用于插入到气瓶中的圆柱形负压调节装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于压缩气体的压力调节装置(6)，该压力调节装置包括主体(18)，该主体具有气体入口(20)、气体出口(38)、以及将所述气体入口和气体出口流体互连的气体通道(22)；阀门装置(24；124)，具有位于气体通道(22)中的座(26；126)和被配置成与座(26；126)配合的闭塞件(28；128)；容纳在主体(18)的腔体(32；132)中并位于阀门装置(24；124)的下游的调节器(30；130)，该调节器与所述腔体(32；132)一起界定调节室，该调节室的几何形状随着所述调节室中的压力而变化，并且该调节器驱动闭塞件(28；128)以调节通过阀门装置的气体流量；其中所述主体(18)在其整个长度上是管状的，其标称外径是所述主体的最大外径。是所述主体的最大外径。是所述主体的最大外径。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于插入到气瓶中的圆柱形负压调节装置


[0001]本专利技术涉及以压缩状态储存在气瓶中的气体(尤其是用于半导体制造的危险气体)的输送领域。

技术介绍

[0002]公布的现有技术专利文献EP 1 328 756 B1公开了一种设计成置于气瓶内部的负压调节装置。为此，需要扩大气瓶的颈圈，以允许压力调节装置穿过该颈圈插入。对于危险气体，例如在半导体行业中使用的气体，将压力调节装置置于气瓶内是令人感兴趣的，因为这能保护压力调节装置免受可能损坏它的外部作用。
[0003]公布的现有技术专利文献GB 787 192公开了一种集成有减压阀的气体调节器。该气体调节器包括阀门装置以及布置在主体中并在阀门装置的下游形成调节室的调节器。所述调节器包括波纹管，该波纹管附接至调节器的固定部分和移动部分，从而形成作为弹簧工作的密封内室。调节室是主体中的腔体的内壁与调节器的外表面之间的空间。调节器的固定部分通过球安置在管上，该管的位置可以通过手轮调节。与所述管接触的球形成减压阀，因为在出口处(即，在调节室中)的压力不受控制地增加的情况下，调节器会被进一步压缩，然后将进一步收缩，从而将球移离管并允许气体逸出。这种调节器结构的有趣之处在于，形成密封的内部容积的调节器实现了独立于大气压力的压力调节。但是，这种构造的体积较大，并且当出口流量发生变化时，可能会出现不希望有的压力变化。
[0004]在一些应用中，例如在半导体行业中，末端气体消耗装置可能是在低于大气压的条件下(即，在低于大气压的压力下)工作的流量调节器。这种流量调节器可以由半导体制造机器控制，从而将流量从零改变到标称值，或者相反。当这种流量变化发生时，被直接流体连接在流量控制器上游的压力调节装置会表现出不希望有的出口压力变化，该变化的程度会干扰流量控制器，即，将所述流量控制器置为故障模式。

