荷电粒子检测器制造技术

本发明专利技术提供荷电粒子检测器，荷电粒子检测器(1)包括：微通道板(2)，其具有输入电子(荷电粒子)的输入面(2a)、维持电子的位置信息并且进行电子倍增的倍增部(5A、5B)和输出倍增部(5A、5B)的倍增电子的输出面(2b)；多倍增极(3)，其具有将从输出面(2b)输出的电子倍增的多个倍增极(12)和位于倍增极(12、12)间的绝缘区域(13)；和阳极(4)，其具有配置在输出面(2b)与多倍增极(3)之间的空间区域、收集倍增极(12)的倍增电子的收集部(21)和使从输出面(2b)输出的电子穿过至倍增极(12)侧的开口部(22)，在从来自输出面(2b)的电子的输出方向看时，绝缘区域(13)的全体与收集部(21)重叠。绝缘区域(13)的全体与收集部(21)重叠。绝缘区域(13)的全体与收集部(21)重叠。

【技术实现步骤摘要】
荷电粒子检测器


[0001]本专利技术涉及荷电粒子检测器。

技术介绍

[0002]在具备微通道板的荷电粒子检测器中，追求该微通道板的输出线性的提高。微通道板的输出线性与微通道板的电阻值成反比例。因此，虽然微通道板必须低电阻化，但是通过低电阻化实现的输出线性的改善已临近界限。
[0003]为了从其它的观点谋求输出线性的改善，研究了在微通道板组合网状阳极和多倍增极(multi
‑
dynode)的三极管构造。作为具有三极管构造的现有的荷电粒子检测器，例如有日本特开昭57
‑
196466号公报中记载的电子倍增装置。该现有的电子倍增装置包括进行2次电子放射的至少一个微通道板。微通道板具有输入面和输出面，与输出面平行地配置有倍增极和栅格状的阳极。

技术实现思路

[0004]在上述日本特开昭57
‑
196466号公报的图4中，在绝缘基板上配置有多个独立的元件的多倍增极与栅格状的阳极一起与微通道板的输出面平行地配置。但是，在这样的结构中，构成多倍增极的绝缘基板的元件间区域(绝缘区域)本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种荷电粒子检测器，其特征在于，包括：微通道板，其具有输入荷电粒子的输入面、维持所述荷电粒子相对于所述输入面的位置信息并且进行基于所述荷电粒子的输入的电子倍增的倍增部和输出由所述倍增部倍增的电子的输出面；多倍增极，其具有将从所述输出面输出的所述电子倍增的多个倍增极和位于所述倍增极间的绝缘区域；和阳极，其具有配置在所述输出面与所述多倍增极之间的空间区域、收集由所述倍增极倍增的电子的收集部和使从所述输出面输出的电子穿过至所述多倍增极侧的开口部，在从来自所述输出面的所述电子的输出方向看时，所述绝缘区域的全体与所述收集部重叠。2.如权利要求1所述的荷电粒子检测器，其特征在于：所述阳极所述输出面与所述多倍增极的中间位置相比配置得更靠近所述多倍增极侧。3.如权利要求1或2所述的荷电粒子检测器，其特征在于：所述阳极还包括架设于所述开口部的辅助收集部。4.如权利要求3所述的荷电粒子检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：林雅宏，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：