在目标材料供应系统中的减压装置和方法制造方法及图纸

减压装置包括由可压缩材料形成并且被安置在目标材料供应系统内的结构的内表面处的减压组件。目标材料供应系统被配置为递送目标材料。该结构的内表面限定目标材料供应系统内的空腔。该结构由刚性材料形成，并被配置为将目标材料包含在空腔内。该减压组件被配置为被动地防止空腔中的压力超过最大允许值。动地防止空腔中的压力超过最大允许值。动地防止空腔中的压力超过最大允许值。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在目标材料供应系统中的减压装置和方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2020年9月23日提交的题为“PRESSURE RELIEF APPARATUS AND METHOD IN A TARGET MATERIAL SUPPLY SYSTEM”的美国申请号63/082,234的优先权，该申请的全部内容通过引用并入本文。


[0003]本专利技术涉及一种目标材料供应系统中的减压装置和方法。

技术介绍

[0004]在半导体光刻(或光刻术)中，光刻曝光装置(其也被称为扫描仪)是将期望图案施加到衬底的目标区域上的机器。备选地被称为掩模或掩模版的图案化设备可以被用来生成要被形成的期望图案。图案的转移通常通过成像到衬底上提供的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上来实现。
[0005]衬底被光束辐照，该光束具有紫外范围(可见光和X射线之间的某处)内的波长，并且因此具有在大约10纳米(nm)到大约400nm之间的波长。因此，光束可以具有在深紫外(DUV)范围内的波长，例如具有可以从大约100nm到大约400nm的波长，或者具有在极紫外(EUV)范围内的波长，具有在大约10nm和大约100nm之间的波长。这些波长范围不是确切的，并且在光被认为是DUV还是EUV之间可能存在重叠。例如，通常使用DUV准分子激光器来产生光束。DUV准分子激光器的示例包括波长为248nm的氟化氪(KrF)激光器和波长为193nm的氟化氩(ArF)激光器。

