一种三氟化氮用电解液的配制设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种三氟化氮用电解液的配制设备，其特征在于为三段式，上部为反应器，中部为冷凝段，底部为电解液承液盘/容器，冷凝段设置有换热器，换热器顶部留有冷凝混合区；反应器上部设置有第一氟化氢进气管、氨气进气管、温度计和加热棒，反应器外部设置有降温夹套，温度计中下部套有氟化氢铵导出管，氟化氢铵导出管下部开口端延伸入到换热器顶部的冷凝混合区，冷凝混合区设置有第二氟化氢进气管；反应器和冷凝段之间设有隔板，反应器和冷凝段之间通过氟化氢铵导出管连通。该设备可实现HF气体和氨气按重量计量，克服流量计量的缺陷；设置两个氟化氢进气管，可以配置不同熔盐比的NH4F

【技术实现步骤摘要】
一种三氟化氮用电解液的配制设备


[0001]本技术属于电解法制备三氟化氮气体的一种电解液配制设备，具体涉及一种不同熔盐比的NH4F
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nHF电解液的配制设备。

技术介绍

[0002]三氟化氮(NF3)气体广泛应用于高能激光、半导体技术及化学气相沉积等领域，具有很好的应用前景。工业上多采用电解法制备NF3，电解法主要采用NH4F
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nHF熔融盐为电解液体系电解制备NF3气体，电解液配制方法主要两种：一是将氟化氢铵(NH4HF2)与HF气体直接在电解槽中混合配制；二是将HF气体与氨气混合反应制备NH4F
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nHF熔融盐。
[0003]氟化氢铵(NH4HF2)、HF气体混合的方案存在配制、补加和转移电解液工序，主要存在以下缺陷：1)配制、补加和转移过程需打开电槽或配料罐，HF气体易挥发到周围环境中，造成污染；2)HF气体通料管设在电解槽的两端，存在HF通入过程中，会导致内部电解质混合不均匀，熔盐比(HF/NH3)存在梯度差，调节效果差。3)属于高温有毒作业，长时间人工操作影响员工健康；补加本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三氟化氮用电解液的配制设备，其特征在于为三段式，上部为反应器，中部为冷凝段，底部为电解液承液盘/容器，冷凝段设置有换热器，换热器顶部留有冷凝混合区；反应器上部设置有第一氟化氢进气管、氨气进气管、温度计和加热棒，反应器外部设置有降温夹套，温度计中下部套有氟化氢铵导出管，氟化氢铵导出管下部开口端延伸入到换热器顶部的冷凝混合区，冷凝混合区设置有第二氟化氢进气管；反应器和冷凝段之间设有隔板，反应器和冷凝段之间通过氟化氢铵导出管连通。2.根据权利要求1所述的配制设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张怀，赵冰，刘辰，魏磊，李梅，
申请(专利权)人：昊华气体有限公司，
类型：新型
国别省市：