测量设备的气浮减震结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种测量设备的气浮减震结构，包括气浮减震部和设置于气浮减震部的外周的支撑部，气浮减震部和支撑部设置于测量设备的基座和测量设备的主机之间，主机具有多个孔，支撑部具有多个与多个孔匹配的柱体，多个柱体与多个孔可活动地嵌套设置，其中，气浮减震部处于工作状态时的整体高度大于支撑部的高度。本实用新型专利技术所涉及的测量设备的气浮减震结构，能够对气浮部件进行保护同时具有良好的稳定性。稳定性。稳定性。

【技术实现步骤摘要】
测量设备的气浮减震结构


[0001]本技术大体涉及设备减震，具体涉及一种测量设备的气浮减震结构。

技术介绍

[0002]三坐标测量机广泛应用于各种工业测量。然而工业环境复杂多变，特别是在一些生产环境中，存在大量器械，各种器械的运行很容易造成各种震动，这些震动对于三坐标测量机的精确测量是很不利的。现有技术通常采用在三坐标测量机的主机机身和机身底座间设置减震器的方案来解决震动问题，其中较常用的减震器类型为气浮减震类型，气浮减震相较于一般的减震器(例如减震垫)可调节、减震效果更好、精度更高，且具有主动控制的特点，能够满足非常精确的减震需要。
[0003]现有技术中类似的方案有例如公告号为CN 215339960 U的专利公开了一种用于承载移动平台的主动减震控制系统，用于X射线无损探伤测试机中，其通过气浮减震和支撑，并通过主动检测负载变化来实时控制气浮以使气浮减震具有自适应能力。又例如公告号为CN207599259U的专利公开了一种气浮减震支撑装置，用于半导体量测设备中，其亦是通过气浮减震和支撑，并通过感应负载变化来调节气浮以达到自平衡减震效果本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量设备的气浮减震结构，所述测量设备包括基座和主机，其特征在于，包括气浮减震部和设置于所述气浮减震部的外周的支撑部，所述气浮减震部和所述支撑部设置于所述基座和所述主机之间，所述主机具有多个孔，所述支撑部具有多个与所述多个孔匹配的柱体，多个所述柱体与所述多个孔可活动地嵌套设置，其中，所述气浮减震部处于工作状态时的整体高度大于所述支撑部的高度。2.根据权利要求1所述的气浮减震结构，其特征在于，所述主机还包括具有所述多个孔的工作台。3.根据权利要求1所述的气浮减震结构，其特征在于，所述主机还包括工作台和具有所述多个孔的第一连接板，所述第一连接板设置于所述气浮减震部与所述工作台之间。4.根据权利要求1所述的气浮减震结构，其特征在于，所述支撑部的数量为多个，多个所述支撑部对称布置于所述气浮减震部的外周。5.根据权利要求4所述的气浮减震结构，其特征在于，所述支撑部的支撑主体呈柱状且两端具有形成于所述支撑主体的凸起，靠近所述主机的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐爱文，陈源，程龙军，
申请(专利权)人：深圳市中图仪器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：