技术实现思路

[0006]在一些一般方面，减压装置包括由可压缩材料形成并且被安置在目标材料供应系统内的结构的内表面处的减压组件。目标材料供应系统被配置为递送目标材料。该内表面限定目标材料供应系统内的空腔。该结构由刚性材料形成，并被配置为将目标材料包含在空腔内。该减压组件配置为被动地防止空腔中的压力超过最大允许值。
[0007]实现可以包括以下特征中的一个或多个特征。例如，减压组件可以是覆盖该结构的内表面的至少一部分的内衬。该结构可以是中空圆柱形管，空腔可以是圆柱形的，并且内衬可以覆盖中空圆柱形管的内表面的至少一部分。该减压组件可以具有圆柱形形状，在该圆柱形形状的一侧处具有一个或多个凹槽，该一个或多个凹槽沿着该圆柱形形状轴向延伸，并且该减压组件可以被装配到该中空圆柱形管的圆柱形空腔中。减压组件可以具有矩形条形状、六边形条形状或多边形条形状，并且减压组件可以填充结构的至少一部分。
[0008]该结构可以是连接两个独立且不同的流体设备的可拆卸连接件，并且减压装置可以是至少部分地在可拆卸连接件上方延伸的内衬或套筒。
[0009]可压缩材料可以在大于目标材料的融化范围的温度处保持处于弹性状态，使得可压缩材料在目标材料的融化范围以上且在大于20兆帕(MPa)直到最大允许压力的压力处兼
容。
[0010]可压缩材料可以具有在操作温度处保持在6GPa以下的弹性模量。被安置在结构的内表面处的可压缩材料的体积与包含在结构的空腔内的目标材料的体积的比率可以与可压缩材料的弹性模量相关。可压缩材料的弹性模量可以小于该结构的弹性模量。在被反复压缩和解压缩之后，可压缩材料可以保持处于线性弹性状态。当可压缩材料被压缩和解压缩时，可压缩材料可以被配置为变形，并且可压缩材料的变形可以是非永久的。
[0011]可压缩材料可以是聚合物材料。聚合物材料可以是聚酰亚胺、聚四氟乙烯、聚苯并咪唑或聚醚醚酮。
[0012]减压组件可以是覆盖该结构的内表面的至少一部分的内衬，并且覆盖该结构的内表面的内衬的体积与包含在该结构的空腔内的目标材料的体积的比率可以至少是1。可压缩材料可以是聚酰亚胺，使得内衬由聚酰亚胺形成，该结构由钼形成，并且内衬的体积占据该结构的空腔的至少80％，并且目标材料的体积占据该结构的空腔的其余部分。聚酰亚胺内衬可以经历弹性变形并且不经历永久变形或塑性变形。
[0013]可压缩材料可以是具有闭孔的硬质泡沫材料。可压缩材料可以与目标材料兼容(例如，化学和/或热兼容)。
[0014]在其他一般方面，一种目标材料供应系统被配置为将目标材料的颗粒递送至室内部的目标空间。该目标材料供应系统包括：一个或多个结构，每个结构被配置为将目标材料保持在由该结构的内表面限定的空腔内；以及与结构中的至少一个结构相关联的减压装置。减压装置包括被动减压设备，该被动减压设备包括可压缩机构，该可压缩机构与空腔流体连通并且被配置为被动地改变空腔中的压力。可压缩机构可以使空腔的有效体积膨胀以补偿空腔中的目标材料体积的增加。
[0015]实现可以包括以下特征中的一个或多个特征。例如，空腔中的目标材料的体积的增加可以是由目标材料的温度的变化引起的。该材料可以是流体目标材料，该流体目标材料当处于等离子体状态时辐射紫外光(诸如极紫外光)。
[0016]可压缩机构可以是覆盖与减压装置相关联的结构的内表面的至少一部分的内衬。与减压装置相关联的结构可以是具有圆柱形空腔的中空圆柱形管，并且内衬可以覆盖中空圆柱形管的内表面的至少一部分。内衬可以占据与减压装置相关联的结构的空腔的约90％。
[0017]可压缩机构可以是聚合物材料。
[0018]可压缩机构可以是或包括不与目标材料反应的惰性气体，并且可以被形成为与目标材料物理接触。惰性气体可以是氩(Ar)气、氙(Xe)气、氦(He)气、氮(N2)气、氢(H2)气或一氧化碳(CO)。惰性气体可以占据与减压装置相关联的结构的空腔的约2％至约10％。
[0019]被动减压设备可以是减压阀，并且可压缩机构可以是被配置为被动地改变空腔中的有效体积的机械弹簧。当空腔的有效体积改变时，减压阀可以保持关闭。减压阀和机械弹簧均各自可以以下材料制成，该材料在目标材料的熔化范围以上的相关温度和压力处与目标材料兼容(诸如化学和/或热兼容)。该材料可以是难熔金属或陶瓷材料。
[0020]目标材料可以是锡、锂、氙或锡合金。
[0021]减压装置可以与多个圆柱形结构相关联，每个圆柱形结构是具有转移目标材料的圆柱形空腔的中空圆柱形管。每个圆柱形结构可以通过可拆卸连接件来与结构中的另外一
个或多个结构连接。可拆卸连接件可以与包括另一被动减压设备的另一减压装置相关联，该另一被动减压设备包括另一可压缩机构。
[0022]目标材料供应系统还可以包括：目标材料源，其被配置为从固体目标材料产生流体目标材料；以及喷嘴装置，其被配置为引导目标材料的颗粒以与光束相互作用，该颗粒与光束的相互作用产生目标材料的等离子体并产生紫外光(诸如极紫外光)。
[0023]在其他一般方面，一种目标材料供应系统被配置为递送目标材料的颗粒，该目标材料供应系统包括装置。该装置包括：减压装置，其包括可压缩机构，该可压缩机构与目标材料供应系统的结构内的空腔的内部流体连通，该空腔被配置为将目标材料包含在空腔的内部内。减压装置的可压缩机构被配置为通过吸收或释放与空腔中的压力相关联的能量而被动地改变空腔中的有效体积。