技术实现思路

[0005]技术问题
[0006]本专利技术的技术问题是克服上述现有技术的缺点中的至少一个。更具体地说，本专利技术的技术问题是提供一种适合用于在出口流量变化时需要特别注意出口压力的安全性和稳定性的应用的压力调节装置。
[0007]技术方案
[0008]本专利技术涉及一种用于压缩气体的压力调节装置，该压力调节装置包括：具有气体入口、气体出口和将所述气体入口和气体出口流体互连的气体通道的主体；具有位于气体通道中的座和被配置成与该座配合的闭塞件的阀门装置；容纳在主体的腔体中并位于阀门装置的下游的调节器，该调节器与所述腔体一起界定调节室，该调节室的几何形状随着所述调节室中的压力而变化，并且该调节器驱动闭塞件以调节通过阀门装置的气体流量；其中所述主体在其整个长度上是管状的，其标称外径是所述主体的最大外径。
[0009]根据一个优选实施例，所述主体包括具有标称外径的主要部分和至少一个具有标称外径并附接至所述主要部分的端部。
[0010]根据一个优选实施例，所述至少一个端部向主体的主要部分的附接是通过焊接完成的。
[0011]根据一个优选实施例，所述主要部分的一端容纳阀门装置，并且包括围绕所述座的环形凹槽。
[0012]根据一个优选实施例，所述主体包括管状壁，该管状壁的内表面形成所述腔体。
[0013]根据一个优选实施例，所述闭塞件包括提动阀和杆，所述提动阀位于所述座的上游侧并被配置成与所述座接触，所述杆从提动阀穿过所述座延伸，所述杆附接至调节器。
[0014]根据一个优选实施例，所述杆包括邻近提动阀的锥形部分，并且呈现小于0.02毫米的与所述座的径向游隙。
[0015]根据一个优选实施例，所述腔体包括邻近所述座的底部，所述压力调节装置包括安置在所述底部上并作用在调节器上的压缩波形弹簧。
[0016]根据一个优选实施例，所述调节器包括与压缩波形弹簧接合的带肩端面。
[0017]根据一个优选实施例，所述调节器包括面对阀门装置的可移动部件，该可移动部件被配置成用于沿着腔体的内表面移动并驱动闭塞件。
[0018]根据一个优选实施例，所述调节器包括开口环，该开口环安装在所述调节器的可移动部分周围，并被配置成用于与腔体的内表面接触。
[0019]根据一个优选实施例，所述调节器包括与阀门装置相对并与螺钉接合的固定部分，所述螺钉被配置成调节所述固定部分的位置。
[0020]根据一个优选实施例，所述螺钉包括锥形前面，该锥形前面与调节器的固定部分的环形凹入锥形表面接触，从而形成所述螺钉与所述固定部分之间的接合。
[0021]根据一个优选实施例，所述螺钉和所述调节器的固定部分之间的接合被配置成使所述固定部分居中，从而在腔体中呈现径向游隙。
[0022]根据一个优选实施例，所述螺钉与所述至少一个端部通过螺纹接合。
[0023]根据一个优选实施例，所述调节器包括波纹管，该波纹管具有以气密方式附接至所述固定部分的第一端和以气密方式附接至所述可移动部分的第二端，从而形成密封的内部容积。
[0024]根据一个优选实施例，所述调节器的固定部分和可移动部分在波纹管内以滑动和纵向导引的方式相互接合。
[0025]根据一个优选实施例，所述阀门装置是第一阀门装置，所述调节器是第一调节器，所述压力调节装置还包括与第一阀门装置流体串联并位于第一阀门装置上游的第二阀门装置，该第二阀门装置具有位于气体通道中的座和被配置成与该座配合的闭塞件、以及容纳在主体的腔体中并位于所述第二阀门装置下游的第二调节器，从而与所述腔体一起界定调节室，该调节室的几何形状随着所述调节室中的压力而变化，并且所述调节器驱动所述闭塞件以调节通过所述第二阀门装置的气体流量。
[0026]根据一个优选实施例，所述主体的主要部分是容纳第一阀门装置和第一调节器的第一主要部分，所述主体还包括容纳第二阀门装置和第二调节器的第二主要部分。
[0027]根据一个优选实施例，所述压力调节装置被配置成在气体出口处的绝对压力小于
0.9巴的情况下输送气流。
[0028]根据一个优选实施例，所述压力调节装置还包括端口，该端口经由塞子流体连接至调节器的密封室，并且被配置成将外部辅助气体源流体连接至所述密封室，以调节所述密封室中的辅助气体的压力。
[0029]根据一个优选实施例，所述端口通向主体之外。
[0030]根据一个优选实施例，所述端口呈现主轴线，该主轴线横向于压力调节装置的纵向轴线，优选地径向于所述纵向轴线。
[0031]根据一个优选实施例，所述塞子包括与调节器的固定部分接合的螺纹部分、以及与形成在所述固定部分中的辅助座接合的锥形针部分。
[0032]根据一个优选实施例，所述塞子完全位于端口与调节器的密封室之间的通道中。
[0033]根据一个优选实施例，所述塞子包括位于螺纹部分与锥形针部分之间的用于辅助气体的内部通道。
[0034]根据一个优选实施例，所述塞子在与调节器的密封室相对的一端包括接合表面，该接合表面用于通过将工具插入到所述端口中而与工具接合。
[0035]根据一个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.用于压缩气体的压力调节装置(6；206)，包括：
‑
具有气体入口(20；220)、气体出口(38；238)和将所述气体入口和气体出口流体互连的气体通道(22；222)的主体(18；218)；
