舱门升降机构及密封舱门制造技术

本申请公开了一种舱门升降机构及密封舱门，该舱门升降机构包括：丝杠，丝杠的一端与基座相连；连接桥板，通过连接柱与舱门相连，连接桥板具有通孔，丝杠从通孔穿过；丝母，与丝杠相连，丝母可沿丝杠的轴向移动；转接单元，位于丝母与连接桥板之间，丝母通过转接单元与连接桥板相连，转接单元可避免丝母旋转传至连接桥板；驱动单元，通过驱动连接板与转接单元相连；其中，驱动单元通过转接单元驱动丝母旋转，丝母可沿丝杠的轴向移动以调整舱门与基座的距离。该机构使得丝母与舱门间具有离合功能，舱门位于待锁紧位置时，丝母与舱门相分离，避免舱门锁紧阶段的下移损坏丝母、丝杠，当舱门需要抬升时，丝母又可与舱门接合，实现舱门的抬升。升。升。

【技术实现步骤摘要】
舱门升降机构及密封舱门


[0001]本专利技术涉及半导体加工制造
，更具体地，涉及一种舱门升降机构及密封舱门。

技术介绍

[0002]半导体材料作为半导体及微电子工业的基础，经过不断的升级和演进已经得到了极大的发展。其生产工艺过程中已经形成了在生产和搬运过程中采用金属或非金属材料制成的扩展托环与半导体晶圆材料同心套合，起到支撑和保护半导体晶圆材料的作用。这一结构已经越来越广泛的应用在半导体材料行业的生产制造过程中。
[0003]现有半导体材料生产过程中，通常需要用到密封的腔室，以隔绝外界影响，并可通过向密闭的腔室内通入不同的气体实现各种半导体结构所需的层，随着工艺的多样化和工艺技术、生产效率的提升，现有的密封腔室的密封性已经逐渐难以满足需求，重复密封效果差，密封压紧时可能损伤舱门升降的相关结构，使用寿命短，可靠性低。
[0004]期望进一步改进舱门升降机构及密封舱门，提升其重复密封的效果，减少设备损伤，提升可靠性。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是提供一种舱门升降机构及密封舱门，使得丝母与舱门间具有离合功能，舱门位于待锁紧位置时，丝母与舱门相分离，避免舱门锁紧阶段的下移损坏丝母、丝杠，当舱门需要抬升时，丝母又可与舱门接合，实现舱门的抬升。该舱门升降机构使得舱门可以使用单独的密封机构进行密封，可提升其重复密封的效果，减少设备损伤，提升可靠性。
[0006]根据本专利技术的一方面，提供一种舱门升降机构，其特征在于，包括：丝杠，所述丝杠的一端与基座相连；连接桥板，通过连接柱与舱门相连，所述连接桥板具有通孔，所述丝杠从所述通孔穿过；丝母，与所述丝杠相连，所述丝母可沿所述丝杠的轴向移动；转接单元，位于所述丝母与所述连接桥板之间，所述丝母通过所述转接单元与所述连接桥板相连，所述转接单元可避免所述丝母旋转传至所述连接桥板；驱动单元，通过驱动连接板与所述转接单元相连；其中，所述驱动单元通过所述转接单元驱动所述丝母旋转，所述丝母可沿所述丝杠的轴向移动以调整所述舱门与所述基座的距离；所述转接单元使所述丝母可在预设范围内相对于所述连接桥板沿所述丝杠的轴向滑动。
[0007]优选地，所述丝杠的一端与所述基座通过莫氏锥度连接。
[0008]优选地，所述丝杠为两根，两根所述丝杠在所述丝杠的另一端通过丝杠连接板相连，两根所述丝杠与所述丝杠连接板形成矩形框，所述舱门在所述矩形框的范围内沿所述丝杠上下移动。
[0009]优选地，所述连接桥板的通孔内设置有第一轴承，所述连接桥板的通孔的上下两侧分别设置有第一轴承上部挡圈和第一轴承下部挡圈以防止第一轴承的外圈从所述通孔
中脱出。
[0010]优选地，所述转接单元包括：第一轴承，位于所述连接桥板的通孔中，所述第一轴承的外圈与所述连接桥板相连，所述第一轴承的内圈可相对于所述第一轴承的外圈沿丝杠方向滑动；第一驱动轴，与所述驱动单元相连，所述第一驱动轴的内侧与所述丝母相连，所述第一驱动轴的外侧与所述第一轴承的内圈相连。推力轴承，位于所述连接桥板下方，所述推力轴承的动圈与所述第一驱动轴相连，所述推力轴承的静圈与所述第一轴承下部挡圈相对设置。
[0011]优选地，所述转接单元通过所述推力轴承的静圈与所述第一轴承下部挡圈的分离与接触实现所述丝母与所述舱门的离合功能。
[0012]优选地，该舱门升降机构还包括：第二驱动轴，位于所述丝母下方，与所述第一驱动轴相连；第二轴承，套设于所述第二驱动轴，所述第二轴承的内圈与所述第二驱动轴相连，所述第二轴承的外圈与所述驱动连接板相连。
[0013]优选地，所述第一轴承包括滚针轴承，所述推力轴承包括推力球轴承，所述第二轴承包括深沟球轴承。
[0014]优选地，该舱门升降机构还包括：第一限位单元，用于限制所述丝母上升至丝杠最高点，所述第一限位单元具有位于连接桥板上的定位杆和位于丝杠连接板上的传感器；第二限位单元，用于限制所述丝母下降至丝杠底端，避免所述转接单元与所述舱门发生碰撞，所述第二限位单元具有位于舱门上的定位杆和位于所述驱动连接板侧面的传感器。
[0015]优选地，当所述舱门被所述基座托起，所述丝母继续下移直至所述第二限位单元触发，所述丝母继续下移的距离不小于所述舱门的锁紧距离。
