一种传片漏气检测装置及方法、传片装置及方法制造方法及图纸

本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种传片漏气检测装置及方法、传片装置及方法，其中传片漏气检测装置，应用在外延设备中，外延设备包括传送腔和反应腔，传片漏气检测装置包括过渡腔和用于向过渡腔和传送腔充入惰性气体的充气装置，传送腔通过过渡腔与反应腔连通，传送腔与过渡腔之间设置有第一插板阀，过渡腔和反应腔之间设置有第二插板阀，传送腔内有第一真空计，过渡腔内有氧气传感器和第二真空计，通过该方式可实时检测传送腔内是否存在漏气点，从而防止空气进入反应腔中与反应腔中的氢气结合产生爆炸。中的氢气结合产生爆炸。中的氢气结合产生爆炸。

【技术实现步骤摘要】
一种传片漏气检测装置及方法、传片装置及方法


[0001]本申请涉及半导体
，具体而言，涉及一种传片漏气检测装置及方法、传片装置及方法。

技术介绍

[0002]在外延加工过程中，外延片需要经过前工序进行预处理，随后将外延片传递到反应腔中进行外延反应，传递的过程称为传片。
[0003]现有的传片装置中，为了保证外延炉腔室内的洁净和传送腔内的正压，需要在设备开启时间不断向传送腔内通入氩气，当向反应腔传片的流程开始时，传送腔与反应腔之间的插板阀会被打开，反应腔的负压会将传送腔的气体抽入反应腔，如果传送腔本身有漏点，则传送腔内的氩气将混有空气，在未开插板阀时由于传送腔正压空气不会进入反应腔，当开插板阀后，传送腔内混有空气的氩气将会进入反应腔中与反应腔中与氢气混合从而发生爆炸。
[0004]针对上述问题，目前尚未有有效的技术解决方案。

技术实现思路

[0005]本申请的目的在于提供一种传片漏气检测装置及方法、传片装置及方法，旨在解决传送腔内有漏点导致传片过程中空气进入反应腔内与氢气结合产生爆炸的问题。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传片漏气检测装置，应用在外延设备中，用于在传片过程中检测外延设备是否存在漏气，所述外延设备包括传送腔和反应腔，其特征在于，所述传片漏气检测装置包括过渡腔和用于向所述过渡腔和所述传送腔充入惰性气体的充气装置，所述传送腔通过所述过渡腔与所述反应腔连通，所述传送腔与所述过渡腔之间设置有第一插板阀，所述过渡腔和所述反应腔之间设置有第二插板阀，所述传送腔内有第一真空计，所述过渡腔内有氧气传感器和第二真空计。2.根据权利要求1所述的一种传片漏气检测装置，其特征在于，所述传片漏气检测装置还包括抽真空装置，所述抽真空装置与所述过渡腔连通，用于对所述过渡腔进行抽真空处理。3.一种传片漏气检测方法，其特征在于，所述传片漏气检测方法运用在如权利要求1所述的传片漏气检测装置中，所述传片漏气检测方法包括以下步骤：S1、关闭所述第一插板阀和所述第二插板阀，通过所述第一真空计和所述第二真空计检测所述传送腔和所述过渡腔的真空度；S2、判断所述过渡腔和所述传送腔之间的真空度的差值是否超过预设真空度差值，若所述过渡腔和所述传送腔之间的真空度的差值小于或等于所述预设真空度差值，则执行步骤S3；若所述过渡腔和所述传送腔之间的真空度的差值大于所述预设真空度差值，则通过所述充气装置向所述过渡腔内和所述传送腔内充入惰性气体，直到所述过渡腔和所述传送腔之间的真空度的差值小于或等于所述预设真空度差值后执行步骤S3；S3、打开所述第一插板阀，通过所述氧气传感器检测所述过渡腔内是否存在氧气以检测传片过程中是否存在漏气。4.根据权利要求3所述的传片漏气检测方法，其特征在于，所述传片漏气检测装置还包括抽真空装置，所述抽真空装置与所述过渡腔连通，用于对所述过渡腔进行抽真空处理，在步骤S3之后还包括以下步骤：S4、若步骤S3中未检测到所述过渡腔内存在氧气，打开所述抽真空装置对所述过渡腔进行抽真空处理，使所述过渡腔和所述传送腔内的真空度调节至预设真空值，并在抽真空的同时通过所述氧气传感器检测所述过渡腔内是否存在氧气。5.一种传片装置，应用在外延设备中，所述外...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鑫，盛飞龙，高桑田，仇礼钦，戴科峰，
申请(专利权)人：季华实验室，
类型：发明
国别省市：