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阀门装置(24；124；224；324)，具有位于气体通道(22；222)中的座(26；126；226；326)和被配置成与座(26；126；226；326)配合的闭塞件(28；128；228；328)；
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容纳在主体(18；218)的腔体(32；132；232；332)中并位于阀门装置(24；124；224；324)的下游的调节器(30；130；2320；330)，该调节器与所述腔体(32；132；232；332)一起界定调节室，该调节室的几何形状随着所述调节室中的压力而变化，并且该调节器驱动闭塞件(28；128；228；328)以调节通过阀门装置的气体流量；其特征在于：所述主体(18；218)在其整个长度上是管状的，具有沿着调节器(30；130；2320；330)和阀门装置(24；124；224；324)的标称外径，该标称外径是所述主体的最大外径。2.如权利要求1所述的压力调节装置(6；206)，其中所述主体(18；218)包括具有标称外径的主要部分(18.1，18.4；218.1，218.3)以及至少一个具有标称外径并附接至所述主要部分(18.1，18.4；218.1，218.3)的端部(18.2，18.3，18.5，18.6；218.2，218.4，218.5)。3.如权利要求2所述的压力调节装置(6；206)，其中所述至少一个端部(18.2，18.3，18.5，18.6；218.2，218.4，218.5)向主体(18；218)的主要部分(18.1，18.4；218.1，218.3)的附接是通过焊接进行的。4.如权利要求2和3之一所述的压力调节装置(6)，其中所述主要部分(18.1，18.4)的一端容纳阀门装置(24；124)并且包括围绕所述座(26；126)的环形凹槽(18.1.1；18.4.1)。5.如权利要求1至4中任一项所述的压力调节装置(6；206)，其中所述主体(18；218)包括具有形成腔体(32；132；232，332)的内表面的管状壁。6.如权利要求1至5中任一项所述的压力调节装置(6；206)，其中所述闭塞件(28；128；228；328)包括位于所述座(26；126；226；326)的上游侧并被配置成与所述座接触的提动阀(28.1；128.1)、以及从提动阀(28.1；128.1)穿过所述座(26；126；226；326)延伸的杆(28.2；128.2)，所述杆附接至调节器(30；130)。7.如权利要求6所述的压力调节装置(6；206)，其中所述杆(128.2)包括邻近提动阀(128.1)的锥形部分(128.2.1)，并且呈现小于0.02毫米的与所述座(126)的径向游隙。8.如权利要求1至7中任一项所述的压力调节装置(6；206)，其中所述腔体(32；132；332)包括邻近所述座(26；126；326)的底部，所述压力调节装置包括安置在所述底部上并作用在调节器(30；130；330)上的压缩波形弹簧(34；134；334)。9.如权利要求8所述的压力调节装置(6；206)，其中所述调节器(30；130；330)包括与压缩波形弹簧(34；134；334)接合的带肩端面(30.2.4；130.2.4)。10.如权利要求1至9中任一项所述的压力调节装置(6；206)，其中所述调节器(30；130；230；330)包括面对阀门装置(24；124；224；324)的可移动部分(30.2；130.2；230.2；330.2)，该可移动部分被配置成沿着腔体(32；132；232；332)的内表面移动并驱动闭塞件(28；128；228；328)。11.如权利要求10所述的压力调节装置(6)，其中所述调节器(30；130)包括开口环(30.5；130.5)，该开口环安装在所述调节器的可移动部分(30.2；130.2)周围并被配置成用
于与腔体(32；132)的内表面接触。12.如权利要求1至11中任一项所述的压力调节装置(6)，其中所述调节器(30；130)包括固定部分(30.1；130.1)，该固定部分与阀门装置(24；124)相对并与被配置成用于调节所述固定部分的位置的螺钉(36；136)接合。13.如权利要求12所述的压力调节装置(6)，其中所述螺钉(36；136)包括锥形前面，该锥形前面与调节器(30；130)的固定部分(30.1；130.1)的环形凹入锥形表面接触，从而形成所述螺钉与所述固定部分之间的接合。14.如权利要求12和13之一所述的压力调节装置(6)，其中所述螺钉(36；136)和所述调节器(30；130)的固定部分(30.1；130.1)之间的接合被配置成使所述固定部分居中，从而在腔体(32；132)中呈现径向游隙。15.如权利要求2至4之一以及如权利要求12至14之一所述的压力调节装置(6)，其中所述螺钉(36；136)与主体(18)的所述至少一个端部(18.3；18.5)通过螺纹接合。16.如权利要求10和11之一以及如权利要求12至15之一所述的压力调节装置(6)，其中所述调节器(30；130)包括波纹管(30.3；130.3)，该波纹管具有以气密方式附接至所述固定部分(30.1；130.1)的第一端和以气密方式附接至所述可移动部分(30.2；130.2)的第二端，从而形成密封的...

【专利技术属性】
技术研发人员：P，
申请(专利权)人：罗达莱克斯，
类型：发明
国别省市：