[0024]在其他一般方面，执行一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于目标材料供应系统的减压装置，所述目标材料供应系统被配置为递送目标材料，所述减压装置包括：减压组件，所述减压组件由可压缩材料形成并且被安置在结构的内表面处，所述内表面限定在所述目标材料供应系统内的空腔，所述结构由刚性材料形成并且被配置为将所述目标材料包含在所述空腔内，其中所述减压组件被配置为被动地防止所述空腔中的压力超过最大允许值。2.根据权利要求1所述的减压装置，其中所述减压组件是覆盖所述结构的所述内表面的至少一部分的内衬。3.根据权利要求2所述的减压装置，其中所述结构是中空圆柱形管，所述空腔是圆柱形的，并且所述内衬覆盖所述中空圆柱形管的所述内表面的至少一部分。4.根据权利要求3所述的减压装置，其中所述减压组件具有圆柱形形状，在所述圆柱形形状的一侧处具有一个或多个凹槽，所述凹槽沿着所述圆柱形形状轴向延伸，并且所述减压组件被装配到所述中空圆柱形管的圆柱形空腔中。5.根据权利要求2所述的减压装置，其中所述减压组件具有矩形条形状、六边形条形状或多边形条形状，并且所述减压组件填充所述结构的至少一部分。6.根据权利要求1所述的减压装置，其中所述结构是连接两个独立且不同的流体设备的可拆卸连接件，并且所述减压装置是至少部分地在所述可拆卸连接件上方延伸的内衬或套筒。7.根据权利要求1所述的减压装置，其中所述可压缩材料在大于所述目标材料的熔化范围的温度处保持处于弹性状态，使得所述可压缩材料在所述目标材料的所述熔化范围以上并且在大于20兆帕(MPa)直到最大允许压力的压力处与所述目标材料兼容。8.根据权利要求1所述的减压装置，其中所述可压缩材料具有在操作温度处保持在6GPa以下的弹性模量。9.根据权利要求1所述的减压装置，其中所述可压缩材料的体积与包含在所述结构的所述空腔内的所述目标材料的体积的比率与所述可压缩材料的弹性模量相关。10.根据权利要求1所述的减压装置，其中所述可压缩材料的所述弹性模量小于所述结构的弹性模量。11.根据权利要求1所述的减压装置，其中所述可压缩材料在被重复压缩和解压缩之后保持处于线性弹性状态。12.根据权利要求1所述的减压装置，其中当所述可压缩材料被压缩和解压缩时，所述可压缩材料被配置为变形，并且所述可压缩材料的变形是非永久的。13.根据权利要求1所述的减压装置，其中所述可压缩材料是聚合物材料。14.根据权利要求13所述的减压装置，其中所述聚合物材料是聚酰亚胺、聚四氟乙烯、聚苯并咪唑或聚醚醚酮。15.根据权利要求1所述的减压装置，其中所述减压组件是覆盖所述结构的所述内表面的至少一部分的内衬，并且覆盖所述结构的所述内表面的所述内衬的体积与包含在所述结构的所述空腔内的所述目标材料的体积的比率至少是1。16.根据权利要求15所述的减压装置，其中所述可压缩材料是聚酰亚胺，使得所述内衬由聚酰亚胺形成，所述结构由钼形成，并且所述内衬的体积占据所述结构的所述空腔的至
少80％，并且所述目标材料的体积占据所述结构的所述空腔的其余部分，并且其中所述聚酰亚胺内衬经历弹性变形并且不经历永久变形或塑性变形。17.根据权利要求1所述的减压装置，其中所述可压缩材料是具有闭孔的硬质泡沫材料。18.根据权利要求1所述的减压装置，其中所述可压缩材料由聚酰亚胺形成。19.一种被配置为将目标材料的颗粒递送至室内部的目标空间的目标材料供应系统，所述目标材料供应系统包括：一个或多个结构，每个结构被配置为将所述目标材料保持在由所述结构的内表面限定的空腔内；以及与所述结构中的至少一个结构相关联的减压装置，所述减压装置包括被动减压设备，所述被动减压设备包括可压缩机构，所述可压缩机构与所述空腔流体连通并且被配置为被动地改变所述空腔中的压力；其中所述可压缩机构使所述空腔的有效体积膨胀以补偿所述空腔中的目标材料的体积的增加。20.根据权利要求19所述的目标材料供应系统，其中所述空腔中的所述目标材料的体积的增加是由所述目标材料的温度变化引起的。21.根据权利要求20所述的目标材料供应系统，其中所述目标材料被配置为当处于等离子态时辐射极紫外光。22.根据权利要求19所述的目标材料供应系统，其中所述可压缩机构是覆盖与所述减压装置相关联的所述结构的所述内表面的至少一部分的内衬。23.根据权利要求22所述的目标材料供应系统，其中与所述减压装置相关联的所述结构是具有圆柱形空腔的中空圆柱形管，并且所述内衬覆盖所述中空圆柱形管的所述内表面的至少一部分。24.根据权利要求22所述的目标材料供应系统，其中所述内衬占据与所述减压装置相关联的所述结构的所述空腔的约90％。25.根据权利要求19所述的目标材料供应系统，其中所述可压缩机构是聚合物材料。26.根据权利要求19所述的目标材料供应系统，其中所述可压缩机构是不与所述目标材料反应并且被形成为与所述目标材料物理接触的惰性气体。27.根据权利要求26所述的目标材料供应系统，其中所述惰性气体是氩...

【专利技术属性】
技术研发人员：R，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：