【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于制造柔性微电子器件以及将其与刚性基板分离的技术
[0001]相关申请
[0002]本申请要求均于2020年10月6日提交的美国申请序列63/088.133号和美国申请序列63/088.150号的优先权,这些美国申请的内容以引用方式并入本文中。
[0003]
整体涉及柔性电子器件领域,并且更具体地涉及用于制造柔性微电子结构以及/或者用于将柔性微电子结构与刚性基板分离的技术。
技术介绍
[0004]在柔性电子器件(例如晶体管、电容器、二极管等)领域中使用的电子部件的制造工艺一般包括将柔性基板或聚合物基板(例如PET、PEN、PI等)牢固地结合到刚性基板(例如玻璃、硅晶片、SiO2/硅晶片等)。在制造工艺完成后,柔性基板或聚合物基板通常需要从刚性载体基板释放或脱离。已知现有方法昂贵且复杂,因此导致相对低的产率。
[0005]在柔性电子器件、不同器件中的柔性层和/或基板的具体实施以及用于制造它们的方法的领域中仍然存在挑战。
技术实现思路
[0006]根据一方面,提供了一种用于制造柔性微电子器件的层合结构。层合结构包括刚性基板;柔性微电子结构,该柔性微电子结构包括至少一个器件层;和至少一个柔性基板器件层;和脱离结构,该脱离结构设置在刚性基板与柔性微电子结构之间。脱离结构包括由非金属无机材料制成的至少一个脱离层。层合结构包括第一剥离表面和第二剥离表面。剥离表面中的至少一个剥离表面对应于脱离结构的表面或脱离结构内的表面。第一剥离表面和第二剥离表面能够通过由机械分层和/或加压流体分层 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于制造柔性微电子器件的层合结构,所述层合结构包括:刚性基板;柔性微电子结构,所述柔性微电子结构包括:至少一个器件层;和至少一个柔性基板器件层;脱离结构,所述脱离结构设置在所述刚性基板与所述柔性微电子结构之间,所述脱离结构包括:至少一个脱离层,所述至少一个脱离层由非金属无机材料制成,所述层合结构包括第一剥离表面和第二剥离表面,所述剥离表面中的至少一个剥离表面对应于所述脱离结构的表面或所述脱离结构内的表面,所述第一剥离表面和所述第二剥离表面能够通过由机械分层和/或加压流体分层产生的脱离力来剥离,从而允许将所述柔性微电子器件与所述刚性基板分离。2.根据权利要求1所述的层合结构,其中所述刚性基板包含以下中的至少一者:硅、氧化铝、钢、蓝宝石和玻璃。3.根据权利要求1或2所述的层合结构,其中所述脱离结构的所述至少一个脱离层是单一脱离层,所述单一脱离层包含以下中的一者:氧化物、氮化物、碳化物和氮氧化物。4.根据权利要求3所述的层合结构,其中单一层包含以下中的一者:二氧化硅、氮化硅、碳化硅和氮氧化硅。5.根据权利要求3或4所述的层合结构,其中所述单一层具有15μm或更小的厚度。6.根据权利要求1至5所述的层合结构,其中所述第一剥离表面对应于所述脱离结构的顶表面,并且所述第二剥离表面对应于所述柔性微电子结构的底表面。7.根据权利要求1至5所述的层合结构,其中所述第一剥离表面对应于所述脱离结构的底表面,并且所述第二剥离表面对应于所述刚性基板的顶表面。8.根据权利要求1或2所述的层合结构,其中所述至少一个脱离层至少包括第一脱离层和第二脱离层,在所述脱离结构内形成剥离界面。9.根据权利要求8所述的层合结构,其中:所述第一脱离层和所述第二脱离层中的一者包含金属或金属合金;并且所述第一脱离层和所述第二脱离层中的另一者包含以下中的一者:氧化物、氮化物、碳化物和氮氧化物。10.根据权利要求8或9所述的层合结构,其中所述第一脱离层和所述第二脱离层中的所述一者包含以下中的一者:Ni、Al、Cu或Pd或者它们的合金。11.根据权利要求8、9或10所述的层合结构,其中所述第一脱离层和所述第二脱离层中的所述另一者包含以下中的一者:二氧化硅、氮化硅、碳化硅和氮氧化硅。12.根据权利要求8至11中任一项所述的层合结构,其中在所述刚性基板上形成所述第一脱离层,并且在所述第一脱离层的顶部上形成所述第二脱离层。13.根据权利要求1至12中任一项所述的层合结构,其中所述至少一个脱离层包括图案化层,所述图案化层包括多个图案。14.根据权利要求13所述的层合结构,其中所述多个图案均匀地分布在所述脱离结构的所述层中的一个层的顶外表面和底外表面上,所述第一剥离表面对应于所述图案化层的
顶表面,并且所述第二剥离表面对应于所述刚性基板的所述顶表面。15.根据权利要求1至14中任一项所述的层合结构,其中所述第二脱离层具有20μm或更小的厚度。16.根据权利要求1至15中任一项所述的层合结构,所述层合结构还包括一个或多个附加层,所述一个或多个附加层在所述至少一个脱离层与所述柔性基板器件层之间延伸。17.根据权利要求16所述的层合结构,其中所述一个或多个附加层具有水分阻隔特性。18.根据权利要求1至17中任一项所述的层合结构,其中所述脱离结构的总厚度为20μm或更小。19.根据权利要求14至17中任一项所述的脱离结构材料,其中所述一个或多个附加层具有10
‑1g/m2/天或更低的水蒸气透过率。20.一种制造柔性微电子器件的方法,所述方法包括:通过以下操作来形成根据权利要求1至19中任一项所述的层合...
【专利技术属性】
技术研发人员:F,
申请(专利权)人:奥尼普莱科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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