一种芯片检测用芯片支撑结构制造技术

本发明专利技术提供一种芯片检测用芯片支撑结构，属于支撑结构领域。特别涉及一种芯片检测时对芯片进行支撑调节的支撑结构。包括：固定座，固定座上设置有多组底部支撑台，底部支撑台为固定座主体向下延伸形成的支撑结构，以进行固定座的悬空支撑固定；安装置于固定座中部的吸附组件，以进行芯片的吸附固定，吸附组件为真空吸附固定；所述固定座上设置有一体形成的芯片支撑结构，支撑结构支撑面高于吸附组件吸附面，支撑结构底部设置有调节组件，通过在芯片支托底部对应设置有支托臂，支托臂独立进行调节，对芯片支撑的局部点位进行升降调节。对芯片支撑的局部点位进行升降调节。对芯片支撑的局部点位进行升降调节。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片检测用芯片支撑结构


[0001]本专利技术提供一种芯片检测用芯片支撑结构，属于支撑结构领域。特别涉及一种芯片检测时对芯片进行支撑调节的支撑结构。

技术介绍

[0002]目前，在进行芯片进行检测时，需要对芯片进行支撑，现有的支撑结构固定，不能够进行芯片的多点支托，且对应调节，对芯片的支托不能够进行调节支托，由于芯片厚度薄，在进行检测时需要进行对应的支托，避免芯片形变，影响检测结果。
[0003]公开号CN109059976A公开了一种用于芯片检测的芯片支撑装置，包括顶杆、载盘、传动杆、伞齿轮一、导向齿轮、导向齿条、支架、伞齿轮二以及丝杠，所述顶杆固定在载盘上侧面上，所述载盘装配在丝杠环形侧面上，所述传动杆设置在支撑台内下部位置，所述伞齿轮一安装在传动杆左侧面上，且伞齿轮一与伞齿轮二相啮合，所述导向齿轮安装在支架内中部，且导向齿轮与导向齿条相啮合，所述导向齿条固定在调节槽内，所述支架焊接在立柱下侧面上，所述伞齿轮二设置在丝杠环形侧面下部，所述丝杠设置在支撑台内中部位置，上述结构中不能够进行多点的支托，且不能够进行独立的调节支撑。

