机构和经纬仪,所述光轴检测机构数量为两组,两组光轴检测机构分别设置在双反射面复合镜的两个反射面前方,所述光轴检测机构包括CGH检测板、干涉仪和调整台,所述CGH检测板设置在干涉仪出射光前方,所述CGH检测板和干涉仪均设置在调整台上,所述经纬仪设置在两个CGH检测板中间。它主要用于双反射面复合镜光轴偏差检测。主要用于双反射面复合镜光轴偏差检测。主要用于双反射面复合镜光轴偏差检测。

【技术实现步骤摘要】
一种双反射面复合镜光轴偏差检测系统及检测方法


[0001]本专利技术属于光学加工与检测领域,特别是涉及一种双反射面复合镜光轴偏差检测系统及检测方法。

技术介绍

[0002]随着航空航天技术的迅猛发展,人们对于高分辨率图像的需求也越来越迫切,在满足高分辨率成像的同时,要求光学系统的结构更加紧凑,降低系统装调难度以适应载荷的批产需求。两反射面一体式反射镜组件的两反射面一体化加工设计,降低了加工与装调难度,基准重合度高,同时有效压缩光学系统的轴向长度,使得结构紧凑。
[0003]在光学元件镜面的铣磨成型、研磨与抛光过程中,由于镜体与加工机床的相对位置误差,易使得光学镜面光轴存在偏差,引起反射镜面形产生慧差。若光学加工过程中光轴偏差较大,在集成组装为光学系统时装调过程复杂,需要耗费较长的调试时间,甚至会出现光轴偏差较大导致装调失败的现象。
[0004]现有技术中的光轴偏差检测多为单反射镜光轴偏差检测,较容易建立加工检测基准,光轴检测相对容易。如申请公布号CN114739323A、名称为“光学元件光轴与机械轴偏差测试系统、测试方法以及偏差本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双反射面复合镜光轴偏差检测系统,其特征在于:它包括光轴检测机构和经纬仪(7),所述光轴检测机构数量为两组,两组光轴检测机构分别设置在双反射面复合镜(1)的两个反射面前方,所述光轴检测机构包括CGH检测板(2)、干涉仪(4)和调整台(5),所述CGH检测板(2)设置在干涉仪(4)出射光前方,所述CGH检测板(2)和干涉仪(4)均设置在调整台(5)上,所述经纬仪(7)设置在两个CGH检测板(2)中间。2.根据权利要求1所述的一种双反射面复合镜光轴偏差检测系统,其特征在于:所述CGH检测板(2)安装在CGH检测板调整架(3)上,所述CGH检测板调整架(3)设置在调整台(5)上。3.根据权利要求1所述的一种双反射面复合镜光轴偏差检测系统,其特征在于:所述调整台(5)为六自由度调整台。4.根据权利要求1所述的一种双反射面复合镜光轴偏差检测系统,其特征在于:所述双反射面复合镜(1)通过工装设置在双反射面复合镜安装支架(6)上。5.根据权利要求1所述的一种双反射面复合镜光轴偏差检测系统,其特征在于:所述CGH检测板(2)包括CGH基底(201)、CGH对准区域(202)和CGH检测区域(203),所述CGH对准区域(202)和CGH检测区域(203)均设置在CGH基底(201)上,所述CGH检测区域(203)位于CGH对准区域(202)内侧。6.根据权利要求1所述的一种双反射面复合镜光轴偏差检测系统,其特征在于:所述双反射面复合镜(1)包括第一反射面(101)和第二反射面(102),所述第一反射面(101)和第二反射面(102)之间沿圆周方向均布多个双反射面复合镜支撑筋(104),所述双反射面复合镜(1)中心开设有贯穿第一反射面(101)和第二反射面(102)的通光孔(105),所述双反射面复合镜(1)上开设有多个双反射面复合镜安装孔(103)。7.一种如权利要求1

6任意一项所述的双反射面复合镜光轴偏差检测系统的检测方法,其特征在于:它包括以下步骤:步骤1:搭建光轴检测机构,在双反射面复合镜(1)的两个反射面前方设置CGH检测板(2)和干涉仪(4),将CGH检测板...

【专利技术属性】
技术研发人员:王守达洪永丰隋富刚
申请(专利权)人:长春通视光电技术股份有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1