本发明专利技术提供一种均匀液滴产生装置及极紫外光源，包括喷射件及扰动机构。其中，所述喷射件设有用于输送液体介质的喷射通道；所述扰动机构与所述喷射件的外侧壁传动配合，所述扰动机构用于向所述喷射件传递周期性扰动，以使得所述喷射通道内的液体介质断流形成液滴。本申请中的扰动机构设置在喷射件的外侧壁，避免扰动机构污染流体介质的同时，还避免了喷射件内的流体介质与扰动机构发生干涉而导致扰动机构失能的问题，保证均匀液滴产生装置能够稳定、可靠的产生均匀液滴，相对于传统的径向扰动方式，可不需要能够抵抗高温的压电陶瓷，保证扰动机构在扰动高温液体介质时不会失能，提高了均匀液滴生产装置及极紫外光源的可靠性。高了均匀液滴生产装置及极紫外光源的可靠性。高了均匀液滴生产装置及极紫外光源的可靠性。
【技术实现步骤摘要】
均匀液滴产生装置及极紫外光源
[0001]本专利技术涉及流体力学
和极紫外光源领域，特别是涉及一种均匀液滴产生装置及极紫外光源。
技术介绍
[0002]均匀液滴在各领域均有广泛应用，以其在极紫外光刻光源中的应用为例，脉冲激光与液滴锡靶相互作用产生的等离子体可以产生波长为13.5nm的极紫外辐射，相比于深紫外光刻光源，它能极大地缩短光刻后芯片的特征尺寸。均匀液滴锡靶的产生基于瑞利射流断裂理论，通过对喷嘴或者对射流施加连续的扰动，使得射流不稳定并产生波浪式表面，最终在最小表面能的驱使下按照扰动的频率断裂形成均匀液滴。传统的产生均匀液滴的扰动方式分为轴向扰动和径向扰动两种。轴向扰动方式为将压电振杆固定在喷嘴的内壁的上方，当周期性振动传输到喷嘴后，使得喷嘴处的压力发生变化，诱导射流以振动频率断裂为均匀液滴，但轴向扰动中压电振杆和液体介质直接接触，使得液体介质被污染或发生泄漏的风险高。径向扰动方式为在喷嘴外围固定压电陶瓷，当给压电陶瓷施加正弦驱动信号，扰动会直接传递给喷嘴，但径向扰动高温液体介质时压电陶瓷失能。
技术实现思路
[0003]基于此，有必要针对轴向扰动方式中压电振杆和液体介质直接接触，使得液体介质被污染或发生泄漏的风险高，及径向扰动方式中径向扰动高温液体介质时压电陶瓷失能的问题，提供一种均匀液滴产生装置及极紫外光源。
[0004]其技术方案如下：
[0005]一方面，提供了一种均匀液滴产生装置，其特征在于，包括：
[0006]喷射件，所述喷射件设有用于输送液体介质的喷射通道；及
[0007]扰动机构，所述扰动机构与所述喷射件的外侧壁传动配合，所述扰动机构用于向所述喷射件传递周期性扰动，以使得所述喷射通道内的液体介质断流形成液滴。
[0008]下面进一步对技术方案进行说明：
[0009]在其中一个实施例中，所述扰动机构包括压电驱动模块及振动件，所述压电驱动模块与所述振动件配合，所述压电驱动模块用于使所述振动件产生周期性振动，所述振动件与所述喷射件的外侧壁传动配合。
[0010]在其中一个实施例中，所述喷射通道具有出液口，所述振动件与所述喷射件靠近所述出液口的一端的外侧壁传动配合。
[0011]在其中一个实施例中，所述振动件靠近喷射件的一端的轮廓形状与所述喷射件的外侧壁的轮廓形状相适配。
[0012]在其中一个实施例中，所述喷射件设置为呈棱柱形状的喷嘴，所述振动件设置为压电振杆，所述压电振杆靠近喷射件的一端与所述喷嘴的外侧面或所述喷嘴的棱角接触。
[0013]在其中一个实施例中，所述振动件至少为两个，各个所述振动件沿所述喷射件的
周向方向对应设置。
[0014]在其中一个实施例中，各个所述振动件的本征频率相同，以使各个所述振动件配合向所述喷射件传递径向扰动；
[0015]或，各个所述振动件的本征频率不相同，所述压电驱动模块可选择性的与各个所述振动件传动配合。
[0016]在其中一个实施例中，所述均匀液滴产生装置还包括气源及储液件，所述气源与所述储液件连通，所述储液件与所述喷射件连通，所述储液件用于储存液体介质，所述气源用于向所述储液件内输送气体，以使所述储液件内的液体介质输送至所述喷射通道。
[0017]在其中一个实施例中，所述喷射件还设有与所述喷射通道连通的喷腔，所述均匀液滴产生装置还包括输液管，所述输液管的两端分别与所述储液件及所述喷腔连通。
[0018]另一方面，提供了一种极紫外光源，包括所述的均匀液滴产生装置。
