本申请属于玻璃镀膜技术领域，提供了一种密封检测装置及镀膜设备，密封检测装置包括罩体，罩体上设有进气口和排气口，进气口与检测腔连通；第一排气管，第一排气管设置在检测腔内，第一排气管的一端与排气口连通，另一端与阴极端头中第二腔体连通；气泵组件，气泵组件与进气口连通；漏气检测组件与排气口连通，漏气检测组件用于检测排气口中是否有气体排出。本申请还提供一种镀膜设备，包括上述密封检测装置。本申请提供的密封检测装置，通过在罩体的进气口处设有气泵组件，在罩体的排气口处设有漏气检测组件，从而能够及时对阴极端头进行密封性的保养维修，避免在运行过程中出现密封性问题，提高镀膜设备的生产效率。提高镀膜设备的生产效率。提高镀膜设备的生产效率。
【技术实现步骤摘要】
密封检测装置及镀膜设备
[0001]本申请属于玻璃镀膜
，更具体地说，是涉及一种密封检测装置及镀膜设备。
技术介绍
[0002]磁控溅射真空镀膜的具体方法是在真空条件下电离惰性气体，气体离子在电场的作用下，轰击金属靶材使金属原子沉积到玻璃表面上。磁控溅射是一种新型的高速、低温溅射镀膜方法，它是在专门的真空设备中，借助于高压直线溅射装置进行的。磁控溅射镀膜工艺的原理是：将玻璃送入设有旋转阴极和溅射气体的真空室内，旋转阴极加负电压，在真空室内辉光放电，产生等离子体。由于金属靶材带负电，等离子中带正电的气体离子被加速，并以相当于靶极位降U的能量冲击靶面，将金属靶的原子轰出来，使之沉淀在玻璃表面形成金属膜。
[0003]其中，旋转阴极完成的主要作用是将外部电源传入至真空环境内的靶材上，利用电源的能量，在靶材表面产生等离子体，所以镀膜的过程需要在真空的环境中进行。然而与阴极端头的一侧需要与处于真空环境的旋转阴极连接，另一侧需要与带动靶筒转动的驱动装置连接，所以镀膜设备中的阴极端头内部需要保持良好的密封性，以避免破坏内部进行镀膜的真空环境。现有的镀膜设备一般会设有气压检测装置，用于实时检测真空环境中的气压情况，只有在真空环境内的气压无法达到真空状态的气压时，先停机，再对阴极端头进行密封性的保养维修，从而严重降低生产效率。
技术实现思路
[0004]本申请实施例的目的在于提供一种密封检测装置，以解决现有技术的镀膜设备中的镀膜端头在密封性问题时，再停机对阴极端头进行密封性的保养维修，导致镀膜设备的生产效率低的技术问题。
[0005]为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种密封检测装置，包括：罩体，所述罩体内形成有检测腔，所述检测腔与阴极端头的第一腔体连通，所述罩体上设有进气口和排气口，所述进气口与所述检测腔连通；第一排气管，所述第一排气管设置在所述检测腔内，所述第一排气管的一端与所述排气口连通，另一端与所述镀膜设备中第二腔体连通；气泵组件，所述气泵组件与所述进气口连通，所述气泵组件用于通过进气口向所述检测腔内传输气体；漏气检测组件，所述漏气检测组件与所述排气口连通，所述漏气检测组件用于检测所述排气口中是否有气体排出。
[0006]本申请提供的密封检测装置的有益效果在于：与现有技术相比，本申请的密封检测装置通过在罩体内形成有用于与阴极端头连通的检测腔，并且在罩体上设有进气口和排气口，气泵组件与进气口连通，漏气检测组件与排气口连通，当需要对阴极端头进行密封性检测时，直接将阴极端头内其中一个待检测的腔体与检测腔连通，接着启动气泵组件通过进气口向检测腔内泵入气体，如果漏气检测组件中没有检测到排气口有气体排出，说明检
测腔内的气体无法进入到阴极端头的第二腔体内，则证明阴极端头内的密封性良好，相反如果漏气检测组件中检测到排气口有气体排出，说明检测腔内的气体进入到阴极端头的第二腔体内，证明阴极端头内的两个待检测的腔体之间的密封性不好，能够在设备运行前发现密封性问题，及时对阴极端头进行密封性的保养维修，避免密封性问题在运行过程中出现，从而避免镀膜设备在运行停机对阴极端头进行密封性的保养维修，提高镀膜设备的生产效率。
[0007]在其中一个实施例中，所述罩体的一侧开设有用于与所述阴极端头连接的安装口，所述安装口与所述检测腔连通，所述罩体与所述阴极端头之间设有第一密封件。
[0008]在其中一个实施例中，所述罩体包括有密封罩、密封盖和第二密封件，所述密封罩上设有与所述检测腔连通的连接口，所述密封盖上设有通孔，所述密封盖与所述密封罩连接，通孔与连接口对应连通，以形成安装口，所述第二密封件设置在所述密封罩和所述密封盖之间。
