一种冷阱氦气纯化器制造技术

本实用新型专利技术属于纯化器技术领域，尤其是一种冷阱氦气纯化器，现提出如下方案，其包括杜瓦罐，所述杜瓦罐的内侧分别固定安装有连通管和低温吸附纯化管，所述低温吸附纯化管与连通管相连通，杜瓦罐的顶部设有对称设置的插入管，插入管的数量为两个，两个插入管的外侧分别与连通管和低温吸附纯化管的内侧滑动接触，两个插入管的顶部均固定安装有第一隔膜阀，两个第一隔膜阀的顶部均固定安装有L形管，本实用新型专利技术中：内部填料为特制煤基活性炭，可以更好地脱出原料氦气中所含有的杂质，主要脱出所含有的氩气杂质，同时可以生产纯度为9N的高纯度氦气，具有结构创新、加工便捷和操作简单等特点，并且设备可进行拆解，方便运输。方便运输。方便运输。

【技术实现步骤摘要】
一种冷阱氦气纯化器


[0001]本技术涉及纯化器
，尤其涉及一种冷阱氦气纯化器。

技术介绍

[0002]随着集成电路行业的快速发展，对于在集成电路生产过程中对所用到的气体要求也是越来越严格，对于色谱检验过程中所涉及的气体纯度也是要求越来越高，对于气体中所涉及杂质要求小于1ppb，现阶段所有氦气低温纯化方法生产气体的纯度仅能达到5N气要求，无法满足上述所涉及到的气体纯度，并且纯化器本体不方便运输，因此，本技术提出一种冷阱氦气纯化器，用于解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在阶段所有氦气低温纯化方法生产气体的纯度仅能达到5N气要求，无法满足上述所涉及到的气体纯度，并且纯化器本体不方便运输的缺点，而提出的一种冷阱氦气纯化器。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]一种冷阱氦气纯化器，包括杜瓦罐，所述杜瓦罐的内侧分别固定安装有连通管和低温吸附纯化管，所述低温吸附纯化管与连通管相连通，杜瓦罐的顶部设有对称设置的插入管，插入管的数量为两个，两个插入管的外侧分别与连通管和低温吸附纯化管的内侧滑动接触，两个插入管的顶部均固定安装有第一隔膜阀，两个第一隔膜阀的顶部均固定安装有L形管，两个L形管的顶部均固定安装有气压力表，两个L形管相互靠近的一侧固定安装有同一个第二隔膜阀；
[0006]杜瓦罐的顶部分别设有控制机构和定位机构，定位机构分别与插入管和控制机构相配合。
[0007]借由上述机构：内部填料为特制煤基活性炭，可以更好地脱出原料氦气中所含有的杂质，主要脱出所含有的氩气杂质，同时可以生产纯度为9N的高纯度氦气，具有结构创新、加工便捷和操作简单等特点，并且设备可进行拆解，方便运输。
[0008]优选的，所述定位机构包括固定板、弹簧和定位架；
[0009]固定板固定安装在杜瓦罐的顶部，定位架滑动连接在杜瓦罐的顶部，弹簧分别与固定板和定位架固定连接。
[0010]进一步的，在定位架与插入管啮合后，定位架就可将插入管和杜瓦罐连接起来，来将插入管定位在杜瓦罐上，使得两个插入管可分别与连通管和低温吸附纯化管连接，来使用杜瓦罐。
[0011]优选的，所述控制机构包括拉动杆、滑动架、伸缩杆、定位盘和定位杆；
[0012]拉动杆分别与定位架和滑动架转动连接，滑动架滑动连接在杜瓦罐的顶部，伸缩杆分别与杜瓦罐和滑动架转动连接，定位盘固定安装在滑动架的顶部，定位杆滑动连接在伸缩杆的顶部。
[0013]进一步的，在伸缩杆被推动转动后，伸缩杆就可带动滑动架移动，滑动架就可推动或者拉动推动杆，使得推动杆可拉动定位架移动，使得定位架可放开插入管，来关闭杜瓦罐。
[0014]优选的，所述定位盘上开设有等间距排列的多个定位槽，定位杆的顶端与定位槽可脱离式卡接。
[0015]进一步的，在定位杆插入到定位槽的内侧后，定位杆就可阻挡伸缩杆转动，就可实现对伸缩杆的定位，使得伸缩杆无法控制定位架的位置，来对定位架的位置进行定位，就可稳定的使用定位架。
[0016]优选的，两个插入管的外侧均固定套设有定位环，定位环的外侧与定位架的内侧滑动接触。
[0017]进一步的，在定位环与定位架啮合后，定位环就可被定位架阻挡移动，定位环就可对插入管进行定位。
[0018]优选的，所述定位架的底部固定安装有对称设置的橡胶垫，两个橡胶垫分别与连通管和低温吸附纯化管的顶部滑动接触。
[0019]进一步的，橡胶垫用于与杜瓦罐内侧的连通管和低温吸附纯化管的顶部进行贴合，来关闭杜瓦罐，方便运输。
[0020]优选的，位于左侧位置的L形管依次连接位于左侧位置的气压力表、第二隔膜阀、位于右侧位置的气压力表和位于右侧位置的L形管，第二隔膜阀的进气端依次与位于左侧位置的第一隔膜阀、低温吸附纯化管和位于右侧位置的第一隔膜阀连接，位于右侧位置的第一隔膜阀的出口与位于左侧位置的第一隔膜阀的出气端相连接。