[0019]上述实施例中的均匀液滴产生装置及极紫外光源，使用时，扰动机构工作，并将液体介质以预设流速输送至喷射通道内，使得扰动机构能够产生周期性振动并将周期性振动传递至喷射件上，进而使得扰动机构能够通过喷射件呈周期性扰动喷射通道内的流体介质，从而使得喷射通道内的流体介质不稳定并产生波浪式表面，最终在最小表面能的驱使下按照扰动的频率断裂形成均匀液滴。相对于传统的轴向扰动方式，本申请中的扰动机构设置在喷射件的外侧壁，避免扰动机构污染流体介质的同时，还避免了喷射件内的流体介质与扰动机构发生干涉而导致扰动机构失能的问题，保证均匀液滴产生装置能够稳定、可靠的产生均匀液滴，提高了均匀液滴产生装置及极紫外光源的可靠性及稳定性。相对于传统的径向扰动方式，本申请可不需要能够抵抗高温的压电陶瓷，保证扰动机构在扰动高温液体介质时不会失能，提高了均匀液滴生产装置及极紫外光源的可靠性。
附图说明
[0020]构成本申请的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。
[0021]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为一个实施例的均匀液滴产生装置的结构示意图。
[0023]图2为另一个实施例的均匀液滴产生装置的结构示意图。
[0024]图3为一个实施例的喷射件与振动件的结构示意图。
[0025]图4为另一个实施例的喷射件与振动件的结构示意图。
[0026]图5为又一个实施例的喷射件与振动件的结构示意图。
[0027]图6为再一个实施例的喷射件与振动件的结构示意图。
[0028]附图标记说明：
[0029]10、均匀液滴产生装置；100、喷射件；110、喷射通道；120、喷腔；200、扰动机构；210、压电驱动模块；220、振动件；300、气源；400、储液件；500、输液管；600、气管。
具体实施方式
[0030]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0031]如图1及图2所示，在一个实施例中，提供了一种均匀液滴产生装置10，包括喷射件100及扰动机构200。其中，所述喷射件100设有用于输送液体介质的喷射通道110；所述扰动机构200与所述喷射件100的外侧壁传动配合，所述扰动机构200用于向所述喷射件100传递周期性扰动，以使得所述喷射通道110内的液体介质断流形成液滴。
[0032]上述实施例中的均匀液滴产生装置10，使用时，扰动机构200工作，并将液体介质以预设流速输送至喷射通道110内，使得扰动机构200能够产生周期性振动并将周期性振动传递至喷射件100上，进而使得扰动机构200能够通过喷射件100呈周期性扰动喷射通道110内的流体介质，从而使得喷射通道110内的流体介质不稳定并产生波浪式表面，最终在最小表面能的驱使下按照扰动的频率断裂形本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种均匀液滴产生装置，其特征在于，包括：喷射件，所述喷射件设有用于输送液体介质的喷射通道；及扰动机构，所述扰动机构与所述喷射件的外侧壁传动配合，所述扰动机构用于向所述喷射件传递周期性扰动，以使得所述喷射通道内的液体介质断流形成液滴。2.根据权利要求1所述的均匀液滴产生装置，其特征在于，所述扰动机构包括压电驱动模块及振动件，所述压电驱动模块与所述振动件配合，所述压电驱动模块用于使所述振动件产生周期性振动，所述振动件与所述喷射件的外侧壁传动配合。3.根据权利要求2所述的均匀液滴产生装置，其特征在于，所述喷射通道具有出液口，所述振动件与所述喷射件靠近所述出液口的一端的外侧壁传动配合。4.根据权利要求2所述的均匀液滴产生装置，其特征在于，所述振动件靠近喷射件的一端的轮廓形状与所述喷射件的外侧壁的轮廓形状相适配。5.根据权利要求4所述的均匀液滴产生装置，其特征在于，所述喷射件设置为呈棱柱形状的喷嘴，所述振动件设置为压电振杆，所述压电振杆靠近喷射件的一端与所述喷嘴的外侧面或所述喷嘴的棱角...
【专利技术属性】
技术研发人员：王新兵，孙秦，左都罗，马修泉，陆陪祥，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：
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