[0009]在其中一个实施例中，所述密封罩包括有检测部和连接部，所述连接部设置在所述检测部靠近所述密封罩的一侧，所述连接部上设有第一连接孔，所述密封罩的对应位置上设有第二连接孔，所述第一连接孔和所述第二连接孔用于辅助所述连接部与所述密封罩连接在一起。
[0010]在其中一个实施例中，所述密封盖上还设有用于与所述阴极端头连接的第三连接孔。
[0011]在其中一个实施例中，所述气泵组件包括有气泵体和第二排气管，所述第二排气管两端分别与所述气泵体和所述进气口连通，所述气泵体能够通过所述第二排气管向所述检测腔内输送气体。
[0012]在其中一个实施例中，所述漏气检测组件包括有液体容器和第三排气管，所述液体容器内具有用于辅助检测的液体，所述第三排气管一端与所述排气口连通，另一端插入在所述液体容器的液体中。
[0013]本申请的第二技术方案，提供一种镀膜设备，包括：上述任一项实施例所述的密封检测装置。
[0014]在其中一个实施例中，还包括有阴极端头，所述阴极端头内具有与相互独立的第一腔体和第二腔体，所述第一腔体和所述第二腔体之间设有第三密封件，其中，所述第一腔体与所述检测腔连通，所述第二腔体与所述第一排气管连通。
[0015]在其中一个实施例中，所述阴极端头靠近所述密封检测装置的一侧设有让位口和出气口，所述让位口与所述第一腔体连通，所述出气口与所述第二腔体连通，所述第一排气管靠近所述阴极端头的一端与所述出气口连通。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本申请实施例提供的密封检测装置的立体结构示意图；
[0018]图2为图1所示的罩体的分解结构图；
[0019]图3为图1所示的密封检测装置与阴极端头连接的立体结构示意图；
[0020]图4为3所示的密封检测装置与阴极端头连接的剖面结构示意图。
[0021]其中，图中各附图标记：
[0022]10、罩体；101、检测腔；102、进气口；103、排气口；104、安装口；11、密封罩；111、检测部；112、连接部；113、第一连接孔；12、密封盖；121、第二连接孔；122、第三连接孔；13、第一密封件；14、第二密封件；
[0023]20、第一排气管；
[0024]30、第二排气管；
[0025]40、漏气检测组件；41、液体容器；42、第三排气管；
[0026]50、阴极端头；501、第一腔体；502、第二腔体；503、让位口；504、出气口；51、第三密封件；52、第四密封件。
具体实施方式
[0027]为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0028]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种密封检测装置，其特征在于，包括：罩体，所述罩体内形成有检测腔，所述检测腔与阴极端头的第一腔体连通，所述罩体上设有进气口和排气口，所述进气口与所述检测腔连通；第一排气管，所述第一排气管设置在所述检测腔内，所述第一排气管的一端与所述排气口连通，另一端与所述阴极端头中的第二腔体连通；气泵组件，所述气泵组件与所述进气口连通，所述气泵组件用于通过进气口向所述检测腔内传输气体；漏气检测组件，所述漏气检测组件与所述排气口连通，所述漏气检测组件用于检测所述排气口中是否有气体排出。2.如权利要求1所述的密封检测装置，其特征在于：所述罩体的一侧开设有用于与所述阴极端头连接的安装口，所述安装口与所述检测腔连通，所述罩体与所述阴极端头之间设有第一密封件。3.如权利要求2所述的密封检测装置，其特征在于：所述罩体包括有密封罩、密封盖和第二密封件，所述密封罩上设有与所述检测腔连通的连接口，所述密封盖上设有通孔，所述密封盖与所述密封罩连接，通孔与连接口对应连通，以形成安装口，所述第二密封件设置在所述密封罩和所述密封盖之间。4.如权利要求3所述的密封检测装置，其特征在于：所述密封罩包括有检测部和连接部，所述连接部设置在所述检测部靠近所述密封罩的一侧，所述连接部上设有第一连接孔，所述密封罩的对应位置上设有第二连接孔，所述第一连接孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：董清世，周庆国，
申请(专利权)人：信义玻璃工程东莞有限公司，
类型：新型
国别省市：
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