[0021]有益效果：
[0022]1、在定位架与插入管啮合后，定位架就可将插入管和杜瓦罐连接起来，来将插入管定位在杜瓦罐上，使得两个插入管可分别与连通管和低温吸附纯化管连接，来使用杜瓦罐；
[0023]2、在伸缩杆被推动转动后，伸缩杆就可带动滑动架移动，滑动架就可推动或者拉动推动杆，使得推动杆可拉动定位架移动，使得定位架可放开插入管，来关闭杜瓦罐；
[0024]本技术中：内部填料为特制煤基活性炭，可以更好地脱出原料氦气中所含有的杂质，主要脱出所含有的氩气杂质，同时可以生产纯度为9N的高纯度氦气，具有结构创新、加工便捷和操作简单等特点，并且设备可进行拆解，方便运输。
附图说明
[0025]图1为本技术提出的一种冷阱氦气纯化器的结构主视三维示意图；
[0026]图2为本技术提出的一种冷阱氦气纯化器的结构后视剖视三维示意图；
[0027]图3为本技术提出的一种冷阱氦气纯化器的结构定位机构三维示意图；
[0028]图4为本技术提出的一种冷阱氦气纯化器的结构定位机构仰视三维示意图；
[0029]图5为本技术提出的一种冷阱氦气纯化器的结构控制机构三维示意图；
[0030]图6为本技术提出的一种冷阱氦气纯化器的结构工作流程图示意图。
[0031]图中：1、杜瓦罐；2、插入管；3、第一隔膜阀；4、L形管；5、第二隔膜阀；6、气压力表；7、连通管；8、低温吸附纯化管；9、固定板；10、弹簧；11、定位架；12、拉动杆；13、滑动架；14、
伸缩杆；15、定位盘；16、定位杆。
具体实施方式
[0032]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0033]实施例一
[0034]参照图1
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5，一种冷阱氦气纯化器，包括杜瓦罐1，杜瓦罐1的内侧分别固定安装有连通管7和低温吸附纯化管8，低温吸附纯化管8与连通管7相连通，杜瓦罐1的顶部设有对称设置的插入管2，插入管2的数量为两个，两个插入管2的外侧分别与连通管7和低温吸附纯化管8的内侧滑动接触，两个插入管2的顶部均固定安装有第一隔膜阀3，两个第一隔膜阀3的顶部均固定安装有L形管4，两个L形管4的顶部均固定安装有气压力表6，两个L形管4相互靠近的一侧固定安装有同一个第二隔膜阀5；
[0035]杜瓦罐1的顶部分别设有控制机构和定位机构，定位机构分别与插入管2和控制机构相配合。
[0036]借由上述机构：内部填料为特制煤基活性炭，可以更好地脱出原料氦气中所含有的杂质，主要脱出所含有的氩气杂质，同时可以生产纯度为9N的高纯度氦气，具有结构创新、加工便捷和操作简单等特点，并且设备可进行拆解，方便运输。
[0037]本技术中，定位机构包括固定板9、弹簧10和定位架1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种冷阱氦气纯化器，包括杜瓦罐(1)，其特征在于，所述杜瓦罐(1)的内侧分别固定安装有连通管(7)和低温吸附纯化管(8)，所述低温吸附纯化管(8)与连通管(7)相连通，杜瓦罐(1)的顶部设有对称设置的插入管(2)，插入管(2)的数量为两个，两个插入管(2)的外侧分别与连通管(7)和低温吸附纯化管(8)的内侧滑动接触，两个插入管(2)的顶部均固定安装有第一隔膜阀(3)，两个第一隔膜阀(3)的顶部均固定安装有L形管(4)，两个L形管(4)的顶部均固定安装有气压力表(6)，两个L形管(4)相互靠近的一侧固定安装有同一个第二隔膜阀(5)；杜瓦罐(1)的顶部分别设有控制机构和定位机构，定位机构分别与插入管(2)和控制机构相配合。2.根据权利要求1所述的一种冷阱氦气纯化器，其特征在于，所述定位机构包括固定板(9)、弹簧(10)和定位架(11)；固定板(9)固定安装在杜瓦罐(1)的顶部，定位架(11)滑动连接在杜瓦罐(1)的顶部，弹簧(10)分别与固定板(9)和定位架(11)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种冷阱氦气纯化器，其特征在于，所述控制机构包括拉动杆(12)、滑动架(13)、伸缩杆(14)、定位盘(15)和定位杆(16)；拉动杆(12)分别与定位架(11)和滑动架(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯鹏，郭喜顺，赵艳东，张帆，钱吉，刘松青，韩江江，刘思宇，
申请(专利权)人：大连华邦化学有限公司，
类型：新型
国别省市：