[0016]根据本专利技术的另一方面，还提供一种密封舱门，其特征在于，包括：基座；舱门，位于所述基座上，与所述基座相对设置；如上任一项所述的舱门升降机构；其中，所述舱门升降机构可驱动所述舱门沿所述丝杠方向移动，实现舱门的抬升与下降。
[0017]优选地，所述密封舱门还包括锁紧机构，当所述舱门被下降至待锁紧位置时，通过所述锁紧机构使舱门继续下行，实现所述舱门与所述基座的密封。
[0018]本专利技术实施例提供的舱门升降机构及密封舱门，通过采用转接单元将丝母与舱门相连，该转接单元使得丝母可在预设距离内移动而不随舱门一起移动，从而避免舱门通过锁紧机构下行锁紧时，连带丝母下行，从而损坏丝母丝杠运动副。该舱门升降机构不仅可实现舱门的抬升与下降，还可规避舱门的锁紧阶段对丝杠、丝母造成损坏，并设置有多个传感器进行上限位和下限位，结构可靠性高，对应的密封舱门不仅实现了舱门的升降，还可提供了舱门锁紧所需的锁紧距离。
附图说明
[0019]通过以下参照附图对本专利技术实施例的描述，本专利技术的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚。
[0020]图1示出了本专利技术实施例密封舱门的示意图；图2示出了本专利技术实施例舱门升降机构的局部放大示意图；图3示出了本专利技术实施例舱门升降机构的爆炸示意图；图4示出了本专利技术实施例舱门升降机构升至顶部的局部截面示意图；
图5示出了本专利技术实施例舱门升降机构降至舱门被基座托起时的局部截面示意图；待锁紧位置的局部截面示意图；图6示出了本专利技术实施例舱门升降机构降至下限位的局部截面示意图。
[0021]附图标记说明：基座10，舱门20，连接桥板21，连接柱22，丝杠31，丝母32，丝杠连接板33，转接单元40，驱动单元50，第一轴承上部挡圈211，第一轴承下部挡圈212，第一驱动轴410、第一驱动轴上段411，第一驱动轴中段412，第一驱动轴下段413，推力轴承414，第二驱动轴420，深沟球轴承421，外圈挡圈422，内圈挡圈423，锁紧螺母424，第一轴承430，第一轴承外圈431，滚针432，第一轴承内圈433，驱动挡圈440，伺服电机510，减速器511，驱动轮512，从动轮513，传动带514，驱动连接板520，电机连接孔521，导套连接孔522，导套523，驱动连接孔524，传感器525，定位杆526，台阶527，
具体实施方式
[0022]以下将参照附图更详细地描述本专利技术。在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，可能未示出某些公知的部分。
[0023]应当理解，在描述部件的结构时，当将一层、一个区域称为位于另一层、另一个区域“上面”或“上方”时，可以指直接位于另一层、另一个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种舱门升降机构，其特征在于，包括：丝杠，所述丝杠的一端与基座相连；连接桥板，通过连接柱与舱门相连，所述连接桥板具有通孔，所述丝杠从所述通孔穿过；丝母，与所述丝杠相连，所述丝母可沿所述丝杠的轴向移动；转接单元，位于所述丝母与所述连接桥板之间，所述丝母通过所述转接单元与所述连接桥板相连，所述转接单元可避免所述丝母旋转传至所述连接桥板；驱动单元，通过驱动连接板与所述转接单元相连；其中，所述驱动单元通过所述转接单元驱动所述丝母旋转，所述丝母可沿所述丝杠的轴向移动以调整所述舱门与所述基座的距离；所述转接单元使所述丝母可在预设范围内相对于所述连接桥板沿所述丝杠的轴向滑动。2.根据权利要求1所述的舱门升降机构，其特征在于，所述丝杠的一端与所述基座通过莫氏锥度连接。3.根据权利要求1所述的舱门升降机构，其特征在于，所述丝杠为两根，两根所述丝杠在所述丝杠的另一端通过丝杠连接板相连，两根所述丝杠与所述丝杠连接板形成矩形框，所述舱门在所述矩形框的范围内沿所述丝杠上下移动。4.根据权利要求3所述的舱门升降机构，其特征在于，所述连接桥板的通孔内设置有第一轴承，所述连接桥板的通孔的上下两侧分别设置有第一轴承上部挡圈和第一轴承下部挡圈以防止第一轴承的外圈从所述通孔中脱出。5.根据权利要求4所述的舱门升降机构，其特征在于，所述转接单元包括：第一轴承，位于所述连接桥板的通孔中，所述第一轴承的外圈与所述连接桥板相连，所述第一轴承的内圈可相对于所述第一轴承的外圈沿丝杠方向滑动；第一驱动轴，与所述驱动单元相连，所述第一驱动轴的内侧与所述丝母相连，所述第一驱动轴的外侧与所述第一轴承的内圈相连；推力轴承，位于所述连接桥板下方，所述推力轴承的动圈与所述第一驱动轴相连，所述推力轴承...

【专利技术属性】
技术研发人员：李书田，胡晓海，
申请(专利权)人：北京中科重仪半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：