技术实现思路

[0004]本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构，提供了一种通过多支点结构，且支点独立调节进行芯片支托调节的支撑结构。结构简单，使用方便。
[0005]本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构是这样实现的，本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构，包括：固定座，固定座上设置有多组底部支撑台，底部支撑台为固定座主体向下延伸形成的支撑结构，以进行固定座的悬空支撑固定；
[0006]安装置于固定座中部的吸附组件，以进行芯片的吸附固定，吸附组件为真空吸附固定；
[0007]所述固定座上设置有一体形成的芯片支撑结构，支撑结构支撑面高于吸附组件吸附面，支撑结构底部设置有调节组件，以进行支撑结构的调节控制，支撑结构为弹性支撑结构，支撑结构均匀置于固定座边缘位置；
[0008]进一步的，所述固定座包括主体板，主体板为金属板冲压形成，且中部设置有镂空窗口，主体板的矩形结构，主体板边缘对应设置有侧支撑架，侧支撑架斜向下延伸，侧支撑架两两一组，且等距置于主体板上，侧支撑架中部对应折弯设置有纸托臂，支托臂悬置于侧支撑架之间，侧支撑架上设置有调节组件，且和支托臂对应，支托臂上设置有和调节组件对应的腰型孔，腰型孔对应平面斜向设置；
[0009]进一步的，所述调节组件包括驱动电机、调节丝杆，以及配合调节丝杆的滑动座，滑动座对应置于支托臂上的腰型孔内，且沿着腰型孔滑动设置，滑动座底部设置有和调节丝杆对应的螺纹孔，驱动电机置于侧支撑架上，且输出轴端设置有调节丝杆，调节丝杆斜向延伸设置，且对应贯穿支托臂的腰型孔；
[0010]进一步的，所述滑动座包括侧卡板，侧卡板对应卡夹置于腰型孔内，且沿着腰型孔滑动，侧卡板底部设置有传动板，传动板斜向设置，且和调节丝杆轴线对应垂直，侧卡板上下均设置有和主体板卡夹的翼板结构，滑动座为钣金折弯形成，侧卡板内侧壁对应设置有滑动条，且和主体板对应卡夹；
[0011]进一步的，所述支托臂为主体板折弯形成，支托臂根部和主体板共面，且两侧设置有切割槽，支托臂根部延伸为延展平台后，向上折弯为台阶，支托臂上侧斜向上延伸，且末端折弯有限位挡板，支托臂根部和主体板之间冲压设置有加强条，加强条沿着支托延伸方向设置，主体板中部设置有多组安装孔；
[0012]进一步的，所述吸附组件包括阀座板，阀座板通过螺钉安装置于主体板上，且和主体板中部镂空区域对应，主体板上的安装孔用于连接阀座板，阀座板中部设置有吸附盘，吸附盘和阀座板连通，阀座板底部设置有和真空泵连接的端口，吸附盘设置有两组吸附槽，所述吸附槽包括外侧环形设置的槽体、以及中部点阵吸附孔组；
[0013]进一步的，所述吸附盘包括外壳体，外壳体为回转结构，且上端为盘体，外壳体上设置有和阀座板连通的连通杆，外壳体内设置有内盘体，内盘体和外壳体之间设置有通道，内盘体为中空结构，且口部扣合设置有吸附盖板，内盘体边缘和外壳体侧壁组合形成环形槽体，内盘体上设置有的下支撑条、轴向导流条，下支撑条、轴向导流条在内盘体、外壳体之间组合为通道，内盘体顶面设置防护条；
[0014]进一步的，所述内盘体内边缘设置有台阶，吸附盖板边缘对应搭接置于台阶上，吸附盖板和内盘体之间通过紧固螺钉连接坚固，吸附盖板和台阶之间设置有密封环，吸附盖板上均匀设置有点阵吸附孔组；
[0015]进一步的，所述内盘体边缘设置有侧缺槽，侧缺槽内嵌置有橡胶垫，内盘体边缘设置有密封槽，侧缺槽分段设置，且等角度分布设置。
[0016]本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构，通过在芯片支托底部对应设置有支托臂，支托臂独立进行调节，对芯片支撑的局部点位进行升降调节，配合吸盘进行芯片检测时的支托固定，整体支托结构灵活，可调节，支托稳定性好，且能够形成多点支托。
附图说明
[0017]图1为本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构的立体结构图。
[0018]图2为本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构的支托臂的立体结构图。
[0019]图3为本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构的侧视图。
[0020]图4为本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构的支托臂调节结构示意图。
[0021]图5为本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构的主体座的立体结构图。
[0022]图6为本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构的滑动座的立体结构图。
[0023]图7为本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构的吸附盘的结构示意图。
[0024]图8为本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构的内盘体的立体结构图。
[0025]图9为本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构的内盘体的俯视图。
[0026]图10为本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构的内盘体的侧视图。
[0027]图11为本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构的吸附盘边缘的结构示意图。
[0028]附图中：
[0029]1、固定座；2、阀座板；3、吸附盘；4、调节组件；11、主体板；12、支托臂；13、侧支撑架；14、滑动座；15、加强条；16、安装孔；17、底部支撑台；31、主体盘；32、连通杆；41、驱动电机；42、调节丝杆；141、侧卡板；142、传动板；143、螺纹孔；311、外壳体；312、内盘体；313、吸附盖板；314、密封环；315、防护条；3121、下支撑条；3122、轴向导流条；3123、侧缺槽。
具体实施方式
[0030]下面结合附图对本专利技术进一步说明。
[0031]根据图1
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5所示：本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构是这样实现的，本专利技术一种芯片检测用芯片支撑结构，包括：固定座1，固定座1上设置有多组底部支撑台17，底部支撑台17为固定座1主体向下延伸形成的支撑结构，以进行固定座1的悬空支撑固定；
[0032]安装置于固定座1中部的吸附组件，以进行芯片的吸附固定，吸附组件为真空吸附固定；
[0033]所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片检测用芯片支撑结构，其特征在于，包括：固定座（1），固定座（1）上设置有多组底部支撑台（17），底部支撑台（17）为固定座（1）主体向下延伸形成的支撑结构，以进行固定座（1）的悬空支撑固定；安装置于固定座（1）中部的吸附组件，以进行芯片的吸附固定，吸附组件为真空吸附固定；所述固定座（1）上设置有一体形成的芯片支撑结构，支撑结构支撑面高于吸附组件吸附面，支撑结构底部设置有调节组件（4），以进行支撑结构的调节控制，支撑结构为弹性支撑结构，支撑结构均匀置于固定座（1）边缘位置。2.根据权利要求1所述的一种芯片检测用芯片支撑结构，其特征在于：所述固定座（1）包括主体板（11），主体板（11）为金属板冲压形成，且中部设置有镂空窗口，主体板（11）的矩形结构，主体板（11）边缘对应设置有侧支撑架（13），侧支撑架（13）斜向下延伸，侧支撑架（13）两两一组，且等距置于主体板（11）上，侧支撑架（13）中部对应折弯设置有纸托臂，支托臂（12）悬置于侧支撑架（13）之间，侧支撑架（13）上设置有调节组件（4），且和支托臂（12）对应，支托臂（12）上设置有和调节组件（4）对应的腰型孔，腰型孔对应平面斜向设置。3.根据权利要求1所述的一种芯片检测用芯片支撑结构，其特征在于：所述调节组件（4）包括驱动电机（41）、调节丝杆（42），以及配合调节丝杆（42）的滑动座（14），滑动座（14）对应置于支托臂（12）上的腰型孔内，且沿着腰型孔滑动设置，滑动座（14）底部设置有和调节丝杆（42）对应的螺纹孔（143），驱动电机（41）置于侧支撑架（13）上，且输出轴端设置有调节丝杆（42），调节丝杆（42）斜向延伸设置，且对应贯穿支托臂（12）的腰型孔。4.根据权利要求3所述的一种芯片检测用芯片支撑结构，其特征在于：所述滑动座（14）包括侧卡板（141），侧卡板（141）对应卡夹置于腰型孔内，且沿着腰型孔滑动，侧卡板（141）底部设置有传动板（142），传动板（142）斜向设置，且和调节丝杆（42）轴线对应垂直，侧卡板（141）上下均设置有和主体板（11）卡夹的翼板结构，滑动座（14）为钣金折弯形成，侧卡板（141）内侧壁对应设置有滑动条，且和主体板（11）对应卡夹。5.根据权利要求2所述的一种芯片检测用芯片支撑结构，其特征在于：所述支托臂（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯华，
申请(专利权)人：江苏晖恒芯片科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：